公开(公告)号：US08258899B2

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US11985338

申请日：2007-11-14

申请人： Xiao-Li Feng ,  Rassul B. Karabalin ,  John Sequoyah Aldridge ,  Michael L. Roukes

发明人： Xiao-Li Feng ,  Rassul B. Karabalin ,  John Sequoyah Aldridge ,  Michael L. Roukes

IPC分类号： H01H51/22

CPC分类号： H01H1/0094 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2057/006

摘要： NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) apparatuses are described. By applying a static electric field, an arm or beam in a NEMS apparatus is made to bend so that one electrical conductor is made to contact another electrical conductor, thereby closing the NEMS apparatus. Some apparatus embodiments make use of electrostatic coupling to cause the arm or beam to bend, and some apparatus embodiments make use of piezoelectric materials to cause the arm or beam to bend. Other embodiments are described and claimed.

摘要翻译： 描述了NEMS（纳米机电系统）装置。 通过施加静电场，使NEMS装置中的臂或梁弯曲，使得一个电导体与另一个电导体接触，从而闭合NEMS装置。 一些设备实施例利用静电耦合来使臂或梁弯曲，并且一些设备实施例利用压电材料来使臂或梁弯曲。 描述和要求保护其他实施例。

公开(公告)号：US20110094861A1

公开(公告)日：2011-04-28

申请号：US11985338

申请日：2007-11-14

申请人： Xiao-Li Feng ,  Rassul B. Karablin ,  John Sequoyah Aldridge ,  Michael L. Roukes

发明人： Xiao-Li Feng ,  Rassul B. Karablin ,  John Sequoyah Aldridge ,  Michael L. Roukes

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0094 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2057/006

摘要： NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) apparatuses are described. By applying a static electric field, an arm or beam in a NEMS apparatus is made to bend so that one electrical conductor is made to contact another electrical conductor, thereby closing the NEMS apparatus. Some apparatus embodiments make use of electrostatic coupling to cause the arm or beam to bend, and some apparatus embodiments make use of piezoelectric materials to cause the arm or beam to bend. Other embodiments are described and claimed.

摘要翻译： 描述了NEMS（纳米机电系统）装置。 通过施加静电场，使NEMS装置中的臂或梁弯曲，使得一个电导体与另一个电导体接触，从而闭合NEMS装置。 一些设备实施例利用静电耦合来使臂或梁弯曲，并且一些设备实施例利用压电材料来使臂或梁弯曲。 描述和要求保护其他实施例。

公开(公告)号：US07724103B2

公开(公告)日：2010-05-25

申请号：US12030815

申请日：2008-02-13

申请人： Xiao-Li Feng ,  Christopher J. White ,  Seyed Ali Hajimiri ,  Michael L. Roukes

发明人： Xiao-Li Feng ,  Christopher J. White ,  Seyed Ali Hajimiri ,  Michael L. Roukes

IPC分类号： H03B5/42 ,  H03B5/30 ,  G01M7/00

CPC分类号： H03B5/30 ,  H03L1/02 ,  H03L7/06

摘要： A self-sustaining ultra-high frequency oscillator and method enable the ability to oscillate and output a signal. A balanced bridge circuit is utilized to null an embedding background response. A first vibrating nanoelectromechanical (NEMS) beam resonator is part of one of the branches of the balanced bridge circuit and determines the frequency of the oscillator's output signal. A feedback loop establishes and sets oscillation conditions of the oscillator's signal. Further, the feedback loop connects an output of the first resonator to an input of the balanced bridge circuit.

摘要翻译： 自持式超高频振荡器和方法能够振荡和输出信号。 使用平衡桥电路来消除嵌入背景响应。 第一个振动纳米机电（NEMS）光束谐振器是平衡桥接电路的一个分支的一部分，并确定振荡器输出信号的频率。 反馈回路建立并设置振荡器信号的振荡条件。 此外，反馈环路将第一谐振器的输出连接到平衡桥式电路的输入端。