公开(公告)号：US20140352786A1

公开(公告)日：2014-12-04

申请号：US14287673

申请日：2014-05-27

申请人： SAMSUNG CORNING ADVANCED GLASS, LLC

发明人： YoonGyu Lee ,  Hwangyong Go ,  Juok Park ,  Soo Young Seo

IPC分类号： H01L31/0216

CPC分类号： H01L31/02167 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B37/026 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/403 ,  C04B2237/406 ,  C04B2237/407 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  Y02E10/50

摘要： A zinc oxide (ZnO)-based sputtering target which is available for DC sputtering and a photovoltaic cell having a passivation layer deposited using the same. The ZnO-based sputtering target includes a sintered body made of ZnO, the ZnO being doped with 10 to 60% by weight gallium oxide, and a backing plate bonded to the rear surface of the sintered body to support the sintered body. The passivation layer can prevent a change in the composition of the light-absorbing layer from lowering an efficiency.

摘要翻译： 可用于DC溅射的基于氧化锌（ZnO）的溅射靶和具有使用其沉积的钝化层的光伏电池。 ZnO系溅射靶包括由ZnO构成的烧结体，ZnO被掺杂有10〜60重量％的氧化镓，以及背衬板，其结合到烧结体的后表面以支撑烧结体。 钝化层可以防止光吸收层的组成的变化降低效率。