公开(公告)号：US07474469B2

公开(公告)日：2009-01-06

申请号：US11232606

申请日：2005-09-22

申请人： Michael Totzeck ,  Gerhart Fuerter ,  Olaf Dittmann ,  Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

发明人： Michael Totzeck ,  Gerhart Fuerter ,  Olaf Dittmann ,  Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B3/12 ,  G02B3/00

CPC分类号： G02B3/12 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： The invention relates to an arrangement of optical elements in a microlithographic projection exposure apparatus, particularly in a projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus. The arrangement comprises a rigid first optical element, a rigid second optical element with a first optical surface and a second optical surface on opposite sides and a first liquid. The first optical element has a concave optical surface. The first side of the second optical element is facing the concave optical surface of the first optical element. The first liquid is at least partially filling the space between the first optical element and the second optical element.

摘要翻译： 本发明涉及微光刻投影曝光装置中的光学元件的布置，特别是在微光刻投影曝光装置的投影物镜中。 该装置包括刚性第一光学元件，具有第一光学表面的刚性第二光学元件和在相对侧上的第二光学表面和第一液体。 第一光学元件具有凹面光学表面。 第二光学元件的第一面面对第一光学元件的凹面光学表面。 第一液体至少部分地填充第一光学元件和第二光学元件之间的空间。

公开(公告)号：US20060066962A1

公开(公告)日：2006-03-30

申请号：US11232606

申请日：2005-09-22

申请人： Michael Totzeck ,  Gerhart Fuerter ,  Olaf Dittmann ,  Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Susanne Beder

发明人： Michael Totzeck ,  Gerhart Fuerter ,  Olaf Dittmann ,  Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Susanne Beder

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B3/12 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： The invention relates to an arrangement of optical elements in a microlithographic projection exposure apparatus, particularly in a projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus. The arrangement comprises a rigid first optical element, a rigid second optical element with a first optical surface and a second optical surface on opposite sides and a first liquid. The first optical element has a concave optical surface. The first side of the second optical element is facing the concave optical surface of the first optical element. The first liquid is at least partially filling the space between the first optical element and the second optical element.

公开(公告)号：US20080030869A1

公开(公告)日：2008-02-07

申请号：US11758363

申请日：2007-06-05

申请人： David Shafer ,  Susanne Beder ,  Karl-Heinz Schuster ,  Wolfgang Singer

发明人： David Shafer ,  Susanne Beder ,  Karl-Heinz Schuster ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B3/12

CPC分类号： G02B3/12 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： The invention relates to an objective designed as a microlithography projection objective for an operating wavelength. The objective has a greatest adjustable image-side numerical aperture NA, at least one first lens made from a solid transparent body, in particular glass or crystal, with a refractive index nL and at least one liquid lens (F) made from a transparent liquid, with a refractive index nF. At the operating wavelength the first lens has the greatest refractive index nL of all solid lenses of the objective, the refractive index nF of the at least one liquid lens (F) is bigger than the refractive index nL of the first lens and the value of the numerical aperture NA is bigger than 1.

摘要翻译： 本发明涉及被设计为用于工作波长的微光刻投射物镜的物镜。 目标具有最大的可调节图像侧数值孔径NA，由实心透明体，特别是玻璃或晶体制成的至少一个第一透镜，具有折射率n L L和至少一个液体透镜 （F）由透明液体制成，具有折射率n F F。 在工作波长下，第一透镜具有物镜的所有实心透镜的最大折射率n L L，所述至少一个液体透镜的折射率n F ）大于第一透镜的折射率nLL ，并且数值孔径NA的值大于1。

公开(公告)号：US20060221456A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：US10562257

申请日：2004-12-14

申请人： David Shafer ,  Susanne Beder ,  Karl-Heinz Schuster

发明人： David Shafer ,  Susanne Beder ,  Karl-Heinz Schuster

IPC分类号： G02B3/00

CPC分类号： G02B3/12 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： The invention relates to an objective designed as a microlithography projection objective for an operating wavelength. The objective has a greatest adjustable image-side numerical aperture NA, at least one first lens made from a solid transparent body, in particular glass or crystal, with a refractive index nL and at least one liquid lens (F) made from a transparent liquid, with a refractive index NF. At the operating wavelength the first lens has the greatest refractive index nL of all solid lenses of the objective, the refractive index nF of the at least one liquid lens (F) is bigger than the refractive index nL of the first lens and the value of the numerical aperture NA is bigger than 1.

