利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

35 条记录 (耗时 0.037 秒)

    CMP CONDITIONER AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
    1.
    发明申请
    CMP CONDITIONER AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
    CMP调节器及其制造方法

    公开(公告)号：US20090239454A1

    公开(公告)日：2009-09-24

    申请号：US12311226

    申请日：2007-09-21

    申请人： Tetsuji Yamashita ,  Naoki Rikita ,  Takashi Kimura ,  Masaharu Ogyu ,  Hiroaki Ashizawa ,  Hironori Hatono ,  Masahiro Tokita

    发明人： Tetsuji Yamashita ,  Naoki Rikita ,  Takashi Kimura ,  Masaharu Ogyu ,  Hiroaki Ashizawa ,  Hironori Hatono ,  Masahiro Tokita

    IPC分类号： B24B53/12 ,  B24D3/00

    CPC分类号： B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24D3/08 ,  B24D18/00

    摘要： A CMP conditioner having excellent corrosion resistance around abrasive grains includes a grindstone base having, formed on one side, an abrasive grain layer including abrasive grains fixed in a metallic bonding phase treated to form a first protective layer comprising an oxide on the surface of the metallic bonding phase of the abrasive grain layer by the sol-gel method. Subsequently, an aerosol obtained by dispersing fine particles of a brittle material in a gas is jetted and caused to strike on the surface of the first protective layer to form a second protective layer comprising a thick oxide film.

    摘要翻译： 具有优良的磨料颗粒周围耐腐蚀性的CMP调节剂包括：磨石基体，其一侧形成磨料颗粒层，该磨粒层包含固定在金属结合相中的磨粒，所述磨料颗粒层被处理以形成第一保护层，该第一保护层包含金属 通过溶胶 - 凝胶法研磨磨料层的结合相。 随后，将通过将脆性材料的细颗粒分散在气体中而获得的气溶胶被喷射并引起到第一保护层的表面上，形成包含厚氧化膜的第二保护层。

    Composite structure
    3.
    发明授权
    Composite structure 有权
    复合结构

    公开(公告)号：US07897268B2

    公开(公告)日：2011-03-01

    申请号：US12083065

    申请日：2006-10-10

    申请人： Junichi Iwasawa ,  Ryoichi Nishimizu ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    发明人： Junichi Iwasawa ,  Ryoichi Nishimizu ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    IPC分类号： B32B9/00

    CPC分类号： C23C30/00 ,  B22F2998/00 ,  C23C24/04 ,  B22F7/04

    摘要： According to the present invention, a structure made of yttrium oxide is formed on a surface of a substrate comprises yttrium oxide polycrystals as a main component, a boundary layer made of hyaline does not substantially exist on a boundary face between crystals which form the structure, and both a cubic system and a monoclinic system exist in the crystal system of the yttrium oxide polycrystals. With this, it is possible to adjust the hardness of the structure made of yttrium oxide formed on a surface of a substrate to be larger than that of an yttrium oxide sintered body.

    摘要翻译： 根据本发明，在基板的表面上形成由氧化钇多晶体作为主要成分的结构，在形成该结构的晶体之间的界面上基本上不存在由透明性构成的边界层， 并且在氧化钇多晶体的晶体体系中存在立方体系和单斜晶系。 由此，可以将形成在基板表面上的氧化钇的结构的硬度调整为大于氧化钇烧结体的硬度。

    Method for Producing Coating Film Using Aerosol, Fine Particles for Use Therein, and Coating Film and Composite Material
    4.
    发明申请
    Method for Producing Coating Film Using Aerosol, Fine Particles for Use Therein, and Coating Film and Composite Material 审中-公开
    使用气雾剂制造涂膜的方法，其中使用的微粒，以及涂膜和复合材料

    公开(公告)号：US20080274348A1

    公开(公告)日：2008-11-06

    申请号：US11547509

    申请日：2005-03-18

    申请人： Junichi Iwasawa ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    发明人： Junichi Iwasawa ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    IPC分类号： B32B5/16 ,  B05D7/00 ,  B32B18/00

    CPC分类号： C23C24/04 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/252 ,  Y10T428/2982

    摘要： There is disclosed a method for producing a film with use of aerosol which is capable of forming a film of satisfactory quality at an extremely high film formation rate. In the method, first, a carrier gas is mixed into fine particles comprising a brittle material as a main component and having a 50% average particle diameter of 100 nm to 300 nm on a number basis to form an aerosol. The aerosol is ejected onto the surface of a substrate to make the fine particles come into collision with the substrate, so that the collision crushes or deforms the fine particles to form a film on the substrate.

