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    定位置制御装置、及び方法
    41.
    发明申请
    定位置制御装置、及び方法 审中-公开
    固定位置控制器和方法

    公开(公告)号：WO2016059703A1

    公开(公告)日：2016-04-21

    申请号：PCT/JP2014/077550

    申请日：2014-10-16

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 藤岡　満 ,  曽根原　剛志 ,  板橋　直志

    IPC: G01N21/65 ,  G01N21/64

    CPC classification number: G01N21/658 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/65 ,  G01N33/48721 ,  G01Q60/22 ,  G11B7/08 ,  G11B7/08576 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/22 ,  G11B23/0318

    Abstract: 　マルチナノポア基板への励起光照射を、測定を中断することなく、簡単な構成で高精度に制御する。観察容器１０３中に設置された基板上の少なくとも一つのナノポアと少なくとも一つ基準対象に対し、励起光の照射を同時に行い、検出器１０９で検出される基準対象から発生する信号に基づき、測定試料に励起光が照射される位置を演算し、演算結果に基づき測定試料に対する励起光照射の位置を駆動制御部１１５で制御しながら、測定対象の測定を行うことにより、測定と定位置制御を同時に行うことで、測定試料の解析を短時間で行うことが可能となる。

    Abstract translation: 本发明的目的是以简单的结构和高精度将激发光照射到多纳米孔基底上，而不会中断测量。 激发光的照射与安装在观察容器103中的基板上的至少一个纳米孔和至少一个基准对象同时进行。在测量样本中用激发光照射的位置是根据从 由检测器109检测的参考对象，并且通过在测量对象的基础上控制激发光的照射位置的驱动控制部分115进行测量，同时执行测量和固定位置控制 计算结果，从而可以在短时间内进行测量样本的分析。

    近接場偏光顕微鏡
    42.
    发明申请
    近接場偏光顕微鏡 审中-公开
    近场偏振显微镜

    公开(公告)号：WO2016024629A1

    公开(公告)日：2016-02-18

    申请号：PCT/JP2015/072930

    申请日：2015-08-13

    Applicant: 株式会社ユニソク ,  国立大学法人群馬大学

    Inventor： 保坂　純男 ,  曾根　逸人 ,  尹　友 ,  三浦　健

    IPC: G01Q60/18

    CPC classification number: G01Q60/22 ,  G01Q60/02

    Abstract: 【課題】試料に外部から磁界を印加しつつ、試料の磁区を正確に検出することができる近接場偏光顕微鏡の提供。 【解決手段】近接場偏光顕微鏡１は、探針２を有するカンチレバー３と、磁区検出レーザ光１１の探針２への照射による近接場光により試料８の磁区を検出する磁区検出光学系４と、磁区検出レーザ光１１の照射状態を観察する観察照明光学系５と、磁区検出光学系４と観察照明光学系５との共通の対物レンズ６と、試料８に外部から磁界を印加する磁界印加手段７とを備える。磁界印加手段７が有する上部磁極４３と下部磁極４４との間に、非磁性かつ非導電性材料から形成されるカンチレバー３と、磁性材料から形成される試料８とが配置される。

    Abstract translation: [问题]提供一种近场偏振显微镜，利用该近场偏振显微镜，可以从外部向样品施加磁场，从而准确地检测样品中的磁畴。 [解决方案]该近场偏振显微镜1具有：具有探针2的悬臂3; 磁场检测光学系统4，用于使用通过用磁畴检测激光束11照射探针2产生的近场光来检测样品8中的磁畴; 用于观察由磁畴检测激光束11照射的状态的观察照明光学系统5; 由磁畴检测光学系统4和观察照明光学系统5共享的物镜6; 以及用于从外部向样品8施加磁场的磁场施加装置7。 由非磁性和非导电材料形成的悬臂3和由磁性材料形成的样品8设置在提供给磁性的上磁极43和下磁极44之间 现场应用装置7。

    走査プローブ顕微鏡及び、これを用いた試料測定方法
    43.
    发明申请
    走査プローブ顕微鏡及び、これを用いた試料測定方法 审中-公开
    扫描探针显微镜和使用相同的样品测量方法

    公开(公告)号：WO2015133014A1

    公开(公告)日：2015-09-11

    申请号：PCT/JP2014/080841

    申请日：2014-11-21

    Applicant: 株式会社日立製作所

    Inventor： 馬塲　修一 ,  中田　俊彦

    IPC: G01Q60/18 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/22

    CPC classification number: G01Q60/22 ,  G01Q10/065 ,  G01Q30/06 ,  G01Q40/00 ,  G01Q40/02 ,  G01Q70/12

