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    MEMS DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
    5.
    发明申请
    MEMS DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 有权
    MEMS器件及其制造方法

    公开(公告)号：US20110013256A1

    公开(公告)日：2011-01-20

    申请号：US12918783

    申请日：2009-03-03

    申请人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Tomomi Sakata ,  Nobuhiro Shimoyama ,  Mitsuhiro Makihara ,  Mitsuo Usui

    发明人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Tomomi Sakata ,  Nobuhiro Shimoyama ,  Mitsuhiro Makihara ,  Mitsuo Usui

    IPC分类号： G02B26/00 ,  B05D3/10 ,  B05D5/06

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0008 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/042

    摘要： A MEMS device includes a mirror substrate (200), an electrode substrate (301) arranged so as to face the mirror substrate (200), a mirror (230) serving as a movable member rotatably supported in an opening portion of the mirror substrate (200) via support members, a driving electrode (101) arranged on an insulating film (104) on a surface of the electrode substrate (301) facing the mirror substrate (200) so as to face the mirror (230) across a gap and drive the mirror (230), and a lower electrode (103) made of a metal or a semiconductor and formed under the insulating film (104) exposed to the gap so as to be in contact with the insulating film (104).

    摘要翻译： MEMS器件包括镜面基板（200），布置成面对镜面基板（200）的电极基板（301），用作可旋转地支撑在反射镜基板的开口部分的可动部件的反射镜（230） 200），驱动电极（101），其配置在与所述反射镜基板（200）相对的所述电极基板（301）的表面上的绝缘膜（104）上，以跨越所述间隙与所述反射镜（230）相对;以及 驱动反射镜（230）和由金属或半导体制成的下电极（103），形成在暴露于间隙的绝缘膜（104）下方以与绝缘膜（104）接触。

    Mirror device and mirror device manufacturing method incorporating a collision preventive structure
    8.
    发明授权
    Mirror device and mirror device manufacturing method incorporating a collision preventive structure 有权
    具有防碰撞结构的镜面装置和镜面装置的制造方法

    公开(公告)号：US07978388B2

    公开(公告)日：2011-07-12

    申请号：US12086222

    申请日：2006-12-27

    申请人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    发明人： Shingo Uchiyama ,  Fusao Shimokawa ,  Johji Yamaguchi ,  Kunihiko Sasakura ,  Hiromu Ishii

    IPC分类号： G02B26/10

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/101

    摘要： When a mirror (230) rotates with a maximum angle, a distance from the rotation center of the mirror (230) to the edge of the mirror (230) along a direction horizontal to an electrode substrate (300) is larger than a distance from a perpendicular, perpendicular to the horizontal direction and extending through the rotation center, to the distal end of an electrode (340a-340d) along the horizontal direction. Even when the mirror (230) rotates to come into contact with the electrode substrate (300), since the electrode (340a-340d) does not exist at a position with which the mirror (230) comes into contact when rotating, the mirror (230) and the electrode (340a-340d) can be prevented from being electrodeposited.

    摘要翻译： 当反射镜（230）以最大角度旋转时，沿着与电极基板（300）水平的方向从反射镜（230）的旋转中心到反射镜（230）的边缘的距离大于距离 垂直于水平方向并沿着旋转中心延伸到沿水平方向的电极（340a-340d）的远端。 即使当反射镜230旋转以与电极基板300接触时，由于在旋转时反射镜230接触的位置上不存在电极340a〜340d，因此， 230），并且可以防止电极（340a-340d）电沉积。

    SERVO PRESS SYSTEM
    10.
    发明申请
    SERVO PRESS SYSTEM 有权
    伺服压力系统

    公开(公告)号：US20120192607A1

    公开(公告)日：2012-08-02

    申请号：US13359948

    申请日：2012-01-27

    申请人： Shingo Uchiyama ,  Osamu Yahata ,  Hiroaki Yoshida ,  Akira Harada

    发明人： Shingo Uchiyama ,  Osamu Yahata ,  Hiroaki Yoshida ,  Akira Harada

    IPC分类号： B23Q15/22 ,  B30B15/30 ,  B21D43/05

    CPC分类号： B30B15/148 ,  B21D43/05 ,  B30B1/266

    摘要： A servo press system in which a servo transfer device implements a transfer operation by utilizing first transfer operation instruction information that is generated depending on a mechanical motion state of a press element of a servo press or second transfer operation instruction information that is generated independently of the mechanical motion state of the press element during a press operation using a pendulum motion.

    摘要翻译： 一种伺服压制系统，其中伺服传送装置通过利用根据伺服压力机的按压元件的机械运动状态产生的第一传送操作指令信息来实现传送操作，或者独立于生成的第二传送操作指令信息 在使用摆锤运动的按压操作期间按压元件的机械运动状态。