公开(公告)号：WO2011154877A1

公开(公告)日：2011-12-15

申请号：PCT/IB2011/052423

申请日：2011-06-01

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE DE LA MEDITERRANEE (AIX-MARSEILLE II) ,  TONNEAU, Didier ,  PURANS, Juris ,  FAUQUET, Carole ,  JANDARD, Franck ,  ERKO, Alexei ,  BJEOUMIKHOV, Aniouar

Inventor： TONNEAU, Didier ,  PURANS, Juris ,  FAUQUET, Carole ,  JANDARD, Franck ,  ERKO, Alexei ,  BJEOUMIKHOV, Aniouar

IPC: G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/20 ,  G01Q60/22 ,  G01N23/223 ,  G21K7/00 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01Q60/06 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/20 ,  G01Q60/22

Abstract: Dispositif de caractérisation de surfaces caractérisé en ce qu'il comprend : -un capillaire (C 1 ) dit d'imagerie pour guider un rayonnement électromagnétique proche ou moyen infrarouge, visible, ultraviolet ou X depuis ou vers une surface (SE) à caractériser, ledit capillaire ayant une extrémité dite avant (EA C1 ), orientée vers ladite surface et présentant une ouverture de diamètre micrométrique ou sub-micrométrique; et -un oscillateur micromécanique (DP) pour induire un mouvement oscillatoire dudit capillaire par rapport à ladite surface. Utilisation d'un tel dispositif pour acquérir simultanément une information topographique et une information spectroscopique résolue spatialement sur une surface à caractériser.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于表征表面的装置，其特征在于，所述装置包括：用于引导来自或朝向表面的近红外或中等红外，可见，紫外线或X射线电磁辐射的所谓成像毛细管（C1） SE），所述毛细管具有指向所述表面并具有具有微米或亚微米直径的开口的所谓前端（EAC1）; 以及用于诱导所述毛细管相对于所述表面的振荡运动的微机械振荡器（DP）。 本发明还涉及这样一种装置用于同时获取要表征的表面上的地形信息和空间分辨的光谱信息的用途。

公开(公告)号：WO2018102439A1

公开(公告)日：2018-06-07

申请号：PCT/US2017/063754

申请日：2017-11-29

Applicant: STC. UNM

Inventor： BUSANA, Tito ,  BRUECK, Steven R.J. ,  FEEZELL, Daniel ,  BEHZADIRAD, Mahmoud

IPC: G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/38 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01Q70/12 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/38 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/02645

Abstract: Nanowires that may be utilized in microscopy, for example atomic force microscopy (AFM), as part of an AFM probe, as well as for other uses, are disclosed. The nanowires may be formed from a Group III nitride such as an epitaxial layer that may be or include gallium nitride, indium nitride, aluminum nitride, and an alloy of these materials. During use of the AFM probe to measure a topography of a test sample surface, the nanowire can activated and caused to lase and emit a light, thereby illuminating the surface with the light. In an implementation, the light can be collected by the AFM probe itself, for example through an optical fiber to which the nanowire is attached.

公开(公告)号：WO2004015455A3

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：PCT/US0324086

申请日：2003-07-30

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  QUAKE STEPHEN R ,  LESSARD GUILLAUME ,  WADE LAWRENCE A ,  GERTON JORDAN M

Inventor： QUAKE STEPHEN R ,  LESSARD GUILLAUME ,  WADE LAWRENCE A ,  GERTON JORDAN M

IPC: G01B11/30 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/20 ,  G01Q70/12 ,  G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  H01J3/14 ,  G01J3/04 ,  G01J3/44 ,  G01N21/00 ,  H01J5/16 ,  H01J40/14 ,  H01J65/06 ,  H01J65/08

CPC classification number: G01Q60/20 ,  G01Q30/025 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q70/12 ,  G02B21/16 ,  Y10S977/862

Abstract: Methods and systems for operating an apertureless microscope for observing one or more features to a molecular sensitivity on objects are described. More particularly, the method includes moving a tip of a probe coupled to a cantilever in a vicinity of a feature of a sample, which emits one or more photons at a detected rate relative to a background rate of the sample based upon the presence of the tip of the probe in the vicinity of the feature. The method modifies the detected rate of the feature of the sample, whereupon the modifying of the detected rate causes the feature of the sample to enhance relative to background rate of the feature.

Abstract translation: 描述了用于操作无孔显微镜以观察一个或多个特征以使物体上的分子灵敏度的方法和系统。 更具体地，该方法包括将耦合到悬臂的探针的尖端移动到样本特征附近，基于样本的存在以相对于样本的背景速率以检测到的速率发射一个或多个光子 探头尖端附近的特征。 该方法修改检测到的样本特征的速率，于是修改检测到的速率导致样本的特征相对于特征的背景速率增强。

公开(公告)号：WO2021233817A2

公开(公告)日：2021-11-25

申请号：PCT/EP2021/062967

申请日：2021-05-17

Applicant: NEXT-TIP, S.L.

