公开(公告)号：US3386864A

公开(公告)日：1968-06-04

申请号：US32907963

申请日：1963-12-09

Applicant: IBM

Inventor： SILVESTRI VICTOR J ,  LYONS WINCENT J ,  MARINACE JOHN C

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/74 ,  H01L21/76 ,  H01L23/535 ,  H01L27/00 ,  H01L27/06 ,  H01L27/10

CPC classification number: H01L27/10 ,  H01L21/00 ,  H01L21/74 ,  H01L21/76 ,  H01L23/535 ,  H01L27/00 ,  H01L27/0605 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/05 ,  Y10S148/085 ,  Y10S148/142 ,  H01L2924/00