公开(公告)号：US5037781A

公开(公告)日：1991-08-06

申请号：US220764

申请日：1988-07-05

申请人： Richard L. Woodruff ,  John T. Chaffee ,  Craig Hafer

发明人： Richard L. Woodruff ,  John T. Chaffee ,  Craig Hafer

IPC分类号： H01L21/316 ,  H01L21/762

CPC分类号： H01L21/02129 ,  H01L21/022 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/31604 ,  H01L21/31662 ,  H01L21/762 ,  Y10S428/901

摘要： A radiation-hardened field oxide comprises a thin layer of high-quality thermal oxide, a thick layer of borophosphosilica glass and a diffusion barrier layer of undoped oxide, with the boron and phosphorous provising recombination sites for electron-hole pairs.

摘要翻译： 辐射硬化的场氧化物包括高质量的热氧化物的薄层，厚层的硼磷硅玻璃和未掺杂的氧化物的扩散阻挡层，硼和磷提供电子 - 空穴对的重组位点。

公开(公告)号：US5658819A

公开(公告)日：1997-08-19

申请号：US551387

申请日：1995-11-01

申请人： Kurt D. Humphrey ,  Bradley S. Holway ,  Craig Hafer

发明人： Kurt D. Humphrey ,  Bradley S. Holway ,  Craig Hafer

IPC分类号： H01L21/82 ,  H01L23/525 ,  H01L21/70 ,  H01L27/00

CPC分类号： H01L23/5252 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/3011

摘要： An antifuse may include one or more interfacial oxide film layers surrounding an antifuse dielectric layer to provide narrowing of the antifuse programming voltage distribution and to improve the antifuse yield and long term reliability.

摘要翻译： 反熔丝可以包括围绕反熔丝电介质层的一个或多个界面氧化物膜层，以提供反熔丝编程电压分布变窄并提高反熔丝产率和长期可靠性。