    摘要翻译： 公开了一种使用气溶胶制造膜的方法，该方法能够以极高的成膜速度形成令人满意的质量的膜。 在该方法中，首先，将载气以数量为基准混合成以脆性材料为主要成分，平均粒径为100nm〜300nm的微粒子，形成气溶胶。 将气溶胶喷射到基板的表面上，使得微粒与基板发生碰撞，使得碰撞使细颗粒破碎或变形，从而在基板上形成膜。

    Method for Producing Film Using Aerosol, Particles Mixture Therefor, and Film and Composite Material
    5.
    发明申请
    Method for Producing Film Using Aerosol, Particles Mixture Therefor, and Film and Composite Material 审中-公开
    使用气雾剂，其颗粒混合物，薄膜和复合材料制造薄膜的方法

    公开(公告)号：US20080274347A1

    公开(公告)日：2008-11-06

    申请号：US11547515

    申请日：2005-03-18

    申请人： Junichi Iwasawa ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa ,  Tomokazu Ito ,  Kaori Miyahara

    发明人： Junichi Iwasawa ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa ,  Tomokazu Ito ,  Kaori Miyahara

    IPC分类号： B05D1/12 ,  C09D1/00 ,  B32B5/16

    CPC分类号： C23C24/04 ,  Y10T428/25

    摘要： There is disclosed a method for producing a film with use of aerosol which is capable of forming a film of satisfactory quality at a high film formation rate. In the method, first, a carrier gas is mixed into a particle mixture which comprises raw fine particles comprising a brittle material as a main component and having a 50% average particle diameter of 0.010 μm to 1.0 μm on a volume basis, and auxiliary particles comprising a brittle material of the same type as or a different type from the brittle material of the raw fine particles as a main component and having a 50% average particle diameter of 3.0 μm to 100 μm on a volume basis, to form an aerosol. The aerosol is ejected onto the surface of a substrate to make the particle mixture come into collision with the substrate, so that the collision crushes or deforms the raw fine particles to form a film on the substrate.

    摘要翻译： 公开了一种使用气溶胶制造膜的方法，该方法能够以高的成膜速度形成令人满意的质量的膜。 在该方法中，首先，将载气混合成粒状混合物，该粒子混合物包含以脆性材料为主要成分的原料微粒，其平均粒径为0.010〜1.0μm，辅助粒子 包含与作为主要成分的原料微粒的脆性材料相同类型或不同类型的脆性材料，并且基于体积计平均粒径为3.0μm至100μm，形成气溶胶。 将气溶胶喷射到基板的表面上，使颗粒混合物与基板发生碰撞，使得碰撞使原始细颗粒破碎或变形，从而在基板上形成膜。

    Composite Structure
    6.
    发明申请
    Composite Structure 有权
    复合结构

    公开(公告)号：US20090233126A1

    公开(公告)日：2009-09-17

    申请号：US12083065

    申请日：2006-10-10

    申请人： Junichi Iwasawa ,  Ryoichi Nishimizu ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    发明人： Junichi Iwasawa ,  Ryoichi Nishimizu ,  Hironori Hatono ,  Hiroaki Ashizawa

    IPC分类号： B32B9/04

    CPC分类号： C23C30/00 ,  B22F2998/00 ,  C23C24/04 ,  B22F7/04

    摘要： According to the present invention, a structure made of yttrium oxide is formed on a surface of a substrate comprises yttrium oxide polycrystals as a main component, a boundary layer made of hyaline does not substantially exist on a boundary face between crystals which form the structure, and both a cubic system and a monoclinic system exist in the crystal system of the yttrium oxide polycrystals. With this, it is possible to adjust the hardness of the structure made of yttrium oxide formed on a surface of a substrate to be larger than that of an yttrium oxide sintered body.

    摘要翻译： 根据本发明，在基板的表面上形成由氧化钇多晶体作为主要成分的结构，在形成该结构的晶体之间的界面上基本上不存在由透明性构成的边界层， 并且在氧化钇多晶体的晶体体系中存在立方体系和单斜晶系。 由此，可以将形成在基板表面上的氧化钇的结构的硬度调整为大于氧化钇烧结体的硬度。

    Composite structure and method for forming the same
    7.
    发明授权
    Composite structure and method for forming the same 有权
    复合结构及其形成方法

    公开(公告)号：US07736731B2

    公开(公告)日：2010-06-15

    申请号：US11981089

    申请日：2007-10-31

    申请人： Jun Akedo ,  Tomokazu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    发明人： Jun Akedo ,  Tomokazu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    IPC分类号： B32B5/16

    CPC分类号： C03C17/06 ,  B22F9/04 ,  B22F2009/045 ,  C03C17/22 ,  C03C17/23 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/268 ,  C03C2217/282 ,  C03C2218/17 ,  C23C24/04 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/2839 ,  Y10T428/31678

    摘要： A composite structure forming method comprises the steps of first pre-treating brittle material fine particles to impart an internal strain to the brittle material fine particles, secondly causing the brittle material fine particles in which the internal strain has been created to collide with a substrate surface at high speed or applying a mechanical impact force to the brittle material fine particles containing the internal strain therein provided on the substrate surface, to deform or fracture the brittle material fine particles, re-joining the fine particles through active new surfaces generated by the deformation or fracture, forming an anchor section made of polycrystalline brittle material of which part bites into the substrate surface at a boundary section between the new surfaces and the substrate, and further forming a structure made of polycrystalline brittle material on the anchor section.