    Abstract: 　本発明は、長時間測定時においても熱ドリフトの影響を除去し、高い測定再現性を実現した走査プローブ顕微鏡及びこれを用いた試料測定方法を提供することを目的とする。　本発明は、「カンチレバーに支持された探針で試料表面を走査し、カンチレバーに励起光を照射することにより、前記カンチレバーに支持された探針の先端に近接場光を発生させ、散乱光検出系にて前記試料表面からの前記近接場光の散乱光を検出し、前記励起光の前記カンチレバーに対する照射位置、照射角度、または、前記探針の先端と前記散乱光検出系との相対位置関係を補正することを特徴とする走査プローブ顕微鏡を用いた試料測定方法」を提供する。

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种扫描探针显微镜，其消除热漂移的影响，并且即使在长时间的测量期间也能实现高测量再现性，以及使用该扫描探针显微镜的样品测量方法。 本发明提供了一种使用扫描探针显微镜的样品测量方法，其特征在于，使用由悬臂支撑的探针扫描样品表面，使由悬臂支撑的探针的前端由所述悬臂产生近场光， 将激发光照射到悬臂上，使用散射光检测系统来检测来自样品表面的散射近场光，以及将激发光照射到悬臂上的位置或角度或前端的位置关系 的探测器和散射光检测系统被校正。

    METHOD OF FABRICATING STRUCTURES, STARTING FROM MATERIAL RODS
    44.
    发明申请
    METHOD OF FABRICATING STRUCTURES, STARTING FROM MATERIAL RODS 审中-公开
    从材料层开始构造结构的方法

    公开(公告)号：WO2015055526A1

    公开(公告)日：2015-04-23

    申请号：PCT/EP2014/071743

    申请日：2014-10-10

    Applicant: CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE ,  CENTROFERMI MUSEO STORICO DELLA FISICA E CENTRO STUDI E RICERCHE

    Inventor： BARUCCI, Andrea ,  COSI, Franco ,  PELLI, Stefano ,  RIGHINI, Giancarlo ,  SORIA, Silvia ,  NUNZI CONTI, Gualtiero ,  GIANNETTI, Ambra

    IPC: G01Q60/22 ,  C03C25/68 ,  G02B6/24

    CPC classification number: C23F1/16 ,  C03C25/68 ,  G01Q60/22 ,  G02B6/262

    Abstract: A method, and corresponding apparatus, of fabricating a structure by chemical wet etching starting from a material rod of millimetric or sub-millemetric size, the method comprising: dipping an end portion (170) of the material rod (128,129) into a vessel (105) containing an etchant liquid (110) and a protective overlayer (175) floating on top of the etchant liquid, imparting a relative rotational movement of the etchant liquid with respect to the end portion (170) of the material rod immersed therein, wherein said imparting a relative rotational movement comprises imparting to the etchant liquid a rotational movement component with respect to a static reference system.

    Abstract translation: 一种方法和相应的装置，其通过以毫米或亚米尺度的材料棒开始的化学湿蚀刻制造结构，所述方法包括：将所述材料棒（128,129）的端部（170）浸入容器（ 105），其包含漂浮在蚀刻剂液体顶部上的蚀刻剂液体（110）和保护性覆层（175），赋予蚀刻剂液体相对于浸入其中的材料棒的端部（170）的相对旋转运动，其中 所述赋予相对旋转运动包括赋予蚀刻剂液体相对于静态参考系统的旋转运动分量。

    走査プローブ顕微鏡およびそれを用いた計測方法
    46.
    发明申请
    走査プローブ顕微鏡およびそれを用いた計測方法 审中-公开
    扫描探针显微镜和使用它的测量方法

    公开(公告)号：WO2014033844A1

    公开(公告)日：2014-03-06

    申请号：PCT/JP2012/071734

    申请日：2012-08-28

    Applicant: 株式会社日立製作所 ,  南部 英 ,  山本 剛 ,  小泉 英明 ,  橋詰 富博 ,  平家 誠嗣

    Inventor： 南部　英 ,  山本　剛 ,  小泉　英明 ,  橋詰　富博 ,  平家　誠嗣

    IPC: G01Q60/18 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/14 ,  G01Q80/00

    CPC classification number: G01Q10/04 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/22

    Abstract: 　培養液中の試料－培養液界面における水分子の配列構造や、大気中，雰囲気中，真空中等でも試料表面の凹凸、分子やたんぱく質などの組成分布や配列構造などの物理情報を高空間分解能で計測する。探針（１）と、試料（３）を載置する試料ホルダ（１１）と、前記探針の位置を周期的に変位させる振動子（２）と、前記試料において前記探針により計測される領域に光を入射するパルス発振型レーザーの光源（２７，２８）と、前記試料から出力する出力光の強度をエネルギー分光して計測する検出器（２５）と、制御装置（２６）とを備える走査プローブ顕微鏡において、前記制御装置は、前記振動子による前記探針位置の周期的変位の振幅を減少させるとともに、前記探針と前記試料との相対距離を短縮し、前記探針と試料との距離の短縮とパルス発振レーザー光の照射とを同期させ、探針増強検出効率を最適化する。

