PATTERNING OF THIN FILM LAYERS
    1.
    发明申请
    PATTERNING OF THIN FILM LAYERS 有权
    薄膜层的图案

    公开(公告)号:US20110043383A1

    公开(公告)日:2011-02-24

    申请号:US12626536

    申请日:2009-11-25

    IPC分类号: B05D5/12 H03M1/22

    CPC分类号: G06F3/044

    摘要: Simplified patterning of layers of a thin film is disclosed. In some embodiments, the patterning can include patterning a first conductive layer using a patterned dielectric layer as a mask and patterning a second conductive layer using a patterned passivation layer as another mask. In other embodiments, the patterning can include patterning a first conductive layer using a removable photosensitive layer as a mask, patterning a black mask layer using a removable photo mask, and patterning a second conductive layer using a patterned passivation layer as another mask. In still other embodiments, the patterning can include patterning a first conductive layer using a patterned black mask layer as a mask and patterning a second conductive layer using a patterned passivation layer as another mask. An exemplary device utilizing the thin film so patterned can include a touch sensor panel.

    摘要翻译: 公开了薄膜层的简化图案化。 在一些实施例中,图案化可以包括使用图案化的介电层作为掩模来图案化第一导电层,并且使用图案化的钝化层作为另一个掩模来图案化第二导电层。 在其他实施例中,图案化可以包括使用可移除的感光层作为掩模来图案化第一导电层,使用可除去的光掩模来构图黑色掩模层,并且使用图案化的钝化层作为另一个掩模来图案化第二导电层。 在其他实施例中,图案化可以包括使用图案化的黑色掩模层作为掩模来图案化第一导电层,并且使用图案化的钝化层作为另一个掩模来图案化第二导电层。 使用如此图案化的薄膜的示例性装置可以包括触摸传感器面板。