公开(公告)号：US07090716B2

公开(公告)日：2006-08-15

申请号：US10677639

申请日：2003-10-02

申请人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Michael P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

发明人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Michael P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

IPC分类号： B01D19/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method for reducing pattern distortions in imprinting layers by reducing gas pockets present in a layer of viscous liquid deposited on a substrate. To that end, the method includes varying a transport of the gases disposed proximate to the viscous liquid. Specifically, the atmosphere proximate to the substrate wherein a pattern is to be recorded is saturated with gases that are either highly soluble, highly diffusive, or both with respect to the viscous liquid being deposited. Additionally, or in lieu of saturating the atmosphere, the pressure of the atmosphere may be reduced.

摘要翻译： 本发明涉及通过减少存在于沉积在基底上的粘性液体层中的气穴来减少压印层中的图案失真的方法。 为此，该方法包括改变靠近粘性液体设置的气体的输送。 具体地，其中待记录图案的基板附近的气氛相对于被沉积的粘性液体是高度可溶的，高度扩散的或者两者都被饱和。 另外，或者代替饱和气氛，可以降低气氛的压力。

公开(公告)号：US07270533B2

公开(公告)日：2007-09-18

申请号：US10898037

申请日：2004-07-23

申请人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Mathew P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

发明人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Mathew P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

IPC分类号： B29C59/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a system for introducing a flow of a fluid between a mold, disposed on a template, and a substrate, the system including, a fluid supply system; and a chuck body having a baffle and first and second apertures, the first and second apertures disposed between the baffle and the template, with the first and second apertures in fluid communication with the fluid supply system to produce a turbulent flow of the fluid between the mold and said substrate.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在设置在模板上的模具和基板之间引入流体流的系统，该系统包括：流体供应系统; 以及具有挡板和第一和第二孔的卡盘体，所述第一和第二孔设置在挡板和模板之间，其中第一和第二孔与流体供应系统流体连通，以在流体供应系统之间产生紊流 模具和所述基板。

公开(公告)号：US07531025B2

公开(公告)日：2009-05-12

申请号：US10898034

申请日：2004-07-23

申请人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Mathew P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

发明人： Ian M. McMackin ,  Nicholas A. Stacey ,  Daniel A. Babbs ,  Duane J. Voth ,  Mathew P. C. Watts ,  Van N. Truskett ,  Frank Y. Xu ,  Ronald D. Voisin ,  Pankaj B. Lad

IPC分类号： B01D19/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method of controlling a turbulent flow of a fluid between a substrate and a template, and more specifically, controlling a turbulent flow of a fluid between droplets disposed on a substrate and a template. To that end, the method further comprises the ingression and egression of the fluid through a first and second aperture, and in a further embodiment, a plurality of apertures, to create such a turbulent flow of the fluid.

摘要翻译： 本发明涉及一种控制衬底和模板之间的流体的紊流的方法，更具体地说，控制流体在设置在衬底和模板上的液滴之间的紊流。 为此，该方法还包括流体通过第一和第二孔的进入和流出，并且在另一实施例中，多个孔，以产生流体的这种湍流。

公开(公告)号：US06351821B1

公开(公告)日：2002-02-26

申请号：US09767586

申请日：2001-01-22

申请人： Duane J. Voth

发明人： Duane J. Voth

IPC分类号： G06F112

CPC分类号： H04J3/0667 ,  G06F1/14

摘要： A system for time synchronization in a computer cluster is provided. For the system of the present invention a master node sends a SYNC message including a first time stamp to a slave node. The slave node adds a second time stamp and returns the SYNC message to the master node. The master node then adds a third time stamp to the SYNC message. Using the three time stamps, the master node determines if the time clock within the slave node leads or follows the time clock in the master node. The calculation does not depend on the assumption that transmission delays to the slave node are the same as the transmission delays from the node. If the time clocks do not match, the master node sends an INFO message to the slave node informing the slave node of the correct time for clocks within the computer cluster.

摘要翻译： 提供了一种用于计算机集群中的时间同步的系统。 对于本发明的系统，主节点向从节点发送包括第一时间戳的SYNC消息。 从节点添加第二个时间戳，并将SYNC消息返回给主节点。 主节点然后向SYNC消息中添加第三个时间戳。 使用三个时间戳，主节点确定从节点内的时钟是否导通或跟随主节点中的时钟。 计算不取决于对从节点的传输延迟与来自节点的传输延迟相同的假设。 如果时钟不匹配，则主节点向从节点发送INFO消息，通知从节点计算机集群内的时钟的正确时间。

公开(公告)号：US06199169B1

公开(公告)日：2001-03-06

申请号：US09212021

申请日：1998-12-15

申请人： Duane J. Voth

发明人： Duane J. Voth

IPC分类号： G06F112

CPC分类号： H04J3/0667 ,  G06F1/14

摘要： A system for time synchronization in a computer cluster is provided. For the system of the present invention a master node sends a SYNC message including a first time stamp to a slave node. The slave node adds a second time stamp and returns the SYNC message to the master node. The master node then adds a third time stamp to the SYNC message. Using the three time stamps, the master node determines if the time clock within the slave node leads or follows the time clock in the master node. The calculation does not depend on the assumption that transmission delays to the slave node are the same as the transmission delays from the node. If the time clocks do not match, the master node sends an INFO message to the slave node informing the slave node of the correct time for clocks within the computer cluster.

摘要翻译： 提供了一种用于计算机集群中的时间同步的系统。 对于本发明的系统，主节点向从节点发送包括第一时间戳的SYNC消息。 从节点添加第二个时间戳，并将SYNC消息返回给主节点。 主节点然后向SYNC消息中添加第三个时间戳。 使用三个时间戳，主节点确定从节点内的时钟是否导通或跟随主节点中的时钟。 计算不取决于对从节点的传输延迟与来自节点的传输延迟相同的假设。 如果时钟不匹配，则主节点向从节点发送INFO消息，通知从节点计算机集群内的时钟的正确时间。