公开(公告)号：WO2010104799A3

公开(公告)日：2011-01-27

申请号：PCT/US2010026557

申请日：2010-03-08

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  LEVY ADY ,  NGAI SAMUEL ,  BEVIS CHRISTOPHER F ,  CONCINA STEFANO ,  FIELDEN JOHN ,  MIEHER WALTER ,  MUELLER DIETER ,  RICHARDSON NEIL ,  WACK DAN ,  WAGNER LARRY

Inventor： LEVY ADY ,  NGAI SAMUEL ,  BEVIS CHRISTOPHER F ,  CONCINA STEFANO ,  FIELDEN JOHN ,  MIEHER WALTER ,  MUELLER DIETER ,  RICHARDSON NEIL ,  WACK DAN ,  WAGNER LARRY

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01N21/3581 ,  H01L22/12

Abstract: Systems and methods for determining one or more characteristics of a specimen using radiation in the terahertz range are provided. One system includes an illumination subsystem configured to illuminate the specimen with radiation. The system also includes a detection subsystem configured to detect radiation propagating from the specimen in response to illumination of the specimen and to generate output responsive to the detected radiation. The detected radiation includes radiation in the terahertz range. In addition, the system includes a processor configured to determine the one or more characteristics of the specimen using the output.

Abstract translation: 提供了使用太赫兹范围内的辐射来确定样本的一个或多个特征的系统和方法。 一个系统包括被配置为用辐射照射样本的照明子系统。 该系统还包括检测子系统，该检测子系统被配置为响应于样本的照射来检测从样本传播的辐射，并响应于检测到的辐射产生输出。 检测到的辐射包括太赫兹范围内的辐射。 另外，该系统包括配置成使用该输出来确定样本的一个或多个特性的处理器。

公开(公告)号：WO2010104799A2

公开(公告)日：2010-09-16

申请号：PCT/US2010/026557

申请日：2010-03-08

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION ,  LEVY, Ady ,  NGAI, Samuel ,  BEVIS, Christopher F. ,  CONCINA, Stefano ,  FIELDEN, John ,  MIEHER, Walter ,  MUELLER, Dieter ,  RICHARDSON, Neil ,  WACK, Dan ,  WAGNER, Larry

Inventor： LEVY, Ady ,  NGAI, Samuel ,  BEVIS, Christopher F. ,  CONCINA, Stefano ,  FIELDEN, John ,  MIEHER, Walter ,  MUELLER, Dieter ,  RICHARDSON, Neil ,  WACK, Dan ,  WAGNER, Larry

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01N21/3581 ,  H01L22/12

Abstract: Systems and methods for determining one or more characteristics of a specimen using radiation in the terahertz range are provided. One system includes an illumination subsystem configured to illuminate the specimen with radiation. The system also includes a detection subsystem configured to detect radiation propagating from the specimen in response to illumination of the specimen and to generate output responsive to the detected radiation. The detected radiation includes radiation in the terahertz range. In addition, the system includes a processor configured to determine the one or more characteristics of the specimen using the output.

Abstract translation: 提供了使用太赫兹范围内的辐射来确定样本的一个或多个特征的系统和方法。 一个系统包括被配置为用辐射照射样本的照明子系统。 该系统还包括检测子系统，该检测子系统被配置为响应于样本的照射来检测从样本传播的辐射，并响应于检测到的辐射产生输出。 检测到的辐射包括太赫兹范围内的辐射。 另外，该系统包括配置成使用该输出来确定样本的一个或多个特性的处理器。