公开(公告)号：US08357574B2

公开(公告)日：2013-01-22

申请号：US12904633

申请日：2010-10-14

申请人： Ming-Hsi Yeh ,  Hsien-Hsin Lin ,  Hui Ouyang ,  Chi-Ming Yang

发明人： Ming-Hsi Yeh ,  Hsien-Hsin Lin ,  Hui Ouyang ,  Chi-Ming Yang

IPC分类号： H01L21/8238 ,  H01L21/336 ,  H01L21/4763 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L21/823807 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/28525 ,  H01L21/823814 ,  H01L29/66628

摘要： A method for fabricating an integrated device is disclosed. The disclosed method provides improved formation selectivity of epitaxial films over a pre-determined region designed for forming an epi film and a protective layer preferred not to form an epi, polycrystalline, or amorphous film thereon during an epi film formation process. In an embodiment, the improved formation selectivity is achieved by providing a nitrogen-rich protective layer to decrease the amount of growth epi, polycrystalline, or amorphous film thereon.

摘要翻译： 公开了一种用于制造集成器件的方法。 所公开的方法提供改进的外延膜的形成选择性，其在设计用于形成epi膜的预定区域和优选在外延膜形成工艺期间不在其上形成外延，多晶或非晶膜的保护层。 在一个实施方案中，通过提供富氮保护层以减少其上的生长外延，多晶或非晶膜的量来实现改进的地层选择性。

公开(公告)号：US08173504B2

公开(公告)日：2012-05-08

申请号：US12758491

申请日：2010-04-12

申请人： Matt Yeh ,  Fan-Yi Hsu ,  Shun Wu Lin ,  Hui Ouyang ,  Chi-Ming Yang

发明人： Matt Yeh ,  Fan-Yi Hsu ,  Shun Wu Lin ,  Hui Ouyang ,  Chi-Ming Yang

IPC分类号： H01L21/8238

CPC分类号： H01L21/823828 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/28035 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823842 ,  H01L29/165 ,  H01L29/4916 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7834 ,  H01L29/7848

摘要： A method for fabricating an integrated device is disclosed. A polysilicon gate electrode layer is provided on a substrate. In an embodiment, a treatment is provided on the polysilicon gate electrode layer to introduce species in the gate electrode layer and form an electrically neutralized portion therein. Then, a hard mask layer with limited thickness is applied on the treated polysilicon gate electrode layer. A tilt angle ion implantation is thus performing on the substrate after patterning the hard mask layer and the treated polysilicon gate electrode to from a gate structure.

摘要翻译： 公开了一种用于制造集成器件的方法。 在基板上设置多晶硅栅电极层。 在一个实施例中，在多晶硅栅极电极层上提供处理以在栅电极层中引入物质并在其中形成电中和部分。 然后，将具有有限厚度的硬掩模层施加在经处理的多晶硅栅极电极层上。 因此，在将硬掩模层和经处理的多晶硅栅电极图案化之后，在栅极结构上对基板进行倾斜角度离子注入。

公开(公告)号：US08332430B2

公开(公告)日：2012-12-11

申请号：US11680571

申请日：2007-02-28

申请人： Hiroshi Koide ,  Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Steve Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang ,  Thomas Baby ,  Ciya Liao

发明人： Hiroshi Koide ,  Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Steve Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang ,  Thomas Baby ,  Ciya Liao

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F21/6218 ,  G06F21/6236 ,  H04L63/0815

摘要： A flexible and extensible architecture allows for secure searching across an enterprise. Such an architecture can provide a simple Internet-like search experience to users searching secure content inside (and outside) the enterprise. The architecture allows for the crawling and searching of a variety of sources across an enterprise, regardless of whether any of these sources conform to a conventional user role model. The architecture further allows for security attributes to be submitted at query time, for example, in order to provide real-time secure access to enterprise resources. The user query also can be transformed to provide for dynamic querying that provides for a more current result list than can be obtained for static queries.

摘要翻译： 灵活可扩展的架构允许跨企业进行安全搜索。 这样的架构可以为在企业内部（和外部）搜索安全内容的用户提供简单的类似Internet的搜索体验。 该架构允许在整个企业中爬行和搜索各种源，而不管这些源是否符合常规用户角色模型。 该体系结构进一步允许在查询时提交安全属性，例如为了提供对企业资源的实时安全访问。 用户查询也可以被转换以提供动态查询，其提供比静态查询可获得的更多当前结果列表。

公开(公告)号：US20070214129A1

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：US11680558

申请日：2007-02-28

申请人： Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar

发明人： Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F16/951

摘要： A flexible and extensible architecture allows for secure searching across an enterprise. Such an architecture can provide a simple Internet-like search experience to users searching secure content inside (and outside) the enterprise. The architecture allows for the crawling and searching of a variety or sources across an enterprise, regardless of whether any of these sources conform to a conventional user role model. The architecture further allows for security attributes to be submitted at query time, for example, in order to provide real-time secure access to enterprise resources. The user query also can be transformed to provide for dynamic querying that provides for a more current result list than can be obtained for static queries.

