公开(公告)号：US20090057572A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US11845441

申请日：2007-08-27

申请人： Kasegn D. Tekletsadik ,  Eric Hermanson ,  Doug May ,  Steve Krause ,  Russel John Low

发明人： Kasegn D. Tekletsadik ,  Eric Hermanson ,  Doug May ,  Steve Krause ,  Russel John Low

IPC分类号： G21K1/00

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

摘要： Terminal structures of an ion implanter having insulated conductors with dielectric fins are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the terminal structures of an ion implanter may be realized with insulated conductors with one or more dielectric fins. For example, the ion implanter may comprise an ion source configured to provide an ion beam. The ion implanter may also comprise a terminal structure defining a cavity, wherein the ion source may be at least partially disposed within the cavity. The ion implanter may further comprise an insulated conductor having at least one dielectric fin disposed proximate an exterior portion of the terminal structure to modify an electric field.

摘要翻译： 公开了具有绝缘导体和绝缘鳍片的离子注入机的端子结构。 在一个特定的示例性实施例中，离子注入机的端子结构可以用具有一个或多个介质翅片的绝缘导体来实现。 例如，离子注入机可以包括被配置为提供离子束的离子源。 离子注入机还可以包括限定空腔的端子结构，其中离子源可以至少部分地设置在空腔内。 离子注入机还可以包括绝缘导体，其具有靠近端子结构的外部部分设置的至少一个介电鳍片，以修改电场。

公开(公告)号：US07842934B2

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：US11845441

申请日：2007-08-27

申请人： Kasegn D. Tekletsadik ,  Eric Hermanson ,  Doug May ,  Steve Krause ,  Russell John Low

发明人： Kasegn D. Tekletsadik ,  Eric Hermanson ,  Doug May ,  Steve Krause ,  Russell John Low

IPC分类号： G21K5/00

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

摘要： Terminal structures of an ion implanter having insulated conductors with dielectric fins are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the terminal structures of an ion implanter may be realized with insulated conductors with one or more dielectric fins. For example, the ion implanter may comprise an ion source configured to provide an ion beam. The ion implanter may also comprise a terminal structure defining a cavity, wherein the ion source may be at least partially disposed within the cavity. The ion implanter may further comprise an insulated conductor having at least one dielectric fin disposed proximate an exterior portion of the terminal structure to modify an electric field.

摘要翻译： 公开了具有绝缘导体和绝缘鳍片的离子注入机的端子结构。 在一个特定的示例性实施例中，离子注入机的端子结构可以用具有一个或多个介质翅片的绝缘导体来实现。 例如，离子注入机可以包括被配置为提供离子束的离子源。 离子注入机还可以包括限定空腔的端子结构，其中离子源可以至少部分地设置在空腔内。 离子注入机还可以包括绝缘导体，其具有靠近端子结构的外部部分设置的至少一个介电鳍片，以修改电场。