公开(公告)号：WO2007033851A1

公开(公告)日：2007-03-29

申请号：PCT/EP2006/064954

申请日：2006-08-02

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  BECK, Thomas ,  GROSSE, Stefan ,  SCHMIDTKE, Bernd ,  KALLMANN, Ulrich ,  JACKISCH, Sebastian ,  SPENNEMANN, Hartmut

Inventor： BURGER, Kurt ,  BECK, Thomas ,  GROSSE, Stefan ,  SCHMIDTKE, Bernd ,  KALLMANN, Ulrich ,  JACKISCH, Sebastian ,  SPENNEMANN, Hartmut

IPC: G01B11/06 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B11/0675

Abstract: Die Erfindung betrifft eine interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen von Schichtdicken von teiltransparenten Schichten auf Substraten, speziell von auf Kohlenstoff basierenden Verschleissschutzschichten, mit einer diese automatisch in ihrer Tiefenrichtung (Z) abtastenden Abtastvorrichtung, mittels derer eine Interferenzebene (IE) relativ zur Schichtstruktur verschiebbar ist, mit einem ein Weisslichtinterf erometer (WLI) und/oder ein wellenlängenscannendes Interf erometer (WLSI) aufweisenden Interf erometerteil (IT) . Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Auswerteverfahren.

Abstract translation: 本发明涉及一种干涉测量设备，用于在衬底上测量部分透明层的层厚度，尤其是基于碳的耐磨损，耐扫描与在其深度方向上自动地（Z）扫描装置，通过该干扰电平（IE）是相对于所述层结构可移位，以 一个一个Weisslichtinterf erometer（WLI）和/或波长扫描INTERF erometer（WLSI）具有INTERF erometerteil（IT）。 本发明还涉及一种相应的评价。

公开(公告)号：WO2003016143A1

公开(公告)日：2003-02-27

申请号：PCT/DE2002/002503

申请日：2002-07-09

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  SCHNEIDER, Guenter ,  BECK, Thomas ,  SZCZERBA, Wolfgang ,  WILKE, Bernd ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  HENKE, Sascha ,  GOETZELMANN, Bernd ,  VAN DE LOECHT, Heinrich ,  SCHMITT, Wolfgang

Inventor： BURGER, Kurt ,  SCHNEIDER, Guenter ,  BECK, Thomas ,  SZCZERBA, Wolfgang ,  WILKE, Bernd ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  HENKE, Sascha ,  GOETZELMANN, Bernd ,  VAN DE LOECHT, Heinrich ,  SCHMITT, Wolfgang

IPC: B65B55/10

CPC classification number: B65B55/027 ,  A61L2/14 ,  B65B55/08 ,  Y10S422/906 ,  Y10S422/907

Abstract: Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Sterilisation von Behältnissen (2) vorgeschlagen, bei dem in mindestens einem Verfahrensschritt in einer Kammer (5) eine Plasmabehandlung durch Anregung einer elektromagnetischen Schwingung derart durchgeführt wird, dass das Plasma (8) in einem Vakuum in der Nähe der zu sterilisierenden Bereiche des Behältnisses (2) angeregt wird. Die zu sterilisierenden Bereiche des Behältnisses (2) werden zwischen dem Einschleusen (4) und dem Ausschleusen (6) in der Kammer (5) bei Bewegung des Behältnisses (2) und/oder der schwingungserzeugenden Vorrichtung (9) für einen oder mehrere vorgegebene Zeiträume derart an die schwingungserzeugenden Vorrichtung (9) angenähert, dass in diesen Bereichen innen und/oder aussen am Behältnis ein Plasma (8) angeregt wird. In der Kammer (5) ist eine Transportvorrichtung vorhanden, die eine im wesentlichen rotierende Bewegung des Behältnisses (2) während des Transports von der Einschleusung (4) zur Ausschleusung (6) in der Kammer (5) bewirkt.