摘要翻译： 灵活可扩展的架构允许跨企业进行安全搜索。 这样的架构可以为在企业内部（和外部）搜索安全内容的用户提供简单的类似Internet的搜索体验。 该架构允许在整个企业中爬行和搜索各种或多个源，无论这些源是否符合常规用户角色模型。 该体系结构进一步允许在查询时提交安全属性，例如为了提供对企业资源的实时安全访问。 用户查询也可以被转换以提供动态查询，其提供比静态查询可获得的更多当前结果列表。

公开(公告)号：US20070208746A1

公开(公告)日：2007-09-06

申请号：US11680571

申请日：2007-02-28

申请人： Hiroshi Koide ,  Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang ,  Thomas Baby ,  Ciya Liao

发明人： Hiroshi Koide ,  Mark Ture ,  Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang ,  Thomas Baby ,  Ciya Liao

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F21/6218 ,  G06F21/6236 ,  H04L63/0815

摘要： A flexible and extensible architecture allows for secure searching across an enterprise. Such an architecture can provide a simple Internet-like search experience to users searching secure content inside (and outside) the enterprise. The architecture allows for the crawling and searching of a variety or sources across an enterprise, regardless of whether any of these sources conform to a conventional user role model. The architecture further allows for security attributes to be submitted at query time, for example, in order to provide real-time secure access to enterprise resources. The user query also can be transformed to provide for dynamic querying that provides for a more current result list than can be obtained for static queries.

摘要翻译： 灵活可扩展的架构允许跨企业进行安全搜索。 这样的架构可以为在企业内部（和外部）搜索安全内容的用户提供简单的类似Internet的搜索体验。 该架构允许在整个企业中爬行和搜索各种或多个源，无论这些源是否符合常规用户角色模型。 该体系结构进一步允许在查询时提交安全属性，例如为了提供对企业资源的实时安全访问。 用户查询也可以被转换以提供动态查询，其提供比静态查询可获得的更多当前结果列表。

公开(公告)号：US09177124B2

公开(公告)日：2015-11-03

申请号：US11680530

申请日：2007-02-28

申请人： Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Mark Ture ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang

发明人： Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Mark Ture ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang

IPC分类号： G06F21/31 ,  G06F21/62 ,  H04L29/06 ,  G06F17/30

CPC分类号： H04L63/08 ,  G06F17/30011 ,  G06F17/30321 ,  G06F17/30477 ,  G06F17/30554 ,  G06F17/30864 ,  G06F17/30867 ,  G06F21/31 ,  G06F21/6227 ,  H04L63/0815 ,  H04L63/083 ,  H04L63/102

摘要： A flexible and extensible architecture allows for secure searching across an enterprise. Such an architecture can provide a simple Internet-like search experience to users searching secure content inside (and outside) the enterprise. The architecture allows for the crawling and searching of a variety of sources across an enterprise, regardless of whether any of these sources conform to a conventional user role model. The architecture further allows for security attributes to be submitted at query time, for example, in order to provide real-time secure access to enterprise resources. The user query also can be transformed to provide for dynamic querying that provides for a more current result list than can be obtained for static queries.

摘要翻译： 灵活可扩展的架构允许跨企业进行安全搜索。 这样的架构可以为在企业内部（和外部）搜索安全内容的用户提供简单的类似Internet的搜索体验。 该架构允许在整个企业中爬行和搜索各种源，而不管这些源是否符合常规用户角色模型。 该体系结构进一步允许在查询时提交安全属性，例如为了提供对企业资源的实时安全访问。 用户查询也可以被转换以提供动态查询，其提供比静态查询可获得的更多当前结果列表。

公开(公告)号：US20070208744A1

公开(公告)日：2007-09-06

申请号：US11680530

申请日：2007-02-28

申请人： Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Mark Ture ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang

发明人： Muralidhar Krishnaprasad ,  Mark Davis ,  Mark Ture ,  Cindy Hsin ,  Meeten Bhavsar ,  Hiroshi Koide ,  Joaquin Delgado ,  Chi-Ming Yang ,  Visar Nimani ,  Hui Ouyang ,  Sachin Bhatkar ,  Thomas Chang

