公开(公告)号：US07212290B2

公开(公告)日：2007-05-01

申请号：US10900529

申请日：2004-07-28

申请人： Kevin R. Fine ,  Greg C. Felix ,  John J. Bockman ,  Douglas P. Woolverton

发明人： Kevin R. Fine ,  Greg C. Felix ,  John J. Bockman ,  Douglas P. Woolverton

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01J9/0215 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

摘要： An interferometer system includes a rhomboid assembly having a first optical stack and a second optical stack mounted on the first stack. The first stack includes a first prism having an angled face mounted to an angled face of a second prism. The interface between these angled faces includes a first polarizing beam-splitter. The second stack includes a third prism having an angled face mounted to an angled face of the fourth prism. The interface between these angled faces includes a second polarizing beam-splitter. First, second, third, and fourth wave plate elements are located in beam paths between the rhomboid assembly and at least one of a measurement optic and a reference optic. A redirecting optic is located at least adjacent to the vertical faces of the first and the third prisms.

摘要翻译： 干涉仪系统包括具有安装在第一堆叠上的第一光学堆叠和第二光学堆叠的菱形组件。 第一堆叠包括具有安装到第二棱镜的倾斜面的倾斜面的第一棱镜。 这些倾斜面之间的界面包括第一偏振分束器。 第二堆叠包括具有安装到第四棱镜的倾斜面的成角度的第三棱镜。 这些倾斜面之间的界面包括第二偏振分束器。 第一，第二，第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中的至少一个之间的光束路径中。 重定向光学器件至少邻近第一和第三棱镜的垂直面定位。

公开(公告)号：US06806960B2

公开(公告)日：2004-10-19

申请号：US10285058

申请日：2002-10-30

申请人： Kerry D. Bagwell ,  Greg C. Felix ,  John J. Bockman ,  Alan B. Ray

发明人： Kerry D. Bagwell ,  Greg C. Felix ,  John J. Bockman ,  Alan B. Ray

IPC分类号： G01B902

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02061 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70

摘要： A multi-axis interferometer uses a combined beam for a first pass through the interferometer optics. Measurement and reference components of the combined beam that exit the interferometer optics are subject to walk-off that measurement or reference reflector misalignment can cause. A return reflector and non-polarizing beam splitter system split the combined beam into separated input beams for the various axes of the interferometer and return the separated beams for respective second passes through the interferometer optics. Walk-off for the separated beams in the interferometer optics cancels the walk-off for the combined beam to eliminate beam walk-off in separated output beams. Sharing a combined beam for a first pass through the interferometer optics reduces the sizes required for the interferometer optics and reference and measurement mirrors. The multi-axis interferometer may have a single return reflector.

摘要翻译： 多轴干涉仪使用组合光束进行第一次通过干涉仪光学元件。 离开干涉仪光学元件的组合光束的测量和参考分量可能导致测量或参考反射器不对准可能导致的偏离。 返回反射器和非偏振分束器系统将组合的光束分成用于干涉仪的各个轴的分离的输入光束，并且将分离的光束返回用于相应的第二次通过干涉仪光学器件。 在干涉仪光学元件中的分离光束的偏离消除组合光束的散射以消除分离的输出光束中的光束偏移。 共享用于第一遍的组合光束通过干涉仪光学器件减少干涉仪光学元件和参考和测量镜所需的尺寸。 多轴干涉仪可以具有单个返回反射器。

公开(公告)号：US07280275B2

公开(公告)日：2007-10-09

申请号：US11195545

申请日：2005-08-01

申请人： W. Clay Schluchter ,  Ron P. Bevis ,  John J. Bockman ,  Greg C. Felix ,  Terry E. Riener

发明人： W. Clay Schluchter ,  Ron P. Bevis ,  John J. Bockman ,  Greg C. Felix ,  Terry E. Riener

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B27/285 ,  G02B5/305

摘要： A beam distribution apparatus includes a stack of parallelogram prisms and beam-splitting coatings each located between opposing parallel faces of adjacent parallelogram prisms. The stack is mounted on an entrance face of a triangular prism. The triangular prism includes the entrance face, a reflective face, and an exit face. The reflective face has optical surfaces for shaping output beams from the stack and reflecting the output beams through the exit face.

摘要翻译： 光束分配装置包括平行四边形棱镜和分束涂层的叠层，每个位于相邻的平行四边形棱镜的相对的平行面之间。 堆叠安装在三角棱镜的入射面上。 三角棱镜包括入射面，反射面和出射面。 反射面具有光学表面，用于对来自堆叠的输出光束进行整形，并将输出光束反射通过出射面。

公开(公告)号：US20090109442A1

公开(公告)日：2009-04-30

申请号：US11931622

申请日：2007-10-31

申请人： Greg C. Felix

发明人： Greg C. Felix

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B27/28

CPC分类号： G01B9/02018 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02059 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G02B27/283

摘要： An interferometer has a first reflective surface having a nominal orientation; a second reflective surface having a nominal orientation orthogonal to the nominal orientation of the first reflective surface; a retroreflector facing the first reflective surface; a double polarizing beam splitter (DPBS) between the first reflective surface and the retroreflector; and a respective quarter-wave plate between the DPBS and each of the reflective surfaces. The DPBS has first and second beam-splitting surfaces each having a nominal orientation with respect to the first reflective surface. At least part of at least one of the first reflective surface, the second reflective surface and the beam-splitting surfaces is effectively tilted relative to the respective nominal orientation of such surface, and constitutes a respective tilted surface.

摘要翻译： 干涉仪具有具有标称取向的第一反射表面; 具有与第一反射表面的标称取向正交的标称取向的第二反射表面; 面向第一反射面的回射器; 在所述第一反射表面和所述后向反射器之间的双偏振分束器（DPBS）; 以及在DPBS和每个反射表面之间的相应四分之一波片。 DPBS具有第一和第二光束分离表面，每个具有相对于第一反射表面的标称取向。 第一反射表面，第二反射表面和分束表面中的至少一个的至少一部分相对于这种表面的相应标称取向被有效地倾斜，并且构成相应的倾斜表面。