公开(公告)号：US06847066B2

公开(公告)日：2005-01-25

申请号：US09924293

申请日：2001-08-08

申请人： Iwao Tahara ,  Ichiro Mihara ,  Yutaka Aoki

发明人： Iwao Tahara ,  Ichiro Mihara ,  Yutaka Aoki

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L21/02 ,  H01L23/31 ,  H01L23/522 ,  H01L27/08 ,  H01L27/148 ,  H01L29/168

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5223 ,  H01L27/08 ,  H01L27/0805 ,  H01L28/20 ,  H01L28/40 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1423 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/00

摘要： A thin film passive element includes at least one of a capacitance element having a plurality of conductive layers and a dielectric material layer and an inductance element formed of a patterned conductive layer is stacked on a circuit element-forming region of a semiconductor substrate provided with a plurality of connection pads and is connected to the circuit element of the circuit element-forming region.

摘要翻译： 薄膜无源元件包括具有多个导电层和电介质材料层的电容元件和由图案化导电层形成的电感元件中的至少一个层叠在设置有半导体层的半导体衬底的电路元件形成区域上 多个连接焊盘并连接到电路元件形成区域的电路元件。