公开(公告)号：WO2020030223A1

公开(公告)日：2020-02-13

申请号：PCT/DE2019/100706

申请日：2019-08-02

Applicant: JANUNTS, Norik

Inventor： JANUNTS, Norik

IPC: G01Q60/22 ,  G01J3/02 ,  G01Q70/06 ,  G02B6/122 ,  G02B5/00

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Detektion der Intensitätsverteilung von Komponenten des elektromagnetischen Feldes in Strahlungsbündeln. Die Aufgabe der Erfindung wird erfindungsgemäß gelöst, indem ein hochauflösendes zweidimensionales Intensitätssensorarray (1) und ein Feldvektor-Detektorarray (2), bestehend aus verschiedenen Bereichen (22, 23, 24) mit individuellen Detektorstrukturen (211, 212 213) für zwei transversale und longitudinale Feldvektorkomponente E x , E y , E z , kombiniert sind, wobei die Detektorstrukturen (211, 212, 213) metallische mantelförmige Spitzen (3, 4) mit unterschiedlichen Apizes (33, 44) als Nanostrukturen ausgebildet sind, um lokalisierte Plasmonresonanz (LPR) der individuellen Detektorstrukturen (211, 212, 213) und durch LPR angeregte lokalisierte Oberflächenplasmonen (LSP) für eine Polarisationsselektion der Feldverteilung nach Feldvektorkomponenten E x , E y , E z zu nutzen und mittels Oberflächenplasmonpolaritonen (SPP) und Wellenleitung (WGM) zu zugeordneten Sensorelementen (11) zu übertragen.

公开(公告)号：WO2014115391A1

公开(公告)日：2014-07-31

申请号：PCT/JP2013/079063

申请日：2013-10-28

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 中田　俊彦 ,  馬塲　修一

IPC: G01Q60/18 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/22

CPC classification number: G01Q60/22 ,  B82Y20/00 ,  B82Y35/00 ,  G01Q30/14

Abstract: 　本発明の目的は、近接場走査顕微鏡を液中計測に適用するに際し、液中にて測定探針と検査対象試料との間に発生した近接場光の検出光量を増加させ、近接場光画像のＳＮ比及び測定再現性を向上させることにある。　本発明は、検査対象試料上を相対的に走査する測定探針と、前記測定探針にレーザ光を照射するレーザ光照射系と、レーザ光の照射により前記測定探針と前記検査対象試料との間で発生した近接場光の散乱光を透過し、前記検査対象試料を保持する試料セルと、前記試料セルを透過した散乱光を検出する検出器とを備えた走査プローブ顕微鏡を提供する。

Abstract translation: 本发明的目的是增加在使用近场扫描显微镜时在测量探针和待检样品之间的液体中产生的近场光的检测光量 用于液体中的测量，并提高近场光图像的测量重现性和SN比。 本发明提供了一种扫描探针显微镜，其包括：在被检样品上相对扫描的测量探针; 激光束照射系统，其用激光束照射测量探针; 保持要检查的样本并且通过激光束照射在测量探针和要被检测的样本之间产生的近场光的散射光的样品池; 以及检测器，其检测已经通过样品池的散射光。

公开(公告)号：WO2014006999A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：PCT/JP2013/064569

申请日：2013-05-27

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 立▲崎▼　武弘 ,  中田　俊彦 ,  渡辺　正浩

IPC: G01Q60/22 ,  G01Q70/08

CPC classification number: G01Q60/18 ,  G01Q60/22 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14

Abstract: 　本発明は、プラズモンの励起効率を向上させて、その結果として近接場光の励起効率を向上させた走査プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。　本発明は、プローブを測定対象に対して走査するカンチレバーと、前記カンチレバーに励起光を入射する光源と、前記カンチレバー励起光により励起されたプラズモンによって前記プローブの先端から発生し、前記測定対象の表面から散乱した近接場光を検出する近接場光検出センサとを備え、前記カンチレバーの前記励起光が照射される部分に前記励起光を前記プラズモンの励起点に導く微小構造を設けることを特徴とする走査プローブ顕微鏡を提供する。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种扫描探针显微镜，其中等离子激元激发的效率已得到改善，其结果是对近场光具有改善的激发效率。 本发明提供了一种扫描探针显微镜，其特征在于配备有：包括扫描被检体的探针的悬臂; 使激发光进入悬臂的光源; 以及近场光检测传感器，其通过用悬臂激发光激发的等离子体激元，检测在探针的尖端处产生的并且被被检查物体的表面散射的近场光。 显微镜的特征还在于，将激发光引导到等离子体激发点的微结构已经设置在要被照射激发光的悬臂的部分中。

公开(公告)号：WO2011033925A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：PCT/JP2010/064687

