公开(公告)号：WO2010122707A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/JP2010/001472

申请日：2010-03-03

Applicant: パナソニック株式会社 ,  張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

Inventor： 張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 　非鉛強誘電材料を含む圧電体薄膜であって、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同レベルの高い圧電性能を示す圧電体薄膜とその製造方法とを提供する。本発明の圧電体薄膜は、（００１）配向を有するＬａＮｉＯ 3 膜と、（００１）配向を有するＮａＮｂＯ 3 膜と、（００１）配向を有する（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜と、を具備し、前記ＬａＮｉＯ 3 膜、前記ＮａＮｂＯ 3 膜、および前記（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜がこの順に積層されている。

Abstract translation: 提供一种包含无铅铁电材料并且具有与锆钛酸铅（PZT）相当的高压电性能的压电薄膜。 还提供了用于所述压电薄膜的制造方法。 压电薄膜设置有（001）取向的LaNiO3膜，（001）取向的NaNbO 3膜和（001）取向的（Bi，Na，Ba）TiO 3膜。

公开(公告)号：WO2011045897A1

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：PCT/JP2010/005744

申请日：2010-09-22

Applicant: パナソニック株式会社 ,  張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

Inventor： 張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/14233 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319 ,  H01L41/332

Abstract: 　非鉛強誘電材料を含み、低い誘電損失、高い電気機械結合係数、およびチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同様の高い圧電定数を有する非鉛圧電体薄膜を提供する。本発明の圧電体薄膜は、ペロブスカイト型複合酸化物（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 から構成される（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜を有する。（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜は、（００１）配向を有し、Ａｇをさらに含む。（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜におけるモル比Ａｇ／Ｔｉは０．００１以上０．０１以下である。

Abstract translation: 提供一种无铅压电薄膜，其包括无铅铁电材料，并且具有低介电损耗，高机电耦合系数以及类似的高压电常数作为锆钛酸铅（PZT）。 压电薄膜具有由钙钛矿复合氧化物（Bi，Na，Ba）TiO 3形成的（Bi，Na，Ba）TiO 3膜。 （Bi，Na，Ba）TiO 3膜具有（001）取向并且还包含Ag。 （Bi，Na，Ba）TiO 3膜的Ag / Ti摩尔比为0.001〜0.01。

公开(公告)号：WO2010084711A1

公开(公告)日：2010-07-29

申请号：PCT/JP2010/000148

申请日：2010-01-13

Applicant: パナソニック株式会社 ,  張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

Inventor： 張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/113 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24 ,  H02N2/00

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C23C14/024 ,  C23C14/08 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/094 ,  H01L41/316 ,  H01L41/318 ,  H01L41/319 ,  Y10T29/42

Abstract: 　鉛を含有しない強誘電材料を含む圧電体薄膜であって、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同レベルの高い圧電性能を示す圧電体薄膜とその製造方法とを提供する。本発明の圧電体薄膜は、（００１）配向を有するＬａＮｉＯ 3 膜と、（００１）配向を有し、化学式ＡＢＯ 3 （Ａは（Ｂｉ，Ｎａ） 1-x Ｃ x （０≦ｘ＜１）により表され、ＢはＴｉまたはＴｉＺｒであり、ＣはＮａ以外のアルカリ金属である）により表される化合物により構成されている界面層と、（００１）配向を有する（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜とを具備し、前記ＬａＮｉＯ 3 膜、前記界面層、および前記（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜はこの順に積層されている。

Abstract translation: 一种压电薄膜，其包含不含铅的铁电材料，并且在与锆钛酸铅（PZT）相同的水平上具有高压电性能; 以及压电薄膜的制造方法。 压电薄膜包括具有（001）取向的LaNiO3膜，具有（001）取向并由化学式ABO3表示的化合物构成的界面层（其中A由（Bi，Na）1-xCx（0 = 具有（001）取向的x3膜，LaNiO3膜，界面层和（Bi，Na，Ba）TiO 3膜已经以该顺序重叠。

公开(公告)号：WO2011083762A1

公开(公告)日：2011-07-14

申请号：PCT/JP2011/000023

申请日：2011-01-06

Applicant: パナソニック株式会社 ,  張替貴聖 ,  上田路人 ,  足立秀明 ,  藤井映志

Inventor： 張替貴聖 ,  上田路人 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

CPC classification number: H02N2/186 ,  H01L41/1134

Abstract: 　外部振動に対して破損し難い両持ち式の振動梁を具備しながら、発電量が大きく、製造が比較的容易な圧電発電素子が提供される。この素子は、支持体と帯状の振動梁と圧電体層と電極とを具備し、振動梁の第１および第２の端部は支持体に固定され、圧電体層および電極が振動梁の表面に配置される。振動梁は、振動していない状態で一つの平面内に伸長し、支持体に固定された第１の端部から伸長する第１の部分と、第２の端部から伸長する第２の部分と、第１の部分における前記端部とは反対側の端部および第２の部分における前記端部とは反対側の端部をつなぐ第３の部分とを有し、前記平面に垂直な方向から見て、第１の部分が伸長する第１の方向および第２の部分が伸長する第２の方向が、それぞれ前記端部に近づく方向であり、前記双方の端部の中心間を結ぶ直線に対して０°を超え９０°未満の角度を有し、第３の部分が前記直線と１回交差する、形状を有する。

Abstract translation: 提供了即使在具有抵抗外部振动的桥式振动梁的情况下，也产生大量电力并且相对容易制造的压电发电装置。 该装置包括支撑体，带状振动梁，压电层和电极，其中振动梁的第一和第二端固定到支撑体上，压电层和电极设置在 振动梁。 所述振动梁以非振动状态在一个平面内延伸，并且具有：从所述第一端延伸固定到所述支撑体的第一部分; 从所述第二端延伸的第二部分; 以及第三部分，用于连接第一部分的第一端的相对侧上的端部和第二部分的第二端的相对侧上的端部。 从垂直于该平面的方向观察，第一部分沿其延伸的第一方向和第二部分延伸的第二方向分别是接近第二端和第二端的方向，并且具有0°以上的角度 相对于连接在第一和第二端的中心之间的线90°。 第三部分具有穿过所述线一次的形状。

公开(公告)号：WO2010047049A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/JP2009/005121

申请日：2009-10-02

Applicant: パナソニック株式会社 ,  張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

Inventor： 張替貴聖 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/09 ,  C23C14/08 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

CPC classification number: C23C14/08 ,  C04B35/475 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5642 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42

Abstract: 　鉛を含有しない強誘電材料を含む圧電体薄膜であって、ＰＺＴと同レベルの高い圧電性能を示す圧電体薄膜とその製造方法とを提供する。本発明の圧電体薄膜は、（１００）の面方位を有する金属電極膜と、（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ 3 膜と、（００１）の面方位を有する（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜とが、この順に積層された積層構造を有する。本発明の圧電体薄膜は、幅広い分野および用途に適用可能であり、例えば、本発明の圧電体薄膜によって、センサ感度に優れる本発明の角速度センサならびに発電特性に優れる圧電発電素子を構築できる。

Abstract translation: 提供一种由不含铅的铁电材料形成的压电薄膜，其表现出与PZT相同水平的高压电性能。 还公开了一种制造压电薄膜的方法。 压电薄膜具有由具有平面方向（100），（Bi，Na）TiO 3膜和（Bi，Na，Ba）TiO 3膜的平面方向（001）的金属电极膜形成的层叠结构， 按照这个顺序分层。 压电薄膜可以应用于广泛的领域。 例如，可以使用压电薄膜来构成具有优异感度的角速度传感器和具有优异的发电特性的压电元件。