公开(公告)号：US08808256B2

公开(公告)日：2014-08-19

申请号：US13350963

申请日：2012-01-16

申请人： Stephen R. Beaton ,  Michael Ferran ,  Justin Scott Jacobs ,  Jason M. Tokarski ,  Christopher S. Gudeman ,  Fardad Chamran ,  Paul J. Rubel ,  Bret A. Coldren

发明人： Stephen R. Beaton ,  Michael Ferran ,  Justin Scott Jacobs ,  Jason M. Tokarski ,  Christopher S. Gudeman ,  Fardad Chamran ,  Paul J. Rubel ,  Bret A. Coldren

IPC分类号： A61M35/00 ,  A61F9/00 ,  A61F9/007 ,  A61F2/14

CPC分类号： A61F9/0017 ,  A61F9/00772

摘要： A punctal plug or lacrimal insert comprising a microelectromechanical system pump and associated reservoir may be utilized to deliver precise dosages of an active agent into the eye though the tear film. The microelectromechanical system pump comprises four main components; namely, a reservoir, a pump, a series of valves and a vent. The microelectromechanical system pump is positioned within a cavity in the punctal plug. The microelectromechanical system pump is positioned with a cavity in the punctal plug.

摘要翻译： 包括微机电系统泵和相关贮存器的泪点塞或泪液插入物可用于通过泪膜将精确剂量的活性剂递送到眼睛中。 微机电系统泵包括四个主要部件; 即储存器，泵，一系列阀和通风口。 微机电系统泵定位在泪点塞中的腔内。 微机电系统泵定位在泪点塞中有空腔。

公开(公告)号：US20130184661A1

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：US13350963

申请日：2012-01-16

申请人： Stephen R. Beaton ,  Michael Ferran ,  Justin Scott Jacobs ,  Jason M. Tokarski ,  Christopher S. Gudeman ,  Fardad Chamran ,  Paul J. Rubel ,  Bret A. Coldren

发明人： Stephen R. Beaton ,  Michael Ferran ,  Justin Scott Jacobs ,  Jason M. Tokarski ,  Christopher S. Gudeman ,  Fardad Chamran ,  Paul J. Rubel ,  Bret A. Coldren

IPC分类号： A61F9/00 ,  A61M35/00

CPC分类号： A61F9/0017 ,  A61F9/00772

摘要： A punctal plug or lacrimal insert comprising a microelectromechanical system pump and associated reservoir may be utilized to deliver precise dosages of an active agent into the eye though the tear film. The microelectromechanical system pump comprises four main components; namely, a reservoir, a pump, a series of valves and a vent. The microelectromechanical system pump is positioned within a cavity in the punctal plug. The microelectromechanical system pump is positioned with a cavity in the punctal plug.

摘要翻译： 包括微机电系统泵和相关贮存器的泪点塞或泪液插入物可用于通过泪膜将精确剂量的活性剂递送到眼睛中。 微机电系统泵包括四个主要部件; 即储存器，泵，一系列阀和通风口。 微机电系统泵定位在泪点塞中的腔内。 微机电系统泵定位在泪点塞中有空腔。

公开(公告)号：US20060273065A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：US11421715

申请日：2006-06-01

申请人： Chang-Jin Kim ,  Rihui He ,  Fardad Chamran

发明人： Chang-Jin Kim ,  Rihui He ,  Fardad Chamran

IPC分类号： C23F1/00

CPC分类号： B81C1/00333 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0145

摘要： A method of forming free standing microstructures includes providing a substrate and forming a sacrificial layer on the substrate. A thin-film structural layer is then formed around and over the sacrificial layer. The sacrificial layer may be formed from an electrically conductive or non-electrically conductive material in certain embodiments of the invention. Nanometer-scale pores are then introduced through the thin-film structural layer by a non-lithographic method, such as anodic etching. Via the pores, at least a portion of the sacrificial layer is etched away or otherwise removed from underneath the thin-film structural layer. The free standing microstructures may be sealed by application of a sealing layer on top thereof. The microstructure may form an encapsulating cavity and provide integrated on-wafer packaging if separate microdevices are disposed inside the cavity. The entire process may be done at or near room temperature in some cases.

摘要翻译： 形成自由立体微结构的方法包括提供衬底并在衬底上形成牺牲层。 然后在牺牲层周围形成薄膜结构层。 在本发明的某些实施例中，牺牲层可以由导电或非导电材料形成。 然后通过非平版印刷法，例如阳极蚀刻，通过薄膜结构层引入纳米级的孔。 通过孔，牺牲层的至少一部分被蚀刻掉或以其它方式从薄膜结构层下方移除。 可以通过在其顶部施加密封层来密封自立式微结构。 如果单独的微型器件设置在空腔内，则微结构可以形成封装空腔并提供集成的晶片封装。 在某些情况下，整个过程可以在室温或室温附近完成。