Abstract translation: 公开了一种用于容器的灭菌的方法和设备（2），其中，在一个室中的至少一个处理步骤（5）的等离子体处理是通过电磁振荡的激励以这样的方式进行，即在真空中的等离子体（8） 附近的容器（2）的经灭菌的区域被刺激。 要在腔室（5）导入（4）和放电（6）之间的容器（2）和/或所述振动产生装置（9）的运动过程中为一个或多个预定的时间段消毒的容器（2）的区域 近似以这样一种方式到振动产生装置（9），在内侧和/或外侧这些区域中的容器上的等离子体（8）被激发。 在所述腔室（5），其使从导入（4）放电（6）在所述室（5），输送装置本的运输过程中，容器（2）的基本上旋转运动。

公开(公告)号：WO2010012704A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/EP2009/059700

申请日：2009-07-28

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  NEIDHARDT, Ronald ,  BURGHOFF, Klaus ,  FEUERFEIL, Rainer ,  SCHNEIDER, Guenter ,  MAY, Ulrich

Inventor： BURGER, Kurt ,  NEIDHARDT, Ronald ,  BURGHOFF, Klaus ,  FEUERFEIL, Rainer ,  SCHNEIDER, Guenter ,  MAY, Ulrich

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C28/00 ,  C23C30/00 ,  F02M61/00

CPC classification number: C23C14/025 ,  C23C14/027 ,  C23C14/0605 ,  C23C28/044 ,  C23C28/048 ,  C23C30/00 ,  F02M61/166 ,  F02M2200/02 ,  F02M2200/9038 ,  F02M2200/9046 ,  F02M2200/9076

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Verschleißschutzschichtanordnung, insbesondere für hohen Drücken und Temperaturen ausgesetzten Bauelemente (B) eines Kraftstoffeinspritzsystems, mit einer aus tetragonal gebundenem amorphen Kohlenstoff gebildeten oder einen Anteil an tetragonal gebundenem amorphen Kohlenstoff aufweisenden Schutzschicht, und mit mindestens einer aus Chrom gebildeten oder einen Chromanteil aufweisenden ersten Haftvermittlerschicht (2). Erfindungsgemäß ist mindestens eine einen Wolframkarbidanteil aufweisende und/oder aus Wolframkarbidschicht bestehende, vorzugsweise an die erste Haftvermittlerschicht (2) angrenzende, zweite Haftvermittlerschicht (3) vorgesehen. Ferner betrifft die Erfindung ein Bauelement (B).

Abstract translation: 本发明涉及一种磨损保护层布置，尤其是用于高压和高温下暴露的部件（B）的燃料喷射系统，包括：从四方结合无定形碳，或具有保护层，并且具有四方晶键合无定形碳中的比例的至少一种选自铬或铬含量形成的形成 第一粘附促进剂层（2）。 根据本发明的碳化钨中的至少一个具有和/或由碳化钨，优选在所述第一粘附促进剂层（2）相邻的，第二粘附促进剂层（3）。 此外，本发明涉及一种组分（B）。

公开(公告)号：WO2004018330A1

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：PCT/DE2003/001177

申请日：2003-04-10

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  GOETZELMANN, Bernd

Inventor： BURGER, Kurt ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  GOETZELMANN, Bernd

IPC: B65G33/02

CPC classification number: B65G47/244 ,  B65G33/02

Abstract: Es wird eine Vorrichtung zum Transport von zylindrischen Gegenständen (2), insbesondere Behältnissen, vorgeschla­gen, bei der mindestens zwei gleichsinnig, axial senk­recht zur Transportrichtung der Gegenstände (2) drehbare Wellen (3,4) vorhanden sind. Die Gegenstände (2) kommen während des Transportes mit ihrer Zylinderwand an einer Welle (4) und mit einer Stirnseite an einer jeweils be­nachbarten Welle (3) zu liegen. Durch den Achsenabstand (10) und/oder die jeweiligen Durchmesser (8, 9) der Wellen (3, 4) ist eine vorgebbare Winkellage (ß) der Gegenstände (2) zur Ebene der Achsen der Wellen (3, 4) der Wellen (3, 4) und eine Eigenrotation der Gegenstände (2) bewirk­bar.