申请日：2010-08-30

Applicant: コニカミノルタオプト株式会社 ,  大澤 耕

Inventor： 大澤　耕

IPC: G01Q60/22

CPC classification number: G01Q60/22 ,  G02B6/107 ,  G02B6/1226

Abstract: 　本発明は、良好に近接場を形成および検出できる近接場プローブおよび近接場導入・検出装置を提供することを特徴とする。　近接場プローブ３０は、主として、基板３１と、下部クラッド３２と、上部クラッド３３と、外部コア３５と、細線コア４０と、プラズモンヘッド５０（５０ａ、５０ｂ）と、を有している。また、これら要素のうち、下部および上部クラッド３２、３３、並びに細線コア４０によって、光導波路３０ａが構成される。プラズモンヘッド５０は、光導波路３０ａの先端側での平面視において、上部クラッド３３と、細線コア４０と、の境界を跨ぐように配置されている。

Abstract translation: 公开了一种近场探针，其可以优异地形成和检测近场，以及近场引入/检测装置。 近场探针（30）主要具有基板（31），下包层（32），上包层（33），外芯（35），细芯芯（40）和等离子体激元 50（50a，50b））。 此外，在上述元件中，通过下层和上层（32,33）和细线芯（40）构成光波导（30a）。 等离子体激元头（50）从光波导（30a）的前端侧的平面视图中设置在上包层（33）和细线芯（40）之间的边界上。

公开(公告)号：WO2009158598A3

公开(公告)日：2010-03-25

申请号：PCT/US2009048824

申请日：2009-06-26

Applicant: UNIV WRIGHT STATE ,  KLEISMIT RICHARD A ,  HULL BARBARA E ,  KOZLOWSKI GREGORY ,  FOY BRENT

Inventor： KLEISMIT RICHARD A ,  HULL BARBARA E ,  KOZLOWSKI GREGORY ,  FOY BRENT

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/22

CPC classification number: G01Q60/22 ,  B82Y20/00 ,  B82Y35/00

Abstract: The present disclosure generally relates to an evanescent microwave microscopy probe and methods for making and using the same. Some embodiments relate to a probe which is constructed of silver. Other embodiments relate to a method of measuring an unknown property a target material, comprising moving the probe away from the target material, taking a first measurement, moving the probe such that it touches the target material, taking a second measurement, and comparing the first and second measurements in order to measure the unknown property.

Abstract translation: 本公开一般涉及消逝的微波显微镜探针及其制造和使用方法。 一些实施例涉及由银构成的探针。 其他实施例涉及一种测量目标材料的未知性质的方法，包括将探针远离目标材料移动，进行第一测量，移动探针使得其接触目标材料，进行第二测量，并且比较第一 和第二次测量以便测量未知属性。

公开(公告)号：WO2004068502A3

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：PCT/EP0314557

申请日：2003-12-18

Applicant: FRAUNHOFER GES FORSCHUNG ,  BRANDENBURG ALBRECHT

Inventor： BRANDENBURG ALBRECHT

IPC: B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  G01Q60/22 ,  G12B21/06 ,  G12B21/02

CPC classification number: G01Q60/22

Abstract: The invention relates to a probe for an optical near field microscope, said probe comprising a planar carrier carrying a probe tip at least partially consisting of a transparent material. The invention also relates to a method for producing one such probe. The aim of the invention is to provide a probe for an optical near field microscope and a method for the production thereof, whereby the probe can be produced with high reproducibility according to a simple technology and can have a simple but efficient light supply. To this end, the carrier of one such probe comprises an optical waveguide, and the inventive method comprises the following steps: a coating comprising an optical waveguide is applied to a substrate in a first step; a transparent layer is applied in a second step, such that the optical waveguide is arranged between the substrate and the transparent layer; the transparent layer is masked in at least one region above the probe tip in a third step; and the transparent layer is etched, forming the probe tip, in a fourth step.

Abstract translation: 本发明涉及用于近场光学显微镜的探针，其具有带探针尖端的平面载体，其中探针尖端至少部分由透明材料构成。 本发明还涉及制造这种探针的方法。 本发明的目的，一种用于光学近场显微镜和方法的探针，以提供它们的制备，所述探针可以在一个简单的技术高的再现性和具有简单但有效的光递送探头来制造。 该目的是在本发明提到的类型的探测器中实现的，其中载体具有光波导。 关于探针的制造方法，根据本发明通过包括以下步骤的方法实现上述目的：在第一步骤中将涂层涂覆到基底上，所述涂层具有光波导; 在第二步中施加透明层，使得光波导布置在基板和透明层之间; 在第三步骤中至少在探针尖端上方的区域中遮蔽透明层; 以及在第四步骤中蚀刻透明层以形成探针尖端。

公开(公告)号：WO2004068501A3

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：PCT/EP0314555

申请日：2003-12-18

Applicant: FRAUNHOFER GES FORSCHUNG ,  BRANDENBURG ALBRECHT ,  KUENZEL CHRISTA ,  EBERHARD DIETMAR

Inventor： BRANDENBURG ALBRECHT ,  KUENZEL CHRISTA ,  EBERHARD DIETMAR

IPC: B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  G01Q60/22 ,  G12B21/06 ,  G12B21/02 ,  G21B21/02

CPC classification number: G01Q60/22

Abstract: The invention relates to a probe for an optical near field microscope, said probe comprising a tip which is formed on a self-contained carrier, and to a method for producing the same. The aim of the invention is to provide a probe for an optical near field microscope and a method for the production thereof, whereby the probe has a tip with a very small aperture diameter and can thus be produced in a reproducible manner, according to a simple, advantageously controllable method. To this end, the inventive probe is characterised in that the probe tip is embodied as a complete structure which is applied to a planar surface of the carrier, and the inventive method comprises the following steps: a transparent layer is applied to a substrate, the thickness of the transparent layer corresponding to at least the height of the probe tip; the transparent layer is masked in at least one region of the probe tip; and the transparent layer is etched, forming the probe tip.