    Abstract translation: 提供了一种扫描探针显微镜，其具有高空间分辨率的物理信息，例如培养液中样品 - 培养液界面处的水分子的排列结构，样品表面的不规则，组成分布，排列结构， 分子，蛋白质等的类似物，甚至在大气中，环境空气，真空等。 扫描探针显微镜包括：探针（1）; 其中安装有试样（3）的试样保持器（11） 振荡器（2），周期性地移位探针的位置; 用于脉冲振荡型激光器的光源（27,28），其引起光入射在由所述探针在所述样本中测量的区域上; 检测器（25），其通过能量谱测量从样品输出的输出光的强度; 和控制装置（26）。 在该扫描探针显微镜中，控制装置通过振荡器降低探针位置的周期性位移的幅度，缩短探针与样本之间的相对距离，并同步缩短探头与样本之间的距离， 将脉冲振荡型激光投射到彼此之间，从而优化探头增强的检测效率。

    OPTISCHES RASTERNAHFELDMIKROSKOP
    47.
    发明申请
    OPTISCHES RASTERNAHFELDMIKROSKOP 审中-公开
    近场扫描光学显微镜

    公开(公告)号：WO2013108060A1

    公开(公告)日：2013-07-25

    申请号：PCT/IB2012/000084

    申请日：2012-01-20

    Applicant: POTEMKIN, Alexander

    Inventor： POTEMKIN, Alexander

    IPC: G01Q60/18 ,  G01Q60/22 ,  B82Y35/00 ,  B82Y20/00

    CPC classification number: G01Q60/22

    Abstract: Rasternahfeldsondenmikroskop, bestehend aus Sonde, Photoempfänger und kohärenter Strahlenquelle, an deren Ausgang ein Mittel angebracht ist zur Teilung des Lichtstroms in Bündel, von denen eines direkt auf den Photoempfänger ausgerichtet ist und das andere ins Sondeninnere, der vom untersuchten Objekt zurückgeworfene aus der Sonde austretende Lichtstrom ist auf den Photoempfänger ausgerichtet, und der Objektträger mit dem zu untersuchenden Objekt ist mit einer Quelle mechanischer Schwingungen verbunden, die für die Änderung der relativen Entfernung zwischen Sonde und Objektoberfläche sorgt.

    Abstract translation: 由探针，光感受器和相干辐射源，其输出装置连接至成束的光通量，其中之一被直接引导至感光体，以及其他新兴到探头内部的划分Rasternahfeldsondenmikroskop中，由所研究的对象进行探测光束的反射 被对准到感光体，并且待检查与该对象的滑动连接到机械振动源，其提供用于在所述探针和所述物体表面之间的相对距离的变化。

    NAHFELDSENSOR ZUR LOKALEN MESSUNG VON DIELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN
    49.
    发明申请
    NAHFELDSENSOR ZUR LOKALEN MESSUNG VON DIELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN 审中-公开
    近场介电性能的局部测量

    公开(公告)号：WO2011138385A1

    公开(公告)日：2011-11-10

    申请号：PCT/EP2011/057183

    申请日：2011-05-05

    Applicant: TUTECH INNOVATION GMBH ,  TECHNISCHE UNIVERSITÄT HAMBURG-HARBURG ,  AMBROZKIEWICZ, Mikolaj ,  JACOB, Arne F.

    Inventor： AMBROZKIEWICZ, Mikolaj ,  JACOB, Arne F.

    IPC: G01Q60/22 ,  G01N22/00

    CPC classification number: G01Q60/22 ,  H01P1/00 ,  H01P7/065

    Abstract: Der Nahfeldsensor zur lokalen Messung von dielektrischen Eigenschaften von Untersuchungsobjekten mit Hilfe von Mikrowellen, mit einem Mikrowellenresonator (1, 2) und mit einer aus demselben herausragenden Messspitze (6) zum Abtasten des Untersuchungsobjekts (7), zeichnet sich dadurch aus, dass der Resonator aus zwei im wesentlichen gleichen durch einen Schlitz (8) gekoppelten Hälften (1, 2) besteht, die übereinander mit einer gemeinsamen elektrisch leitenden Zwischenwand (3) angeordnet sind, dass die Messspitze (6) in der Ebene der elektrisch leitenden Zwischenwand (3) angeordnet und mit derselben im Bereich des Schlitzes (8) verbunden ist, und dass der Nahfeldsensor in planarer Technologie substratintegriert mit einer geeigneten Mehrlagenanordnung hergestellt ist.

    Abstract translation: 要与微波的助剂（1,2），并与来自相同的测量点（6）的突出为检查对象（7）的扫描，其特征在于检查对象的介电特性的局部测量的近场中，具有一个微波谐振器其的谐振器 两个贯通的槽联接在基本上相同的（8）半部（1,2），其被布置成一个在另一个之上与共同的导电的中间壁（3），所述测量末端（6）布置在所述导电性分区的平面（3） 并且被连接到在所述槽（8）的区域相同，且在平面技术的近场传感器集成衬底由合适的多层结构制备。

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