Abstract translation: 它是圆柱形物品（2），特别是提出的容器中，可转动的轴，其中至少两个同轴垂直于所述物品的传送方向（2）（3.4）存在的传输的装置。 产品（2）来传输与它的气缸壁的轴（4）和具有前侧到各自的相邻的轴时躺下（3）。 （通过的轴向距离（10）和/或各自的直径（8，9）的轴（3,4）是物品（2）的预定角度位置（测试版）的轴的轴线的，4）波的平面（3 3，4）和（2）实现的制品的自转。

公开(公告)号：WO2011026674A1

公开(公告)日：2011-03-10

申请号：PCT/EP2010/059839

申请日：2010-07-08

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  SCHNEIDER, Guenter ,  HERWEG, Carsten

Inventor： BURGER, Kurt ,  SCHNEIDER, Guenter ,  HERWEG, Carsten

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/542

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Verdampfer (1) mit einer Wärmequelle zum Verdampfen von, vorzugsweise organischen, Materialien im Vakuum zur Herstellung von großflächigen Beschichtungen, insbesondere bei der Herstellung organischer Leuchtdioden oder organischer Solarzellen und/oder organischer Elektronik, umfassend einen Verdampfungsbehälter (3) mit einer Austrittsöffnung (5) für verdampftes Material und einen der Austrittsöffnung (5) nachgeordneten Austrittskanal (7), durch den verdampftes Material zu einem zu beschichtenden Material strömen kann. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der freie Querschnitt der Austrittsöffnung (5) und/oder der freie Querschnitt des Austrittskanals (7) während des Verdampfens des Materials einstellbar sind/ist. Ferner betrifft die Erfindung, eine Anordnung von mindestens zwei, vorzugsweise ausschließlich zwei, Verdampfern, eine Beschichtungsanlage sowie die Verwendung eines Verdampfers und/oder einer Anordnung von Verdampfern und/oder einer Beschichtungsanläge.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有用于，优选有机材料蒸发的热源在所述真空用于生产大面积涂层的，特别是在有机发光二极管或有机太阳能电池和/或有机电子器件制造方法，包括一个蒸发罐的蒸发器（1）（3）用 为汽化材料和出口开口（5）的出口通道的下游（7）可以流到一个材料出口开口（5）由所述汽化的材料进行包衣。 根据本发明，提供的是所述出口开口（5）和/或所述材料的蒸发过程中的出口通道（7）的自由横截面的自由横截面是可调节的/是。 此外，本发明涉及至少两种的布置，优选地仅两个蒸发器，涂覆设备及使用的蒸发器和/或蒸发器的阵列和/或一个Beschichtungsanläge的。

公开(公告)号：WO2010012701A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/EP2009/059696

申请日：2009-07-28

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  NEIDHARDT, Ronald ,  BURGHOFF, Klaus ,  FEUERFEIL, Rainer ,  SCHNEIDER, Guenter ,  MAY, Ulrich

Inventor： BURGER, Kurt ,  NEIDHARDT, Ronald ,  BURGHOFF, Klaus ,  FEUERFEIL, Rainer ,  SCHNEIDER, Guenter ,  MAY, Ulrich

IPC: C23C30/00 ,  C23C28/00 ,  F04B1/04

CPC classification number: C23C30/00 ,  C23C14/32 ,  C23C14/34 ,  C23C28/044 ,  C23C28/048 ,  F02M59/445 ,  F02M61/04 ,  F02M61/166 ,  F02M2200/9038 ,  F02M2200/9046 ,  F04B1/0404 ,  F05C2253/12

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Verschleißschutzschichtanordnung (1), insbesondere für hohen Drücken und Temperaturen ausgesetzten Bauelemente (B) eines Kraftstoffeinspritzsystems, mit einer aus tetragonal gebundenem amorphen Kohlenstoff gebildeten oder einen Anteil an tetragonal gebundenem amorphen Kohlenstoff aufweisenden Schutzschicht (4), und mit einer aus Chrom gebildeten oder einen Chrom-Anteil aufweisenden ersten Haftvermittlerschicht (2). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass mindestens eine an die erste Haftvermittlerschicht (2) angrenzende, einen Kohlenstoff-Anteil aufweisende zweite Haftvermittlerschicht (3) vorgesehen ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Bauelement (B).