摘要翻译： 本发明涉及被设计为用于工作波长的微光刻投射物镜的物镜。 目标具有最大的可调节图像侧数值孔径NA，由实心透明体，特别是玻璃或晶体制成的至少一个第一透镜，具有折射率n L L和至少一个液体透镜 （F）由折射率为NF的透明液体制成。 在工作波长下，第一透镜的物镜的所有实心透镜的折射率nL最大，所述至少一个液体透镜（F）的折射率n F F大于折射率n 第一透镜的L 和数值孔径NA的值大于1。

公开(公告)号：US20080037111A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：US10576265

申请日：2004-10-15

申请人： David Shafer ,  Alexander Epple ,  Aurelian Dodoc ,  Wilhelm Ulrich ,  Karl-Heinz Schuster

发明人： David Shafer ,  Alexander Epple ,  Aurelian Dodoc ,  Wilhelm Ulrich ,  Karl-Heinz Schuster

IPC分类号： G02B17/08

CPC分类号： G02B13/143 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275

摘要： A catadioptric projection objective for projecting a pattern arranged in the object plane of the projection objective into the image plane of the projection objective, having: a first objective part for projecting an object field lying in the object plane into a first real intermediate image; a second objective part for generating a second real intermediate image with the radiation coming from the first objective part; a third objective part for generating a third real intermediate image with the radiation coming from the second objective part; and a fourth objective part for projecting the third real intermediate image into the image plane.

摘要翻译： 一种反折射投射物镜，用于将布置在投影物镜的物平面中的图案投影到投影物镜的像平面中，具有：第一物镜部分，用于将物平面中的物场投影到第一实际中间像中; 第二目标部分，用于利用来自第一目标部分的辐射产生第二实际中间图像; 第三目标部分，用于利用来自第二目标部分的辐射产生第三实际中间图像; 以及用于将第三实际中间图像投影到图像平面中的第四目标部分。

公开(公告)号：US20050157400A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US11079225

申请日：2005-03-15

申请人： Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Helmut Beierl ,  Wolfgang Singer

发明人： Karl-Heinz Schuster ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Helmut Beierl ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B13/24 ,  G02B3/14 ,  G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G02B3/00

CPC分类号： G02B17/0892 ,  G02B3/14 ,  G02B13/143 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70933

摘要： A projection objective has at least five lens groups (G1 to G5) and has several lens surfaces. At least two aspheric lens surfaces are arranged so as to be mutually adjacent. These mutually adjacently arranged lens surfaces are characterized as a double asphere. This at least one double asphere (21) is mounted at a minimum distance from an image plane (0′) which is greater than the maximum lens diameter (D2) of the objective.

摘要翻译： 投影物镜具有至少五个透镜组（G 1至G 5）并且具有多个透镜表面。 至少两个非球面透镜表面被布置成相互相邻。 这些相互相邻布置的透镜表面被表征为双重非球面。 该至少一个双重非球面（21）安装在距物镜的最大透镜直径（D 2）大的图像平面（0'）的最小距离处。

公开(公告)号：US08355201B2

公开(公告)日：2013-01-15

申请号：US13081394

申请日：2011-04-06

申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf M. Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf M. Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B17/00 ,  G02B21/00

CPC分类号： G02B17/0816 ,  G02B13/16 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/02 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern provided in an object plane of the projection objective onto an image plane of the projection objective has a first, refractive objective part for imaging the pattern provided in the object plane into a first intermediate image; a second objective part including at least one concave mirror for imaging the first intermediate imaging into a second intermediate image; and a third, refractive objective part for imaging the second intermediate imaging onto the image plane; wherein the projection objective has a maximum lens diameter Dmax, a maximum image field height Y′, and an image side numerical aperture NA; wherein COMP1=Dmax/(Y′·NA2) and wherein the condition COMP1

