公开(公告)号：US20140092927A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：US14100912

申请日：2013-12-09

申请人： IMRA AMERICA, INC.

发明人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/00

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US09147989B2

公开(公告)日：2015-09-29

申请号：US14100912

申请日：2013-12-09

申请人： IMRA AMERICA, INC.

发明人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/30 ,  H01S3/00 ,  G01J11/00 ,  H01S3/102 ,  H01S3/067 ,  H01S3/109 ,  H01S3/13 ,  H01S3/16

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。