公开(公告)号：US20100294656A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：US12814979

申请日：2010-06-14

申请人： Masayoshi IKEDA ,  Yo Tanaka ,  Tsutomu Hiroishi

发明人： Masayoshi IKEDA ,  Yo Tanaka ,  Tsutomu Hiroishi

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3266

摘要： A plasma apparatus includes: a chamber which can be evacuated into vacuum; first electrode disposed within the chamber; a magnet mechanism having a magnet provided apart from and above the first electrode; a second electrode provided facing the first electrode; and a magnetic shield member provided in at least one of gaps between the first electrode and the magnet mechanism and between the first electrode and the second electrode.

摘要翻译： 一种等离子体装置包括：可以抽真空的腔室; 设置在所述室内的第一电极; 磁体机构，其具有设置在所述第一电极之上和之上的磁体; 面向所述第一电极设置的第二电极; 以及磁屏蔽构件，设置在所述第一电极和所述磁体机构之间以及所述第一电极和所述第二电极之间的至少一个间隙中。

公开(公告)号：US08778151B2

公开(公告)日：2014-07-15

申请号：US12814979

申请日：2010-06-14

申请人： Masayoshi Ikeda ,  Yo Tanaka ,  Tsutomu Hiroishi

发明人： Masayoshi Ikeda ,  Yo Tanaka ,  Tsutomu Hiroishi

IPC分类号： C25B9/00 ,  C23C14/00 ,  C25B11/00 ,  C25B13/00

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3266

摘要： A plasma apparatus includes: a chamber which can be evacuated into vacuum; first electrode disposed within the chamber; a magnet mechanism having a magnet provided apart from and above the first electrode; a second electrode provided facing the first electrode; and a magnetic shield member provided in at least one of gaps between the first electrode and the magnet mechanism and between the first electrode and the second electrode.

摘要翻译： 一种等离子体装置包括：可以抽真空的腔室; 设置在所述室内的第一电极; 磁体机构，其具有设置在所述第一电极之上和之上的磁体; 面向所述第一电极设置的第二电极; 以及磁屏蔽构件，设置在所述第一电极和所述磁体机构之间以及所述第一电极和所述第二电极之间的至少一个间隙中。