公开(公告)号：US20100277040A1

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：US12666831

申请日：2008-06-30

申请人： Mareike Klee ,  Klaus Reimann ,  Biju K. Sreedharan Nair ,  Roger Peter Anna Delnoij ,  Henri M. J. Boots ,  Christina A. Renders ,  Olaf Wunnicke ,  Derk Reefman ,  Peter Dirksen ,  Ronald Dekker ,  Harry Van Esch ,  Marco De Wild ,  Ruediger Mauczok ,  Chris Van Heesch ,  Willem F. Pasveer ,  Engel Johannes Knibbe ,  Remco A.H. Breen

发明人： Mareike Klee ,  Klaus Reimann ,  Biju K. Sreedharan Nair ,  Roger Peter Anna Delnoij ,  Henri M. J. Boots ,  Christina A. Renders ,  Olaf Wunnicke ,  Derk Reefman ,  Peter Dirksen ,  Ronald Dekker ,  Harry Van Esch ,  Marco De Wild ,  Ruediger Mauczok ,  Chris Van Heesch ,  Willem F. Pasveer ,  Engel Johannes Knibbe ,  Remco A.H. Breen

IPC分类号： H01L41/04 ,  H04R17/00 ,  H01L41/053

CPC分类号： B06B1/0603 ,  B06B1/0292 ,  G08B13/1645 ,  H01L27/20 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/314 ,  Y10T29/42

摘要： A transducer (800) is provided where a membrane (830) is formed over a front substrate (615); and a piezoelectric layer (820) is formed over the membrane (830) at an active portion (821) and peripheral portions located adjacent the active portion (821). A patterned conductive layer including first and second electrodes (840, 845) is formed over the piezoelectric layer (820). Further, a back substrate structure is provided having supports (822, 824) located at the peripheral portions adjacent the active portion (821). The height (826) of the supports (822, 824) is greater than a combined height (828) of the patterned piezoelectric layer and the patterned conductive layer. Many transducers may be connected to form an array, where a controller may be provided for controlling the array, such as steering a beam of the array, and processing signals received by the array, for presence or motion detection and/or imaging, for example.

摘要翻译： 提供换能器（800），其中膜（830）形成在前基板（615）上方; 并且在有源部分（821）和靠近有效部分（821）的周边部分之间在膜（830）上形成压电层（820）。 包括第一和第二电极（840,845）的图案化导电层形成在压电层（820）上方。 此外，背面基板结构设置有位于与活动部分（821）相邻的周边部分处的支撑件（822,824）。 支撑件（822,824）的高度（826）大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度（828）。 可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供用于控制阵列的控制器，例如控制阵列的波束，以及处理由阵列接收的信号，用于存在或运动检测和/或成像，例如 。

公开(公告)号：US08193685B2

公开(公告)日：2012-06-05

申请号：US12666831

申请日：2008-06-30

申请人： Mareike Klee ,  Ronald Dekker ,  Harry Van Esch ,  Marco De Wild ,  Ruediger Mauczok ,  Chris Van Heesch ,  Willem Franke Pasveer ,  Engel Johannes Knibbe ,  Remco Alphonsus Hendrikus Breen ,  Klaus Reimann ,  Biju Kumar Sreedharan Nair ,  Roger Peter Anna Delnoij ,  Henri Marie Joseph Boots ,  Christina Adriana Renders ,  Olaf Wunnicke ,  Derk Reefman ,  Peter Dirksen

发明人： Mareike Klee ,  Ronald Dekker ,  Harry Van Esch ,  Marco De Wild ,  Ruediger Mauczok ,  Chris Van Heesch ,  Willem Franke Pasveer ,  Engel Johannes Knibbe ,  Remco Alphonsus Hendrikus Breen ,  Klaus Reimann ,  Biju Kumar Sreedharan Nair ,  Roger Peter Anna Delnoij ,  Henri Marie Joseph Boots ,  Christina Adriana Renders ,  Olaf Wunnicke ,  Derk Reefman ,  Peter Dirksen

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： B06B1/0603 ,  B06B1/0292 ,  G08B13/1645 ,  H01L27/20 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/314 ,  Y10T29/42

摘要： A transducer (800) is provided where a membrane (830) is formed over a front substrate (615); and a piezoelectric layer (820) is formed over the membrane (830) at an active portion (821) and peripheral portions located adjacent the active portion (821). A patterned conductive layer including first and second electrodes (840, 845) is formed over the piezoelectric layer (820). Further, a back substrate structure is provided having supports (822, 824) located at the peripheral portions adjacent the active portion (821). The height (826) of the supports (822, 824) is greater than a combined height (828) of the patterned piezoelectric layer and the patterned conductive layer. Many transducers may be connected to form an array, where a controller may be provided for controlling the array, such as steering a beam of the array, and processing signals received by the array, for presence or motion detection and/or imaging, for example.

摘要翻译： 提供换能器（800），其中膜（830）形成在前基板（615）上方; 并且在有源部分（821）和靠近有效部分（821）的周边部分之间在膜（830）上形成压电层（820）。 包括第一和第二电极（840,845）的图案化导电层形成在压电层（820）上方。 此外，背面基板结构设置有位于与活动部分（821）相邻的周边部分处的支撑件（822,824）。 支撑件（822,824）的高度（826）大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度（828）。 可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供用于控制阵列的控制器，例如转向阵列的波束，以及处理由阵列接收的信号，用于存在或运动检测和/或成像，例如 。