公开(公告)号：US4730158A

公开(公告)日：1988-03-08

申请号：US871231

申请日：1986-06-06

申请人： Ichiro Kasai ,  Roderic L. Osgood ,  Charley B. Burgett ,  Richard J. Joyce ,  Michael D. Warfield

发明人： Ichiro Kasai ,  Roderic L. Osgood ,  Charley B. Burgett ,  Richard J. Joyce ,  Michael D. Warfield

IPC分类号： G01R31/26 ,  G01R31/265 ,  G01R31/28 ,  G01R31/302 ,  G01R31/305 ,  H01L21/66 ,  H01L31/10

CPC分类号： G01R31/2653 ,  G01R31/2603 ,  G01R31/2635 ,  H02S50/10

摘要： Method and apparatus for testing photodiode arrays using an electron beam. The diodes are charged at successive intervals over the RC time constant curve to develop successively increasing voltages at the ends of succeeding time intervals. Diode voltage and current are measured at the end of each interval and the resulting data are used to develop a current-voltage characteristic for each diode.

摘要翻译： 使用电子束测试光电二极管阵列的方法和装置。 二极管在RC时间常数曲线上以连续的间隔充电，以在随后的时间间隔的末端形成连续增加的电压。 在每个间隔结束时测量二极管电压和电流，并且使用所得数据来开发每个二极管的电流 - 电压特性。

公开(公告)号：US4695794A

公开(公告)日：1987-09-22

申请号：US739832

申请日：1985-05-31

申请人： Charley B. Bargett ,  Roderic L. Osgood ,  Joseph L. Davis ,  Richard J. Joyce

发明人： Charley B. Bargett ,  Roderic L. Osgood ,  Joseph L. Davis ,  Richard J. Joyce

IPC分类号： G01R31/26 ,  G01R19/00 ,  G01R31/302 ,  G01R31/305 ,  H01L21/66 ,  H01L31/10 ,  G01R31/28

CPC分类号： G01R31/305

摘要： Method and apparatus for calibrating equipment used for testing photodiode arrays by reference to the diode under test. The diodes are illuminated with infrared radiation and different bias voltages, developed by bombardment with an electron beam, are measured at zero current. The measured voltage values are correlated with secondary emission sensor readouts to calibrate the sensor according to the specific diode being tested. Remote light emitting diodes generate the infrared radiation which is coupled to the photodiode array via optical fiber elements.

摘要翻译： 参考被测二极管校准用于测试光电二极管阵列的设备的方法和装置。 二极管用红外辐射照射，并且在零电流下测量通过用电子束轰击而产生的不同偏置电压。 测量的电压值与二次发射传感器读数相关，以根据正在测试的特定二极管校准传感器。 远程发光二极管产生经由光纤元件耦合到光电二极管阵列的红外辐射。