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： H04L63/08 ,  G06F17/30011 ,  G06F17/30321 ,  G06F17/30477 ,  G06F17/30554 ,  G06F17/30864 ,  G06F17/30867 ,  G06F21/31 ,  G06F21/6227 ,  H04L63/0815 ,  H04L63/083 ,  H04L63/102

摘要： A flexible and extensible architecture allows for secure searching across an enterprise. Such an architecture can provide a simple Internet-like search experience to users searching secure content inside (and outside) the enterprise. The architecture allows for the crawling and searching of a variety or sources across an enterprise, regardless of whether any of these sources conform to a conventional user role model. The architecture further allows for security attributes to be submitted at query time, for example, in order to provide real-time secure access to enterprise resources. The user query also can be transformed to provide for dynamic querying that provides for a more current result list than can be obtained for static queries.

摘要翻译： 灵活可扩展的架构允许跨企业进行安全搜索。 这样的架构可以为在企业内部（和外部）搜索安全内容的用户提供简单的类似Internet的搜索体验。 该架构允许在整个企业中爬行和搜索各种或多个源，无论这些源是否符合常规用户角色模型。 该体系结构进一步允许在查询时提交安全属性，例如为了提供对企业资源的实时安全访问。 用户查询也可以被转换以提供动态查询，其提供比静态查询可获得的更多当前结果列表。

公开(公告)号：US08569185B2

公开(公告)日：2013-10-29

申请号：US12700862

申请日：2010-02-05

申请人： Matt Yeh ,  Hui Ouyang ,  Han-Pin Chung ,  Shiang-Bau Wang

发明人： Matt Yeh ,  Hui Ouyang ,  Han-Pin Chung ,  Shiang-Bau Wang

IPC分类号： H01L21/31 ,  H01L21/469 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/425 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/4763 ,  H01L21/44 ,  H01L21/027

CPC分类号： H01L21/823807 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823828 ,  H01L29/1083 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/7834 ,  H01L29/7848

摘要： A method for fabricating an integrated device is disclosed. In an embodiment, a hard mask layer with a limited thickness is formed over a gate electrode layer. A treatment is provided to the hard mask layer to make the hard mask layer more resistant to a wet etch solution. Then, a patterning is provided on the treated hard mask layer and the gate electrode to from a gate structure.

摘要翻译： 公开了一种用于制造集成器件的方法。 在一个实施例中，在栅极电极层上形成具有有限厚度的硬掩模层。 向硬掩模层提供处理以使硬掩模层对湿蚀刻溶液更具抗性。 然后，在经处理的硬掩模层和栅电极上提供从栅极结构构图。

公开(公告)号：US08563410B2

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：US12625957

申请日：2009-11-25

申请人： Li-Te S. Lin ,  Meng Jun Wang ,  Ya Hui Chang ,  Hui Ouyang

发明人： Li-Te S. Lin ,  Meng Jun Wang ,  Ya Hui Chang ,  Hui Ouyang

IPC分类号： H01L21/3205

CPC分类号： H01L21/28026 ,  H01L21/28008 ,  H01L21/28123 ,  H01L21/32139 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A method for fabricating a semiconductor device is disclosed. The method includes forming at least one material layer over a substrate; performing an end-cut patterning process to form an end-cut pattern overlying the at least one material layer; transferring the end-cut pattern to the at least one material layer; performing a line-cut patterning process after the end-cut patterning process to form a line-cut pattern overlying the at least one material layer; and transferring the line-cut pattern to the at least one material layer.

公开(公告)号：US20120083088A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：US13240025

申请日：2011-09-22

申请人： Ming-Hsuan Tsai ,  Chun-Fai Cheng ,  Hui Ouyang ,  Yuan-Hung Chiu ,  Yen-Ming Chen

发明人： Ming-Hsuan Tsai ,  Chun-Fai Cheng ,  Hui Ouyang ,  Yuan-Hung Chiu ,  Yen-Ming Chen

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L29/66515 ,  H01L21/265 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L29/6656 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7848

摘要： An integrated circuit device and method for manufacturing the integrated circuit device is disclosed. The disclosed method provides improved control over a surface proximity and tip depth of integrated circuit device. In an embodiment, the method achieves improved control by forming a doped region and a lightly doped source and drain (LDD) region in a source and drain region of the device. The doped region is implanted with a dopant type opposite the LDD region.

摘要翻译： 公开了一种用于制造集成电路器件的集成电路器件和方法。 所公开的方法提供对集成电路器件的表面接近度和尖端深度的改进的控制。 在一个实施例中，该方法通过在器件的源极和漏极区域中形成掺杂区域和轻掺杂源极和漏极（LDD）区域来实现改进的控制。 掺杂区域注入与LDD区域相反的掺杂剂类型。