    摘要翻译： 复合结构形成方法包括以下步骤：首先，预处理脆性材料细颗粒以向脆性材料细颗粒施加内部应变; 第二，使得产生内部应变的脆性材料微粒高速碰撞基板表面，或者对设置在基板上的脆性材料微粒（其中含有内部应变）施加机械冲击力 表面，任一方法的目的是使脆性材料细颗粒变形或断裂; 第三，通过由变形或断裂产生的主动新表面重新连接细颗粒; 第四，形成由多晶脆性材料制成的锚固部分，其在新表面和基底之间的边界部分部分咬入基片表面; 第五，在锚定部分上进一步形成由多晶脆性材料制成的结构。

    Apparatus for forming composite structures
    8.
    发明授权
    Apparatus for forming composite structures 有权
    用于形成复合结构的装置

    公开(公告)号：US07553376B2

    公开(公告)日：2009-06-30

    申请号：US11419121

    申请日：2006-05-18

    申请人： Jun Akedo ,  Tomokazu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    发明人： Jun Akedo ,  Tomokazu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    IPC分类号： B05C5/02

    CPC分类号： C03C17/06 ,  B22F9/04 ,  B22F2009/045 ,  C03C17/22 ,  C03C17/23 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/268 ,  C03C2217/282 ,  C03C2218/17 ,  C23C24/04 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/2839 ,  Y10T428/31678

    摘要： A composite structure forming apparatus adapted to ejecting and causing an aerosol generated by scattering brittle material fine particles in a gas to collide with a substrate at high speed to form a structure made of the brittle material. The apparatus includes an aerosol generator for generating the aerosol, a nozzle for ejecting the aerosol, a shredder for shredding the brittle particles cohering in the aerosol and preventing cohesion of the brittle material fine particles, and a classifier for classifying the brittle material fine particles in the aerosol. The apparatus also includes a pretreatment device for creating internal strain in the brittle material fine particles, and a position control device for controlling the position of the nozzle relative to the substrate. The apparatus further includes a container having a sieve and a vibration device, and one or more of these components may be associated with the aerosol generator.

    摘要翻译： 一种复合结构形成装置，适于喷射并引起气体中的脆性材料细颗粒散射而产生的气溶胶，以高速与基板碰撞，形成由脆性材料构成的结构。 该装置包括用于产生气溶胶的气溶胶发生器，用于喷射气溶胶的喷嘴，用于粉碎粘附在气溶胶中的脆性颗粒的粉碎机和防止脆性材料微粒的内聚力的碎纸机，以及用于将脆性材料微粒分类的分级机 气溶胶。 该设备还包括用于在脆性材料微粒中产生内部应变的预处理装置，以及用于控制喷嘴相对于基底的位置的位置控制装置。 该装置还包括具有筛子和振动装置的容器，并且这些部件中的一个或多个可以与气溶胶发生器相关联。

    APPARATUS FOR FORMING COMPOSITE STRUCTURES
    9.
    发明申请
    APPARATUS FOR FORMING COMPOSITE STRUCTURES 有权
    形成复合结构的装置

    公开(公告)号：US20060201419A1

    公开(公告)日：2006-09-14

    申请号：US11419121

    申请日：2006-05-18

    申请人： Jun Akedo ,  Tomokadsu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    发明人： Jun Akedo ,  Tomokadsu Ito ,  Tatsuro Yokoyama ,  Katsuhiko Mori ,  Hironori Hatono ,  Masakatsu Kiyohara ,  Yuji Aso

    IPC分类号： B05B7/00

    CPC分类号： C03C17/06 ,  B22F9/04 ,  B22F2009/045 ,  C03C17/22 ,  C03C17/23 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/268 ,  C03C2217/282 ,  C03C2218/17 ,  C23C24/04 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/2839 ,  Y10T428/31678

    摘要： A composite structure forming apparatus adapted to ejecting and causing an aerosol generated by scattering brittle material fine particles in a gas to collide with a substrate at high speed to form a structure made of the brittle material. The apparatus includes an aerosol generator for generating the aerosol, a nozzle for ejecting the aerosol, a shredder for shredding the brittle particles cohering in the aerosol and preventing cohesion of the brittle material fine particles, and a classifier for classifying the brittle material fine particles in the aerosol. The apparatus also includes a pretreatment device for creating internal strain in the brittle material fine particles, and a position control device for controlling the position of the nozzle relative to the substrate. The apparatus further includes a container having a sieve and a vibration device, and one or more of these components may be associated with the aerosol generator.

    摘要翻译： 一种复合结构形成装置，适于喷射并引起气体中的脆性材料细颗粒散射而产生的气溶胶，以高速与基板碰撞，形成由脆性材料构成的结构。 该装置包括用于产生气溶胶的气溶胶发生器，用于喷射气溶胶的喷嘴，用于粉碎粘附在气溶胶中的脆性颗粒的粉碎机和防止脆性材料细颗粒的内聚力的粉碎机，以及用于将脆性材料微粒分类的分级机 气溶胶。 该设备还包括用于在脆性材料微粒中产生内部应变的预处理装置，以及用于控制喷嘴相对于基底的位置的位置控制装置。 该装置还包括具有筛子和振动装置的容器，并且这些部件中的一个或多个可以与气溶胶发生器相关联。