公开(公告)号：US07553430B2

公开(公告)日：2009-06-30

申请号：US11540297

申请日：2006-09-29

申请人： Sunil Chandra ,  Sreehari Nimmala ,  Suryadevara Vijayakumar Babu ,  Udaya B. Patri ,  Sharath Hedge ,  Youngki Hong

发明人： Sunil Chandra ,  Sreehari Nimmala ,  Suryadevara Vijayakumar Babu ,  Udaya B. Patri ,  Sharath Hedge ,  Youngki Hong

IPC分类号： C09K13/00

CPC分类号： C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C23F3/04 ,  C23F3/06 ,  H01L21/3212

摘要： Aqueous polishing slurries for chemical-mechanical polishing are effective for polishing copper at high polish rates. The aqueous slurries according to the present invention may include soluble salts of molybdenum dissolved in an oxidizing agent and molybdic acid dissolved in an oxidizing agent. Methods for polishing copper by chemical-mechanical planarization include polishing copper with low pressures using a polishing pad and a aqueous slurries including soluble salts of molybdenum dissolved in an oxidizing agent and molybdic acid dissolved in an oxidizing agent, particles of MoO3 dissolved in an oxidizing agent, and particles of MoO2 dissolved in an oxidizing agent.

摘要翻译： 用于化学机械抛光的水性抛光浆对于以高抛光速率抛光铜是有效的。 根据本发明的水性浆料可以包括溶解在氧化剂中的钼的可溶性盐和溶解在氧化剂中的钼酸。 通过化学机械平面化抛光铜的方法包括使用抛光垫来抛光低压铜，以及包含溶解在氧化剂中的钼的可溶性盐和溶解在氧化剂中的钼酸的水性浆料，溶解在氧化剂中的MoO 3颗粒 ，和溶解在氧化剂中的MoO 2颗粒。

公开(公告)号：US20090224200A1

公开(公告)日：2009-09-10

申请号：US12469193

申请日：2009-05-20

申请人： Sunil Chandra Jha ,  Sreehari Nimmala ,  Sharath Hedge ,  Youngki Hong ,  Suryadevara Vijayakumar Babu ,  Udaya B. Patri

发明人： Sunil Chandra Jha ,  Sreehari Nimmala ,  Sharath Hedge ,  Youngki Hong ,  Suryadevara Vijayakumar Babu ,  Udaya B. Patri

IPC分类号： C09K13/00 ,  C09K13/04

CPC分类号： C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C23F3/04 ,  C23F3/06 ,  H01L21/3212

摘要： The aqueous slurries according to the present invention include soluble salts of molybdenum dissolved in an oxidizing agent and deionized water. Other aqueous polishing slurries include dissolved and undissolved nanoparticles of MoO3 in a solution of deionized water and an oxidizing agent.

摘要翻译： 根据本发明的水性浆料包括溶解在氧化剂中的钼的可溶性盐和去离子水。 其他水性抛光浆料包括在去离子水和氧化剂溶液中的溶解和未溶解的MoO 3纳米颗粒。

公开(公告)号：US07186653B2

公开(公告)日：2007-03-06

申请号：US11032717

申请日：2005-01-11

申请人： Sunil Chandra Jha ,  Sreehari Nimmala ,  Sharath Hegde ,  Youngki Hong ,  Suryadevera V. Babu ,  Udaya B. Patri

发明人： Sunil Chandra Jha ,  Sreehari Nimmala ,  Sharath Hegde ,  Youngki Hong ,  Suryadevera V. Babu ,  Udaya B. Patri

IPC分类号： H01I21/302 ,  C09K13/00

CPC分类号： C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C23F3/04 ,  C23F3/06 ,  H01L21/3212

摘要： Aqueous polishing slurries for chemical-mechanical polishing are effective for polishing copper at high polish rates. The aqueous slurries according to the present invention may include soluble salts of molybdenum dissolved in an oxidizing agent and molybdic acid dissolved in an oxidizing agent. Methods for polishing copper by chemical-mechanical planarization include polishing copper with low pressures using a polishing pad and a aqueous slurries including soluble salts of molybdenum dissolved in an oxidizing agent and molybdic acid dissolved in an oxidizing agent, particles of MoO3 dissolved in an oxidizing agent, and particles of MoO2 dissolved in an oxidizing agent.

摘要翻译： 用于化学机械抛光的水性抛光浆对于以高抛光速率抛光铜是有效的。 根据本发明的水性浆料可以包括溶解在氧化剂中的钼的可溶性盐和溶解在氧化剂中的钼酸。 通过化学 - 机械平面化抛光铜的方法包括使用抛光垫对低压抛光铜和包含溶解在氧化剂中的钼的可溶性盐和溶解在氧化剂中的钼酸的水性浆料，MoO 3的颗粒， / SUB>溶解在氧化剂中的MoO 2 N 2 O 3的颗粒溶解在氧化剂中。

公开(公告)号：US20080277378A1

公开(公告)日：2008-11-13

申请号：US12163385

申请日：2008-06-27

申请人： S.V. Babu ,  Sharath Hegde ,  Sunil Chandra Jha ,  Udaya B. Patri ,  Youngki Hong

发明人： S.V. Babu ,  Sharath Hegde ,  Sunil Chandra Jha ,  Udaya B. Patri ,  Youngki Hong

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C23F3/06 ,  H01L21/3212

摘要： Method for polishing copper by chemical-mechanical planarization. The method of the present invention includes dissolving MoO3 in an oxidizing agent and deionized water to form a first slurry; filtering the first slurry; adding supplemental ceramic/metal oxide nano-particles to the first slurry after filtering, forming an aqueous slurry; introducing the aqueous slurry between the copper and a polishing pad; and, polishing the copper by moving the polishing pad and the copper relative to one another.

摘要翻译： 通过化学机械平面化抛光铜的方法。 本发明的方法包括将MoO 3 N 3在氧化剂和去离子水中溶解以形成第一浆料; 过滤第一浆料; 在过滤后向第一浆料中加入补充的陶瓷/金属氧化物纳米颗粒，形成含水浆料; 在铜和抛光垫之间引入含水浆料; 并且通过相对于彼此移动抛光垫和铜来抛光铜。