公开(公告)号：US20170030890A1

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：US15221010

申请日：2016-07-27

申请人： Infineon Technologies AG

发明人： Gerald Holweg ,  Yonsuang Arnanthigo ,  Jan Berger ,  Guenter Denifl ,  Sylvicley Figueira Da Silva ,  Iris Moder ,  Thomas Ostermann ,  Alexander Oswatitsch ,  Vijaye Kumar Rajaraman ,  Gudrun Stranzl

IPC分类号： G01N33/49 ,  B01D69/02 ,  B01D71/02 ,  B01D61/14

CPC分类号： G01N33/491 ,  B01D61/147 ,  B01D61/18 ,  B01D63/087 ,  B01D69/02 ,  B01D71/02 ,  B01D71/022 ,  B01D71/027 ,  B01D2313/345 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/26

摘要： A microfiltration device comprises a substrate having a first surface and a second surface opposite to the first surface. The substrate includes a cavity between the first surface and the second surface. The substrate further includes a microfilter including a frame part in contact with the substrate and a filter part abutting the cavity. The microfilter comprises in both the frame part and the filter part a semiconducting or conducting material.

摘要翻译： 微滤装置包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的基底。 衬底包括在第一表面和第二表面之间的空腔。 该基板还包括一个微型过滤器，它包括一个与该基板接触的框架部分和一个邻接腔体的过滤器部件。 微型过滤器在框架部分和过滤器部分中均包括半导体或导电材料。