公开(公告)号：US07277171B1

公开(公告)日：2007-10-02

申请号：US11105852

申请日：2005-04-14

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/212 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/021 ,  G01N2201/0693

摘要： A substantially self-contained “on-board” material system investigation system functionally mounted on a three dimensional locational system to enable positioning at desired locations on, and distances from, the surface of a large sample, including the capability to easily and conveniently change the angle-of-incidence of a beam of electromagnetic radiation onto a sample surface.

摘要翻译： 一种基本上独立的“车载”材料系统调查系统，其功能地安装在三维位置系统上，以便能够定位在大样品表面上的距离和期望位置，包括容易地和方便地改变 电磁辐射束到样品表面的入射角。