Abstract translation: 本发明涉及一种磨损保护层装置（1），特别是用于高压力和温度下暴露的部件（B）的燃料喷射系统，具有从四方结合无定形碳，或具有保护层的四方晶键合非晶碳的比例（4）形成，并与一个铬 形成，或者具有第一粘附促进剂层铬组分（2）。 根据本发明，它提供了一个相邻的碳成分含有第二粘合剂层的第一粘合促进剂层（2）中的至少一个（3）设置。 此外，本发明涉及一种组分（B）。

公开(公告)号：WO2007071486A1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：PCT/EP2006/067940

申请日：2006-10-30

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  WILKE, Bernd ,  WEBER, Helmut ,  KNOEDLER, Hartmut ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  PETERS, Jochen ,  WEISS, Dunja ,  LUCAS, Susanne ,  BRAEUNINGER, Marc ,  FEICHTINGER, Jochen ,  FREUDENSTEIN, Stefanie

Inventor： BURGER, Kurt ,  WILKE, Bernd ,  WEBER, Helmut ,  KNOEDLER, Hartmut ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  PETERS, Jochen ,  WEISS, Dunja ,  LUCAS, Susanne ,  BRAEUNINGER, Marc ,  FEICHTINGER, Jochen ,  FREUDENSTEIN, Stefanie

IPC: A61L2/07 ,  A61L2/14 ,  B65B55/02

CPC classification number: B65B55/10 ,  A61L2/07 ,  A61L2/14

Abstract: Es wird ein Verfahren insbesondere zur Endotoxin-Abreicherung auf Oberflächen beschrieben, bestehend aus einer Kombination von Dampfbehandlung und Plasmaprozess, wobei die Oberfläche zuerst mit Dampf behandelt wird, und danach ein Plasmaprozess die Endotoxinabreicherung vervollständigt und sterilisierend wirkt. Darüber hinaus wird eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens beschrieben.

Abstract translation: 它是在由表面描述了用于内毒素耗尽特别是方法完成蒸汽处理和等离子体处理的组合，其中，所述表面首先用蒸汽处理，然后，等离子体处理和杀菌效果的内毒素耗尽。 此外，用于执行该方法的装置进行说明。

公开(公告)号：WO2003077959A1

公开(公告)日：2003-09-25

申请号：PCT/DE2002/004628

申请日：2002-12-18

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  GOETZELMANN, Bernd ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  HAEGELE, Hartmut ,  WILKE, Bernd ,  BURGER, Kurt

Inventor： GOETZELMANN, Bernd ,  RAUSCHNABEL, Johannes ,  HAEGELE, Hartmut ,  WILKE, Bernd ,  BURGER, Kurt

IPC: A61L2/14

CPC classification number: B65B55/10 ,  A61L2/14 ,  A61L2/26 ,  A61L2202/122 ,  A61L2202/23

Abstract: Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Sterilisation, zur Entpyrogenisierung und/oder zur Vergütung von Behältnissen und deren Verschliesselemente (12) vorgeschlagen, bei dem in mindestens einem Verfahrensschritt in einer Niederdruck- oder Vakuumkammer (4) eine Plasmabehandlung gemeinsam oder getrennt für die Behältnisse und die Verschliesselemente (12) vor dem Befüllen der Be-hältnisse durch Anregung einer elektromagnetischen Schwingung durchgeführt wird. Die zu sterilisierenden, zu entpyrogenisierenden und/oder zu vergütenden Bereiche des oder der Verschliesselemente (12) und der Behältnisse werden dabei mit einer geeigneten Transportvorrichtung für einen oder mehrere vorgegebene Zeiträume an die schwingungserzeugende Vorrichtung (15;48) angenähert.

Abstract translation: 它提出了一种方法和用于杀菌的装置中，除热原和/或容器和封闭元件（12）的补偿，其中，在低压力或真空室中的至少一个工艺步骤（4）的等离子体处理一起或单独用于容器 和闭合元件（12）由一个电磁振荡的激励填充所述负载量比之前进行。 物品被消毒与用于向振动产生装置的时间的一个或多个预先确定的时间段的合适的输送装置来entpyrogenisierenden和/或要被补偿的或封闭元件（12）和所述容器的区域，由此，大约（15 48）。

公开(公告)号：WO1997034024A1

公开(公告)日：1997-09-18

申请号：PCT/DE1997000344

申请日：1997-02-27

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  VOIGT, Johannes ,  REUTER, Wolfgang

