公开(公告)号：US20070228002A1

公开(公告)日：2007-10-04

申请号：US11395626

申请日：2006-03-31

申请人： Qiquan Geng ,  Jeff Xu ,  Everett Lee ,  Michael Ru ,  Hsu-en Yang ,  Chung Hui

发明人： Qiquan Geng ,  Jeff Xu ,  Everett Lee ,  Michael Ru ,  Hsu-en Yang ,  Chung Hui

IPC分类号： B44C1/22 ,  C03C25/68

CPC分类号： H01L21/31144 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/31116

摘要： First radicals and second radicals are simultaneous deposited into a space defined by two adjacent lines of photoresists and an underlying layer. A portion of the first radicals and the second radicals combine to form a polymer layer on the layer in the center of the space, and substantially simultaneously, another portion of thee first radicals remove the underlying layer near the base of the photoresists. The first radicals may be fluorine-rich and the second radicals may be carbon-rich.

摘要翻译： 第一自由基和第二自由基同时沉积到由两个相邻的光致抗蚀剂层和下层所限定的空间中。 第一自由基和第二自由基的一部分组合在该空间中心的层上形成聚合物层，并且基本上同时地，第一自由基的另一部分除去光致抗蚀剂基底附近的下层。 第一基团可以是富氟的，第二基团可以是富碳的。

公开(公告)号：US08715476B2

公开(公告)日：2014-05-06

申请号：US12963430

申请日：2010-12-08

申请人： Matthew Latham ,  William Strong ,  Nikolas Chmiel ,  Jeff Xu ,  Robert Iovanni

发明人： Matthew Latham ,  William Strong ,  Nikolas Chmiel ,  Jeff Xu ,  Robert Iovanni

IPC分类号： G01N27/447

CPC分类号： G01N27/44739 ,  B01D57/02 ,  G01N27/44782

摘要： Electrotransfer is performed in an instrument that receives electroblotting cassettes and that contains an integrated power supply, controls, and a display that allows the user to monitor and control each of a plurality of cassettes individually through electrical contacts within the housing that mate with corresponding electrical contacts on the cassettes.

摘要翻译： 电传递在接收电印箱的仪器中进行，并且包含集成的电源，控制和显示器，其允许用户通过壳体内的电接触单独地监测和控制多个盒中的每一个，从而与相应的电触点 在盒子上

公开(公告)号：US20110297545A1

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：US12963430

申请日：2010-12-08

申请人： Matthew Latham ,  William Strong ,  Nikolas Chmiel ,  Jeff Xu ,  Robert Iovanni

发明人： Matthew Latham ,  William Strong ,  Nikolas Chmiel ,  Jeff Xu ,  Robert Iovanni

IPC分类号： G01N27/447

CPC分类号： G01N27/44739 ,  B01D57/02 ,  G01N27/44782

摘要： Electrotransfer is performed in an instrument that receives electroblotting cassettes and that contains an integrated power supply, controls, and a display that allows the user to monitor and control each of a plurality of cassettes individually through electrical contacts within the housing that mate with corresponding electrical contacts on the cassettes.

摘要翻译： 电传递在接收电印箱的仪器中进行，并且包含集成的电源，控制和显示器，其允许用户通过壳体内的电接触单独地监测和控制多个盒中的每一个，从而与相应的电触点 在盒子上

公开(公告)号：US20060154477A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：US11034788

申请日：2005-01-12

申请人： Quain Geng ,  Jeff Xu

发明人： Quain Geng ,  Jeff Xu

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/76802 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31144

摘要： A polymer spacer material may increase the dimensions of the patterned photoresist that is used as a mask to etch the layers below the photoresist, which in turn translates into smaller dimensions etched into the underlying materials. This allows for the formation of integrated circuits having smaller features, smaller overall size, and greater density of features. In particular, the use of a polymer spacer material allows for the formation of contacts within flash memory cells having decreased dimensions so that higher density flash memory cells may be created without causing shorts between contacts or shorts due to misalignment of the contacts. Additionally, the use of the polymer spacer material extends the use of photolithography technologies that are used to form the patterns into the photoresists.

摘要翻译： 聚合物间隔物材料可以增加用作掩模的图案化光致抗蚀剂的尺寸，以蚀刻光致抗蚀剂下面的层，其又转化成蚀刻到下面的材料中的较小尺寸。 这允许形成具有较小特征，更小的总体尺寸和更大的特征密度的集成电路。 特别地，使用聚合物间隔物材料允许在具有减小的尺寸的闪速存储器单元内形成触点，使得可以创建更高密度的闪存单元，而不会由于触点的不对准而导致触点之间的短路或短路。 此外，使用聚合物间隔物材料延长了用于将光刻胶形成图案的光刻技术的使用。