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    MICROMIRROR DEVICE AND MICROMIRROR ARRAY
    1.
    发明申请
    MICROMIRROR DEVICE AND MICROMIRROR ARRAY 有权
    MICROMIRROR设备和MICROMIRROR ARRAY

    公开(公告)号：US20100118372A1

    公开(公告)日：2010-05-13

    申请号：US12594578

    申请日：2008-04-15

    申请人： Mitsuo Usui ,  Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Etsu Hashimoto ,  Johji Yamaguchi ,  Tohru Matsuura ,  Toshifumi Konishi

    发明人： Mitsuo Usui ,  Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Etsu Hashimoto ,  Johji Yamaguchi ,  Tohru Matsuura ,  Toshifumi Konishi

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/00

    CPC分类号： B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841

    摘要： A movable beam (182a) and a movable beam (182b) each having one end fixed to a frame portion (181) of a mirror substrate (108) are provided inside the frame portion (181). The movable beam (182a) and the movable beam (182b) each having one end fixed to a corresponding to one of two opposite inner sides of the frame portion (181) are aligned at a predetermined distance on the same line in the direction in which the two sides face each other. Each of the movable beam (182a) and the movable beam (182b) has the other end displaceable in the normal line direction of the mirror substrate (108) and therefore has a cantilever structure. A mirror (183) is arranged between the movable beam (182a) and the movable beam (182b) and connected to them via a pair of connectors (109a, 109b).

    摘要翻译： 在框架部分（181）的内部设置有可动梁（182a）和可动梁（182b），每个可动梁（182b）的一端固定在反射镜基板（108）的框架部分（181）上。 每个具有固定到框架部分（181）的两个相对内侧中的一个的一端的可移动梁（182a）和可移动梁（182b）在相同的线上以预定距离对准， 双方面对面。 可移动光束（182a）和可移动光束（182b）中的每一个具有沿镜面基板（108）的法线方向移位的另一端，因此具有悬臂结构。 反射镜（183）设置在可动光束（182a）和可动光束（182b）之间，并通过一对连接器（109a，109b）与其连接。

    Micromirror device and micromirror array
    2.
    发明授权
    Micromirror device and micromirror array 有权
    微镜器件和微镜阵列

    公开(公告)号：US08599460B2

    公开(公告)日：2013-12-03

    申请号：US12594578

    申请日：2008-04-15

    申请人： Mitsuo Usui ,  Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Etsu Hashimoto ,  Johji Yamaguchi ,  Tohru Matsuura ,  Toshifumi Konishi

    发明人： Mitsuo Usui ,  Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Etsu Hashimoto ,  Johji Yamaguchi ,  Tohru Matsuura ,  Toshifumi Konishi

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/10

    CPC分类号： B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841

    摘要： A movable beam (182a) and a movable beam (182b) each having one end fixed to a frame portion (181) of a mirror substrate (108) are provided inside the frame portion (181). The movable beam (182a) and the movable beam (182b) each having one end fixed to a corresponding to one of two opposite inner sides of the frame portion (181) are aligned at a predetermined distance on the same line in the direction in which the two sides face each other. Each of the movable beam (182a) and the movable beam (182b) has the other end displaceable in the normal line direction of the mirror substrate (108) and therefore has a cantilever structure. A mirror (183) is arranged between the movable beam (182a) and the movable beam (182b) and connected to them via a pair of connectors (109a, 109b).

    摘要翻译： 在框架部分（181）的内部设置有可动梁（182a）和可动梁（182b），每个可动梁（182b）的一端固定在反射镜基板（108）的框架部分（181）上。 每个具有固定到框架部分（181）的两个相对内侧中的一个的一端的可移动梁（182a）和可移动梁（182b）在相同的线上以预定距离对准， 双方面对面。 可移动光束（182a）和可移动光束（182b）中的每一个具有沿镜面基板（108）的法线方向移位的另一端，因此具有悬臂结构。 反射镜（183）设置在可动光束（182a）和可动光束（182b）之间，并通过一对连接器（109a，109b）与其连接。

    Mirror Device and Mirror Device Manufacturing Method
    3.
    发明申请
    Mirror Device and Mirror Device Manufacturing Method 有权
    镜像设备和镜像设备制造方法

    公开(公告)号：US20090244676A1

    公开(公告)日：2009-10-01

    申请号：US12086222

    申请日：2006-12-27

    申请人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    发明人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H01L21/64

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/101

    摘要： When a mirror (230) rotates with a maximum angle, a distance from the rotation center of the mirror (230) to the edge of the mirror (230) along a direction horizontal to an electrode substrate (300) is larger than a distance from a perpendicular, perpendicular to the horizontal direction and extending through the rotation center, to the distal end of an electrode (340a-340d) along the horizontal direction. Even when the mirror (230) rotates to come into contact with the electrode substrate (300), since the electrode (340a-340d) does not exist at a position with which the mirror (230) comes into contact when rotating, the mirror (230) and the electrode (340a-340d) can be prevented from being electrodeposited.

    摘要翻译： 当反射镜（230）以最大角度旋转时，沿着与电极基板（300）水平的方向从反射镜（230）的旋转中心到反射镜（230）的边缘的距离大于距离 垂直于水平方向并沿着旋转中心延伸到沿水平方向的电极（340a-340d）的远端。 即使当反射镜230旋转以与电极基板300接触时，由于在旋转时反射镜230接触的位置上不存在电极340a〜340d，因此， 230），并且可以防止电极（340a-340d）电沉积。

    Mirror device and mirror device manufacturing method incorporating a collision preventive structure
    6.
    发明授权
    Mirror device and mirror device manufacturing method incorporating a collision preventive structure 有权
    具有防碰撞结构的镜面装置和镜面装置的制造方法

    公开(公告)号：US07978388B2

    公开(公告)日：2011-07-12

    申请号：US12086222

    申请日：2006-12-27

    申请人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    发明人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    IPC分类号： G02B26/10

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/101

    摘要： When a mirror (230) rotates with a maximum angle, a distance from the rotation center of the mirror (230) to the edge of the mirror (230) along a direction horizontal to an electrode substrate (300) is larger than a distance from a perpendicular, perpendicular to the horizontal direction and extending through the rotation center, to the distal end of an electrode (340a-340d) along the horizontal direction. Even when the mirror (230) rotates to come into contact with the electrode substrate (300), since the electrode (340a-340d) does not exist at a position with which the mirror (230) comes into contact when rotating, the mirror (230) and the electrode (340a-340d) can be prevented from being electrodeposited.

    摘要翻译： 当反射镜（230）以最大角度旋转时，沿着与电极基板（300）水平的方向从反射镜（230）的旋转中心到反射镜（230）的边缘的距离大于距离 垂直于水平方向并沿着旋转中心延伸到沿水平方向的电极（340a-340d）的远端。 即使当反射镜230旋转以与电极基板300接触时，由于在旋转时反射镜230接触的位置上不存在电极340a〜340d，因此， 230），并且可以防止电极（340a-340d）电沉积。