公开(公告)号：US20070002918A1

公开(公告)日：2007-01-04

申请号：US11172266

申请日：2005-06-30

申请人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Vadim Berger

发明人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Vadim Berger

IPC分类号： H01S3/22 ,  H01S3/097

CPC分类号： H01S3/0388 ,  H01S3/032 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225

摘要： An excimer laser has a laser chamber containing a laser gas and including an electrode assembly for firing gas discharge pulses in the laser gas for pumping the laser. The electrode assembly includes two elongated electrodes, one or both of which is partially covered by a ceramic foam. The electrodes are arranged to provide a discharge gap between the electrodes. The ceramic foam on an electrode serves to damp acoustic disturbances and resulting refractive index disturbances in the gas that occur as a result of firing a gas discharge pulse in the discharge gap.

摘要翻译： 准分子激光器具有包含激光气体的激光室，并且包括用于激发激光器中的气体放电脉冲的电极组件，用于泵浦激光。 电极组件包括两个细长电极，其中一个或两个部分被陶瓷泡沫覆盖。 电极被布置成在电极之间提供放电间隙。 电极上的陶瓷泡沫用于抑制由于在放电间隙中发生气体放电脉冲而发生的气体中的声学干扰和由此产生的折射率干扰。

公开(公告)号：US20080019411A1

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：US11490386

申请日：2006-07-20

申请人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Rainer Paetzel ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Witt

发明人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Rainer Paetzel ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Witt

IPC分类号： H01S3/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/0305 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0385

摘要： An excimer laser is disclosed in which a gas-discharge is formed for exciting an excimer-forming lasing-gas mixture. The gas discharge is formed between an elongated anode electrode and a elongated cathode electrode. The anode is in contact with a dielectric surface and the cathode is supported above the dielectric surface, laterally spaced from and parallel to the anode. The gas-discharge has a surface-discharge or sliding discharge portion extending from the anode over the dielectric surface, and a volume-discharge portion connecting the sliding-discharge portion to the cathode. The volume-discharge excites the lasing-gas mixture. A laser resonator is arranged to generate laser radiation from the excited gas mixture. The sliding-discharge has homogeneous, stable characteristics that are inherited by the volume-discharge. An ion-wind generator provides circulation of the lasing-gas mixture through the volume-discharge.

摘要翻译： 公开了一种准分子激光器，其中形成气体放电以激发准分子成型激光气体混合物。 气体放电形成在细长的阳极电极和细长的阴极电极之间。 阳极与电介质表面接触，并且阴极被支撑在电介质表面的上方，与阳极横向间隔开并平行。 气体放电具有从电介质表面上的阳极延伸的表面放电或滑动放电部，以及将滑动放电部连接到阴极的容积放电部。 体积放电激发激光气体混合物。 激光谐振器布置成从激发的气体混合物产生激光辐射。 滑动放电具有由体积放电所遗传的均匀，稳定的特性。 离子风发生器通过体积放电提供激光气体混合物的循环。