Inventor： SANZ SANZ, Belén ,  ESPINOSA RODRÍGUEZ, Manuel

IPC: G01Q70/18 ,  G01Q70/14 ,  G01Q60/06 ,  G01Q70/12

Abstract: The present invention refers to a method for modifying a scanning probe microscope (SPM) tip, a modified SPM tip obtainable by the method, a modified SPM tip, to the use of the modified SPM tip, to a scanning probe comprising the modified SPM tip and to the use of the scanning probe.

公开(公告)号：WO2014082158A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：PCT/CA2013/000990

申请日：2013-11-27

Applicant: XU, Xiaoji ,  WALKER, Gilbert C.

Inventor： XU, Xiaoji ,  WALKER, Gilbert C.

IPC: G01Q60/06

CPC classification number: G01N21/359 ,  B82Y20/00 ,  G01B9/0203 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/10 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22

Abstract: The present disclosure provides a procedure and an apparatus to obtain the absorption profiles of molecular resonance with ANSOM. The method includes setting a reference field phase to ϕ = 0.5π relative to the near-field field, and reference amplitude A ≥ 5|α eff |. The requirement on phase precision is found to be

Abstract translation: 本公开提供了获得与ANSOM的分子共振的吸收曲线的方法和装置。 该方法包括将参考场相位设置为＆phis; = 0.5＆pgr; 相对于近场场，参考振幅A≥5|αeff|。 相位精度的要求为<0.3＆pgr。 该装置包括除了ANSOM之外的相位稳定机制，以保持小于0.1rad的高相位精度零差相位条件。 该方法使ANSOM能够以纳米级空间分辨率执行振动光谱。

公开(公告)号：WO00055597A1

公开(公告)日：2000-09-21

申请号：PCT/JP2000/001361

申请日：2000-03-06

IPC: G01B11/30 ,  G01B5/28 ,  G01B11/00 ,  G01B21/30 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/02 ,  G01N13/14 ,  G12B21/06

CPC classification number: G01Q60/38 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22

Abstract: A low-loss optical micro cantilever (10) comprises a support (1), an optical waveguide (2), an opaque film (3), a reflective film (4), a chip (5) with a pointed end, a minute opening (6) in the pointed of the chip (5), and a reflective mirror (7) for directing the light (H) from an optical input/output end (8) of the optical waveguide (2) toward the minute opening (6).

Abstract translation: 低损耗光学微悬臂（10）包括支撑件（1），光波导（2），不透明膜（3），反射膜（4），具有尖端的芯片（5），分钟 在芯片（5）的尖端的开口（6）和用于将光（H）从光波导（2）的光输入/输出端（8）引向微小开口的反射镜（7） 6）。

公开(公告)号：WO2020053358A1

公开(公告)日：2020-03-19

申请号：PCT/EP2019/074419

申请日：2019-09-12

Applicant: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTÍFICAS (CSIC)

Inventor： MARTÍNEZ ORELLANA, Lidia ,  HUTTEL, Yves

IPC: G01Q60/06 ,  G01Q70/18 ,  G01Q60/08

Abstract: The invention relates to a system suitable for its use in scanning probe microscopy, such as tip-enhanced Raman spectroscopy or magnetic force microscopy, that comprises: a tip (1) comprising an apex (1'); a plurality of nanoparticles (2, 2') attached to the tip (1); having a size between 0.5 and 100 nm. Advantageously, the plurality of nanoparticles (2, 2') comprises a cluster (2") of one or more nanoparticles (2') disposed at the apex (T) of the tip (1), wherein the cluster (2") is spaced from any other nanoparticle (2) of the tip (1) at least a distance d of 0.5 nm. The invention also relates to a method for obtaining such system through a controlled thermal treatment that exploits the intrinsic properties of nanoparticles.

公开(公告)号：WO2004015455A9

公开(公告)日：2004-05-27

申请号：PCT/US0324086

申请日：2003-07-30

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  QUAKE STEPHEN R ,  LESSARD GUILLAUME ,  WADE LAWRENCE A ,  GERTON JORDAN M

Inventor： QUAKE STEPHEN R ,  LESSARD GUILLAUME ,  WADE LAWRENCE A ,  GERTON JORDAN M

IPC: G01B11/30 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/20 ,  G01Q70/12 ,  G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G02B

CPC classification number: G01Q60/20 ,  G01Q30/025 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q70/12 ,  G02B21/16 ,  Y10S977/862

Abstract: Methods and systems for operating an apertureless microscope for observing one or more features to a molecular sensitivity on objects are described. More particularly, the method includes moving a tip of a probe coupled to a cantilever in a vicinity of a feature of a sample, which emits one or more photons at a detected rate relative to a background rate of the sample based upon the presence of the tip of the probe in the vicinity of the feature. The method modifies the detected rate of the feature of the sample, whereupon the modifying of the detected rate causes the feature of the sample to enhance relative to background rate of the feature.