Inventor： ROBERT BOSCH GMBH

IPC: C23C14/22

CPC classification number: C23C14/223 ,  C23C14/022 ,  C23C14/22 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32752 ,  H01J37/3405

Abstract: The invention relates to means for vacuum coating of bulk material (1). Said means comprises a rotating bucket (10) for holding the bulk material (1), a plasma-coating source (20) arranged inside the rotating bucket (10), and means (16, 24), inside the rotating bucket (10), for plasma cleaning of the bulk material (1). During coating, the speed of rotation of the rotating bucket (10) is lower that the speed required to produce a centrifugal force fixing the bulk material (1) to the inner wall of the rotating bucket. The plasma-coating source (20) and the plasma cleaning means (16, 24) are arranged in such a manner that the operative areas thereof overlap.

Abstract translation: 公开了用于散装材料（1）的真空镀膜的装置。 该装置包括一个旋转篮筐（10），用于接收散装材料（1），布置在所述旋转筐中的一个（10）等离子涂层源（20），和设置在旋转筐内的一个（10）的装置（16，24），用于散装材料的等离子体清洗（1 ）。 在涂布中，旋转筐（10）的旋转速度比用于产生在旋转筐内壁固定离心速度所需的散装材料（1）小。 等离子体涂层源（20）和等离子体清洗的限制装置（16，24）被布置成使得它们的有效范围重叠。

公开(公告)号：WO2013087338A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：PCT/EP2012/072677

申请日：2012-11-15

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BURGER, Kurt ,  DORFMUELLER, Lutz ,  SCHNEIDER, Guenter ,  WALTHER, Benjamin ,  KNIPRATH, Rolf

Inventor： BURGER, Kurt ,  DORFMUELLER, Lutz ,  SCHNEIDER, Guenter ,  WALTHER, Benjamin ,  KNIPRATH, Rolf

IPC: C23C14/54

CPC classification number: C23C14/544

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung (10) zum Beschichten eines Substrats (12), umfassend eine Beschichtungskammer (18) und wenigstens zwei an jeweils gegenüberliegenden Seiten der Beschichtungskammer derart angeordnete Strahlungsöffnungen (20, 22) aufweist, dass ein Lichtstrahl (24) durch die Strahlungsöffnungen (20, 22) einen Beschichtungskegel (14) zwischen Verdampfungsbehälter (16) und Substrat (12) durchstrahlt. Wenigstens zwei Spiegelkammern (26, 28), sind jeweils außerhalb der Beschichtungskammer (18) angeordnet und weisen jeweils eine Öffnung (30, 32) auf, die mit einer Strahlungsöffnung (20, 22) verbunden ist. In jeder der Spiegelkammern ist ein Kammerspiegel (34, 36) derart ausgerichtet, dass der Lichtstrahl zwischen den in unterschiedlichen Spiegelkammern angeordneten Kammerspiegeln einkoppelbar ist. Wenigstens ein Kammerspiegel ist teildurchlässig. Wenigstens ein Detektor (44, 46, 48) detektiert den aus den Kammerspiegeln ausgekoppelten Lichtstrahl. Eine derartige Anordnung (10) erlaubt eine genaue Ermittlung der Dampfdichte in der Beschichtungskammer und damit eine genaue Ermittlung der Beschichtungsrate.

Abstract translation: 本发明涉及一种装置（10）用于涂覆衬底（12）包括一个涂层室（18）和至少两个上涂覆室的相应的相对两侧，以便布置辐射孔（20，22），该光束（24）穿过 辐射的开口（20，22）具有在蒸发容器（16）和基片（12）之间的涂层锥体（14）照射。 至少两个反射镜腔室（26，28）分别设置在涂布室（18）外部，并且每一个都具有开口（30,32），其连接到辐射孔（20，22）。 在每个腔室的定向，使得布置在不同的腔室腔的反射镜的反射镜之间的光束可以耦合一个镜室的反射镜（34，36）。 至少一个腔室是部分透射镜。 至少一个检测器（44，46,48）检测出耦合从腔室的反射镜的光束。 这样的布置（10），允许精确确定在涂层室中的密度的，并因此精确确定的被覆率的。