公开(公告)号：WO2010131662A1

公开(公告)日：2010-11-18

申请号：PCT/JP2010/057977

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  小池 章夫 ,  三森 喬宏 ,  岩橋 康臣 ,  小川 朝敬

Inventor： 小池　章夫 ,  三森　喬宏 ,  岩橋　康臣 ,  小川　朝敬

IPC: C03B32/00 ,  C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

Abstract: 　本発明は、透明ガラス化後のＴｉＯ ２ －ＳｉＯ ２ ガラス体の徐冷点をＴ １ （℃）とするとき、透明ガラス化後のガラス体をＴ １ －９０（℃）からＴ １ －２２０（℃）までの温度域に１２０時間以上保持する工程を含む、ＴｉＯ ２ －ＳｉＯ ２ ガラス体の製造方法に関する。

Abstract translation: 公开了一种TiO 2 -SiO 2玻璃体的制造方法，其特征在于，将透明玻璃化后的TiO 2 -SiO 2玻璃体保持在T1-90（℃）〜T1-220℃的温度范围内， 120小时以上，T1（℃）为透明玻璃化后TiO 2 -SiO 2玻璃体的退火点。

公开(公告)号：WO2010098352A1

公开(公告)日：2010-09-02

申请号：PCT/JP2010/052875

申请日：2010-02-24

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  三森 喬宏 ,  岩橋 康臣 ,  小池 章夫

Inventor： 三森　喬宏 ,  岩橋　康臣 ,  小池　章夫

IPC: C03B8/04 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  G03F1/16 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44

Abstract: 　本発明は、金属ドーパント前駆体と、ＳｉＯ ２ 前駆体と、をバーナーの火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を基材に堆積、成長させて多孔質石英ガラス体を製造する方法であって、前記バーナーが少なくとも二つのノズルを有しており、（Ａ）金属ドーパント前駆体ガス、（Ｂ）ＳｉＯ ２ 前駆体ガス、（Ｃ）Ｈ ２ およびＯ ２ のうち一方のガス、および、（Ｄ）希ガス、Ｎ ２ 、ＣＯ ２ 、ハロゲン化水素およびＨ ２ Ｏからなる群から選択される１種類以上のガス、を含有し、前記（Ｄ）のガスの割合が５～７０ｍｏｌ％である混合ガスと、（Ｅ）上記（Ｃ）のＨ ２ およびＯ ２ のうち他方のガスと、をバーナーの互いに異なるノズルに供給する、多孔質石英ガラス体の製造方法に関する。

Abstract translation: 一种多孔石英玻璃物体的制造方法，其特征在于，将来自燃烧器的火焰中的金属掺杂剂的前体和SiO 2的前体水解，得到微细的玻璃粒子，并将生成的微细玻璃微粒沉积并生长在基材上， 石英玻璃物体。 燃烧器具有至少两个喷嘴，以及包含（A）金属掺杂剂前体气体，（B）SiO 2前体气体，（C）H 2和O 2气体中的一种的混合气体，以及（D）选择一种或多种气体 来自由稀有气体，N 2，CO 2，卤化氢和H 2 O组成的组，气体（D）的比例（D）为5-70mol％，（E）另一个H 2和O 2气体 C）分别供给到燃烧器的不同喷嘴。

公开(公告)号：WO2011068064A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：PCT/JP2010/070944

申请日：2010-11-24

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  小池 章夫 ,  三森 喬宏 ,  小川 朝敬

Inventor： 小池　章夫 ,  三森　喬宏 ,  小川　朝敬

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  C03C3/089 ,  C03C3/097 ,  G03F1/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/42

Abstract: 　本発明は、ＴｉＯ 2 を５～１０質量％含有し、Ｂ 2 Ｏ 3 、Ｐ 2 Ｏ 5 およびＳのうち、少なくとも一つを合計含有量で５０質量ｐｐｂ～５質量％含有する、ＴｉＯ 2 を含有するシリカガラスに関する。

Abstract translation: 公开了含有TiO 2的二氧化硅玻璃，其含有5-10质量％的TiO 2，同时含有总共为50ppb〜5质量％的B 2 O 3，P 2 O 5或S中的至少一种。

公开(公告)号：WO2010134449A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：PCT/JP2010/057978

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  小池 章夫 ,  三森 喬宏 ,  岩橋 康臣 ,  小川 朝敬

Inventor： 小池　章夫 ,  三森　喬宏 ,  岩橋　康臣 ,  小川　朝敬

IPC: C03B32/00 ,  C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B25/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  G03F1/24 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/24355

Abstract: 　本発明は、透明ガラス化後のＴｉＯ ２ －ＳｉＯ ２ ガラス体の徐冷点をＴ １ （℃）とするとき、透明ガラス化後のガラス体をＴ １ ＋４００℃以上の温度で２０時間以上加熱する工程と、該加熱する工程後のガラス体をＴ １ （℃）からＴ １ －４００（℃）まで平均降温速度１０℃／ｈｒ以下で冷却する工程と、を含む、ＴｉＯ ２ －ＳｉＯ ２ ガラス体の製造方法に関する。

Abstract translation: 本发明公开了一种TiO 2 -SiO 2玻璃体的制造方法，其特征在于，将透明玻璃化后的TiO 2 -SiO 2玻璃体在不低于T1 + 400℃的温度下加热20小时以上， 将加热工序后的玻璃体从T1（℃）冷却至T1〜400（℃）的平均冷却速度为10℃/小时以下的工序，T1（℃）为 透明玻璃化后TiO2-SiO2玻璃体的退火点。