Abstract translation: 描述了用于操作无孔显微镜以观察一个或多个特征以对物体的分子灵敏度的方法和系统。 更具体地说，该方法包括将耦合到悬臂的探针的尖端移动到样本的特征附近，该样本的特征相对于样本的背景速率以检测到的速率发射一个或多个光子，这基于 探针的顶端在特征附近。 该方法修改样本的特征的检测速率，由此检测到的速率的修改导致样本的特征相对于特征的背景速率增强。

公开(公告)号：WO00015544A1

公开(公告)日：2000-03-23

申请号：PCT/EP1999/006685

申请日：1999-09-10

IPC: B81B1/00 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/18 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/08 ,  G02B27/58 ,  H01J9/02 ,  H01J37/09 ,  H01L21/306 ,  G01B7/34

CPC classification number: B81C1/00087 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0361 ,  B81C2201/0132 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/38 ,  G02B27/58 ,  H01J9/02 ,  H01J37/09

Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Apertur (10) in einem Halbleitermaterial (12) mit folgenden Schritten beschrieben: Bereitstellen eines Halbleiterwafers (14), beispielsweise eines (100)-orientierten Siliziumwafers mit einer Oberfläche (16) und einer Unterfläche (18), Erzeugen einer Vertiefung (20) mit einer Seitenwand (22) in der Oberfläche (16) des Halbleiterwafers (14) durch partielles Anätzen der Oberfläche (16), wobei die Vertiefung (20) einen der Unterfläche (18) zugewandten, geschlossenen Bodenbereich (24) bevorzugt mit insbesondere einer konvexen oder insbesondere einer konkaven Ecke oder Kante oder dergleichen Krümmung aufweist. Nach Aufbringen einer Oxidschicht (26) auf dem Halbleitermaterial (12) wenigstens im Bereich der Vertiefung (20) durch Oxidation des Halbleitermaterials (12), wobei die Oxidschicht (26) im Bodenbereich (24) bevorzugt eine Inhomogenität (28) aufweist, wird das Halbleitermaterial (14) an der Unterfläche (18) des Halbleiterwafers (14) selektiv bis zum Freilegen wenigstens der im Bodenbereich (24) befindlichen Oxidschicht (26) rückgeätzt. Anschliessend wird die freigelegte Oxidschicht (26) bis wenigstens zu deren Durchtrennung angeätzt. Weiterhin sind auch eine insbesondere nach diesem Verfahren hergestellte Apertur (10) in einem Halbleitermaterial (12) sowie verschiedene Verwendungen einer solchen Apertur (10) beschrieben.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在半导体材料内孔（10）（12）的制造包括以下步骤：准备一个半导体晶片（14），例如，具有上表面（100）取向的硅晶片（16 ）和下表面（18）; 通过部分地蚀刻所述上表面（16），由此所述腔（20）包括一封闭的底部区域（24制造具有在所述半导体晶片（14）的上表面（16）的侧壁（22）的空腔（20） ）面向下表面（18）和其优选地具有，尤其是凸形或，特别地，凹角或边缘或这种类型的曲率。 氧化物层（26）上的半导体材料（12）至少在所述空腔（20）的区域中由半导体材料（12），氧化沉积后由此氧化物层（26）优选的不均匀性包括：（28） 的底部区域（24），半导体材料（14）被选择性地蚀刻背面的半导体晶片（14）的下表面（18）上，直到至少位于所述底部区域中的氧化层（26）（24）被暴露 ， 然后，暴露的氧化层（26）进行蚀刻，直到它被至少切断。 此外，本发明涉及在半导体材料内孔（10）（12）的爱尤其产生雅丁到本发明的方法，和向寻求孔（10）的不同的用途。

公开(公告)号：WO99031514A1

公开(公告)日：1999-06-24

申请号：PCT/JP1998/005664

申请日：1998-12-15

IPC: G01B11/30 ,  G01Q10/00 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/18 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G02B6/12 ,  G02B6/24 ,  G01N37/00

CPC classification number: G02B6/132 ,  G01B11/30 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/38 ,  G02B6/241 ,  G02B6/262 ,  Y10S977/862

Abstract: An optical waveguide probe which is formed into a hook shape by a manufacturing method using a silicon process and which emits a light from its tip for detection, comprising an optical waveguide (1) which is formed into a hook shape, the probe needle part (5) of which is sharpened and which is made of dielectric, and a board (2) supporting the optical waveguide (1) laminated on the board (2). The optical waveguide (1) is composed of a core (8) through which a light is transmitted and a cladding (9) whose refractive index is smaller than that of the core (8).

Abstract translation: 一种光波导探针，其通过使用硅工艺的制造方法形成为钩状，并且从其顶端发射光以进行检测，包括形成为钩形的光波导（1），探针针部 5），其由电介质构成，并且支撑层叠在基板（2）上的光波导（1）的基板（2）。 光波导（1）由透射光的芯（8）和折射率小于芯（8）的折射率的包层（9）组成。