公开(公告)号：US20140370444A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：US13917022

申请日：2013-06-13

申请人： M. Dalil RAHMAN ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE ,  Takanori KUDO ,  Elizabeth WOLFER ,  Salem K. MULLEN

发明人： M. Dalil RAHMAN ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE ,  Takanori KUDO ,  Elizabeth WOLFER ,  Salem K. MULLEN

IPC分类号： G03F7/09 ,  C09D165/00

CPC分类号： G03F7/091 ,  C08G2261/314 ,  C08G2261/3424 ,  C09D5/006 ,  C09D165/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/30

摘要： The present invention relates to an absorbing hard mask antireflective coating composition comprising a novel polymer, where the novel polymer comprises in the backbone of the polymer four repeat units -A-, -B-, -C- and -D-, where A is repeat unit which comprises a fused aromatic ring in its backbone, B has the structure (1), C is a hydroxylbiphenyl of structure (2) and D is a derivatized fluorene of structure (3), where R1 is C1-C4alkyl, R2 is C1-C4alkyl, R3 and R4 are independently hydrogen or C1-C4 alkyl, and Ar′ and Ar″ are independently phenylenic, or naphthalenic derived moieties, R5 and R6 are independently —OH or —CH2)nOH where n=2-4, and R7 and R8 are independently hydrogen or C1-C4 alkyl. This invention also relates to a process for forming an image using the novel antireflective coating composition.

摘要翻译： 本发明涉及一种包含新型聚合物的吸收性硬掩模抗反射涂料组合物，其中新型聚合物在聚合物的主链中包含四个重复单元-A-， - B - ， - C-和-D-，其中A为 重复单元在其骨架中包含稠合芳环，B具有结构（1），C是结构（2）的羟基联苯，D是结构式（3）的衍生化芴，其中R 1是C 1 -C 4烷基，R 2是 C 1 -C 4烷基，R 3和R 4独立地为氢或C 1 -C 4烷基，Ar'和Ar“独立地为亚苯基或萘衍生部分，R 5和R 6独立地为-OH或-CH 2）n OH，其中n = 并且R 7和R 8独立地为氢或C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用新型抗反射涂料组合物形成图像的方法。

公开(公告)号：US20120251956A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13351681

申请日：2012-01-17

申请人： M. Dalil RAHMAN ,  Douglas MCKENZIE ,  Jianhui SHAN ,  JoonYeon CHO ,  Salem K. MULLEN ,  Clement ANYADIEGWU

发明人： M. Dalil RAHMAN ,  Douglas MCKENZIE ,  Jianhui SHAN ,  JoonYeon CHO ,  Salem K. MULLEN ,  Clement ANYADIEGWU

IPC分类号： G03F7/20 ,  C09D171/10

CPC分类号： H01L21/3081 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/3424 ,  C09D165/00 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276

摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): [-A-B-C-]  (1) where A is a fused aromatic ring, B has a structure (2), and C is a hydroxybiphenyl of structure (3) where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkyl.The invention further relates to a process for forming an image using the composition.

摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和可交联聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：[-ABC-]（1）其中A是稠合 芳香环，B为结构（2），C为结构式（3）的羟基联苯，其中R 1为C 1 -C 4烷基且R 2为C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。

公开(公告)号：US20140159278A1

公开(公告)日：2014-06-12

申请号：US13707993

申请日：2012-12-07

申请人： Huirong YAO ,  M. Dalil RAHMAN ,  Salem K. MULLEN ,  JoonYeon CHO ,  Clement ANYADIEGWU ,  Munirathna PADMANABAN

发明人： Huirong YAO ,  M. Dalil RAHMAN ,  Salem K. MULLEN ,  JoonYeon CHO ,  Clement ANYADIEGWU ,  Munirathna PADMANABAN

IPC分类号： C08G79/00 ,  G03F7/09 ,  C07F7/28

CPC分类号： C08G79/00 ,  C07F7/28 ,  G03F7/0043 ,  G03F7/075 ,  G03F7/091

摘要： The present disclosure relates to soluble, multi-ligand-substituted metal compounds with improved stability as well as compositions made from them and methods of their use.

摘要翻译： 本公开涉及具有改进的稳定性的可溶性，多配位体取代的金属化合物以及由它们制备的组合物及其使用方法。

公开(公告)号：US20150004801A1

公开(公告)日：2015-01-01

申请号：US13930711

申请日：2013-06-28

申请人： M. Dalil RAHMAN ,  Venkata Gopal Reddy CHADA ,  Huirong YAO ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE

发明人： M. Dalil RAHMAN ,  Venkata Gopal Reddy CHADA ,  Huirong YAO ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE

IPC分类号： H01L21/033 ,  G03F7/09

CPC分类号： G03F7/092 ,  C23C18/06 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/14 ,  G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276

摘要： The present disclosure relates to spin-on compositions containing at least one metal oxide dicarboxylate and an organic solvent into which the metal oxide dicarboxylate is soluble or colloidally stable. The dicarboxylate is capable of decomposing during heat treatment to give a cured metal oxide film. The present disclosure also relates to method of using the spin-on compositions.

摘要翻译： 本公开内容涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和有机溶剂的旋涂组合物，其中金属氧化物二羧酸盐可溶于或胶体稳定。 二羧酸盐能够在热处理期间分解，得到固化的金属氧化物膜。 本公开还涉及使用旋涂组合物的方法。

公开(公告)号：US20140038109A1

公开(公告)日：2014-02-06

申请号：US13563877

申请日：2012-08-01

申请人： M. Dalil RAHMAN ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE ,  JoonYeon CHO

发明人： M. Dalil RAHMAN ,  Clement ANYADIEGWU ,  Douglas MCKENZIE ,  JoonYeon CHO

IPC分类号： C09D165/02 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/091 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/135 ,  C08G2261/1422 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/148 ,  C08G2261/342 ,  C08G2261/45 ,  C08G2261/76 ,  C09D165/00 ,  G02B1/118 ,  G03F7/094 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/02327 ,  Y02E10/50

摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinkable polymer, where the crosslinkable polymer comprises at least one unit of fused aromatic moiety, at least one unit with a phenylene moiety in the backbone of the polymer, and at least one hydroxybiphenyl unit, furthermore where the polymer comprises a crosslinking moiety of structure (4), where R3, R″3 and R′″3 are independently hydrogen or a C1-C4alkyl. The invention further relates to a process for forming an image using the composition.

摘要翻译： 本发明涉及包含可交联聚合物的抗反射涂料组合物，其中可交联聚合物包含至少一个稠合芳族部分单元，至少一个在聚合物主链中具有亚苯基部分的单元和至少一个羟基联苯单元 其中聚合物包含结构（4）的交联部分，其中R 3，R“3和R”3独立地是氢或C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。