Abstract translation: 本发明涉及一种探针用于光学近场显微镜，其包括被一个悬臂梁构成的探针尖端，以及它们的制备的方法。 本发明的目的，一种用于光学近场显微镜和方法的探针，以提供它们的，具有非常小的孔直径的探针尖端的探针，并且可以因此可重复地在一个简单的，有利的控制的工艺制造的制剂。 该目的是通过一个通用的探针，其特征在于，探针尖端形成为一个完整的结构，其被施加到载体的平坦表面关于探针实现。 该目的是利用方面取得一种用于根据本发明通过包括以下步骤的方法制造探针的光学近场显微镜：在衬底上沉积透明层，其中厚度至少为所述探针针尖的高度对应的所述透明层的; 在探针尖端的区域中的至少所述透明层的掩蔽; 和下方形成探头尖端蚀刻透明层。

公开(公告)号：WO0210829A8

公开(公告)日：2003-07-10

申请号：PCT/US0123660

申请日：2001-07-27

Applicant: ZETETIC INST ,  HILL HENRY ALLEN

Inventor： HILL HENRY ALLEN

IPC: G01B11/30 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/22 ,  G02B21/00 ,  H01S3/00 ,  G12B21/06

CPC classification number: G01Q70/06 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/22

Abstract: A multiple source array for illuminating an object including: a reflective mask having an array of spatially separated apertures; at least one optic positioned relative to the mask to form an optical cavity with the mask; and a source providing electromagnetic radiation to the optical cavity to resonantly excite a mode supported by the optical cavity, wherein during operation a portion of the electromagnetic radiation built-up in the cavity leaks through the mask apertures towards the object.

Abstract translation: 一种用于照射物体的多源阵列，包括：具有空间上分开的孔阵列的反射掩模; 至少一个相对于所述掩模定位的光学器件，以与所述掩模形成光学腔; 以及向所述光学腔提供电磁辐射以共振地激发由所述光学腔支撑的模式的源，其中在操作期间，在所述腔中构建的电磁辐射的一部分通过所述掩模孔向所述物体泄漏。

公开(公告)号：WO0210828A2

公开(公告)日：2002-02-07

申请号：PCT/US0123656

申请日：2001-07-27

Applicant: ZETETIC INST ,  HILL HENRY ALLEN

Inventor： HILL HENRY ALLEN

IPC: G02B21/00 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/18 ,  G01Q60/22

CPC classification number: G01Q60/22 ,  G01Q10/06 ,  G01Q70/06

Abstract: Systems and methods for near-field, interferometric microscopy are disclosed in which a mask having an array of sub-wavelength apertures is used to couple near-field probe beams to a sample. The periphery of the mask further includes one or more larger apertures to couple light to the sample that forms the basis of an interferometric signal indicative of the relative distance between the mask and the sample. The interferometric signal can be the basis of a control signal in a servo system that dynamically positions the mask relative to the sample.

Abstract translation: 公开了用于近场干涉显微镜的系统和方法，其中具有亚波长孔径阵列的掩模用于将近场探测光束耦合到样品。 掩模的周边还包括一个或多个较大的孔，以将光耦合到样品，其形成指示掩模和样品之间的相对距离的干涉信号的基础。 干涉信号可以是伺服系统中的控制信号的基础，该控制信号相对于样品动态地定位掩模。

公开(公告)号：WO00055597A1

公开(公告)日：2000-09-21

申请号：PCT/JP2000/001361

申请日：2000-03-06

IPC: G01B11/30 ,  G01B5/28 ,  G01B11/00 ,  G01B21/30 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/02 ,  G01N13/14 ,  G12B21/06

CPC classification number: G01Q60/38 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22

Abstract: A low-loss optical micro cantilever (10) comprises a support (1), an optical waveguide (2), an opaque film (3), a reflective film (4), a chip (5) with a pointed end, a minute opening (6) in the pointed of the chip (5), and a reflective mirror (7) for directing the light (H) from an optical input/output end (8) of the optical waveguide (2) toward the minute opening (6).

Abstract translation: 低损耗光学微悬臂（10）包括支撑件（1），光波导（2），不透明膜（3），反射膜（4），具有尖端的芯片（5），分钟 在芯片（5）的尖端的开口（6）和用于将光（H）从光波导（2）的光输入/输出端（8）引向微小开口的反射镜（7） 6）。