公开(公告)号：US4536468A

公开(公告)日：1985-08-20

申请号：US606609

申请日：1984-05-03

申请人： Toshihiko Yasui ,  Tetsuo Matsumoto ,  Akihiko Akaike

发明人： Toshihiko Yasui ,  Tetsuo Matsumoto ,  Akihiko Akaike

IPC分类号： H05K3/06 ,  C08F2/00 ,  C08F283/00 ,  C09D4/06 ,  C09D11/00 ,  C09D11/02 ,  C09D11/10 ,  G03C5/00 ,  G03F7/00 ,  G03F7/027 ,  G03F7/26 ,  G03G15/00 ,  H04N1/00 ,  H04N1/04 ,  H04N1/10 ,  H04N1/107 ,  H05K3/00

CPC分类号： H05K3/0076 ,  C08F283/00 ,  C09D11/101 ,  C09D4/06 ,  G03C5/00

摘要： A method of forming a resist pattern, which comprises printing a predetermined pattern on a substrate by a lithographic technique using a resist ink curable by irradiation of an active energy ray and/or heating, said ink containing (1) a metal chelate resin obtained by reacting (a) at least one resin selected from the group consisting of alkyd resins, modified alkyd resins, fatty acid-modified epoxy resins, urethanized oils and maleinized oils and (b) a metal compound capable of forming a coordination bond using the resin (a) as a ligand and (2) a polymerizable compound containing at least two ethylenically unsaturated bonds per molecule; and curing the printed pattern by irradiating an active energy ray and/or by heating.

摘要翻译： 一种形成抗蚀剂图案的方法，其包括通过使用通过照射活性能量射线可固化的抗蚀剂油墨和/或加热的平版印刷技术在基板上印刷预定图案，所述油墨含有（1）通过以下步骤获得的金属螯合树脂： 使（a）选自醇酸树脂，改性醇酸树脂，脂肪酸改性环氧树脂，氨基甲酸酯化油和马来酸化油中的至少一种树脂和（b）能够使用树脂形成配位键的金属化合物 a）作为配体和（2）每分子含有至少两个烯键式不饱和键的可聚合化合物; 并通过照射活性能量射线和/或通过加热来固化印刷图案。