公开(公告)号：US20110211252A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：US13081394

申请日：2011-04-06

申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B17/08

CPC分类号： G02B17/0816 ,  G02B13/16 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/02 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern provided in an object plane of the projection objective onto an image plane of the projection objective has a first, refractive objective part for imaging the pattern provided in the object plane into a first intermediate image; a second objective part including at least one concave mirror for imaging the first intermediate imaging into a second intermediate image; and a third, refractive objective part for imaging the second intermediate imaging onto the image plane; wherein the projection objective has a maximum lens diameter Dmax, a maximum image field height Y′, and an image side numerical aperture NA; wherein COMP1=Dmax (Y′−NA2) and wherein the condition COMP1

摘要翻译： 用于将设置在投影物镜的物平面中的图案成像到投影物镜的像平面上的折反射投射物镜具有用于将设置在物平面中的图案成像为第一中间图像的第一折射目标部分; 第二目标部分，其包括用于将第一中间成像成像成第二中间图像的至少一个凹面镜; 以及第三折射物镜部分，用于将所述第二中间成像成像到所述图像平面上; 其中所述投影物镜具有最大透镜直径Dmax，最大像场高度Y'和像侧数值孔径NA; 其中COMP1 = Dmax（Y'-NA2），并且其中条件COMP1 <10成立。

公开(公告)号：US20090190208A1

公开(公告)日：2009-07-30

申请号：US12409394

申请日：2009-03-23

申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B17/08

CPC分类号： G02B17/0816 ,  G02B13/16 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/02 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern provided in an object plane of the projection objective onto an image plane of the projection objective has a first, refractive objective part for imaging the pattern provided in the object plane into a first intermediate image; a second objective part including at least one concave mirror for imaging the first intermediate imaging into a second intermediate image; and a third, refractive objective part for imaging the second intermediate imaging onto the image plane; wherein the projection objective has a maximum lens diameter Dmax, a maximum image field height Y′, and an image side numerical aperture NA; wherein COMP1=Dmax/(Y′·NA2) and wherein the condition COMP1

摘要翻译： 用于将设置在投影物镜的物平面中的图案成像到投影物镜的像平面上的折反射投射物镜具有用于将设置在物平面中的图案成像为第一中间图像的第一折射目标部分; 第二目标部分，其包括用于将第一中间成像成像成第二中间图像的至少一个凹面镜; 以及第三折射物镜部分，用于将所述第二中间成像成像到所述图像平面上; 其中所述投影物镜具有最大透镜直径Dmax，最大像场高度Y'和像侧数值孔径NA; 其中COMP1 = Dmax /（Y'.NA2），并且其中条件COMP1 <10成立。

公开(公告)号：US20120250147A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13470956

申请日：2012-05-14

申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple ,  Susanne Beder ,  Wolfgang Singer

IPC分类号： G02B17/08

CPC分类号： G02B17/0816 ,  G02B13/16 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/02 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70958 ,  G03F7/70966

摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern provided in an object plane of the projection objective onto an image plane of the projection objective has a first, refractive objective part for imaging the pattern provided in the object plane into a first intermediate image; a second objective part including at least one concave mirror for imaging the first intermediate imaging into a second intermediate image; and a third, refractive objective part for imaging the second intermediate imaging onto the image plane; wherein the projection objective has a maximum lens diameter Dmax, a maximum image field height Y′, and an image side numerical aperture NA; wherein COMP1=Dmax/(Y′·NA2) and wherein the condition COMP1

摘要翻译： 用于将设置在投影物镜的物平面中的图案成像到投影物镜的像平面上的折反射投射物镜具有用于将设置在物平面中的图案成像为第一中间图像的第一折射目标部分; 第二目标部分，其包括用于将第一中间成像成像成第二中间图像的至少一个凹面镜; 以及第三折射物镜部分，用于将所述第二中间成像成像到所述图像平面上; 其中所述投影物镜具有最大透镜直径Dmax，最大像场高度Y'和像侧数值孔径NA; 其中COMP1 = Dmax /（Y'·NA2），并且其中条件COMP1 <10成立。