公开(公告)号：WO03040882A3

公开(公告)日：2003-09-12

申请号：PCT/US0235415

申请日：2002-11-05

申请人： ADVANCED TECH MATERIALS ,  LURCOTT STEVEN M ,  TOM GLENN M ,  DUBOIS RAY ,  DIETZ JAMES A ,  ZITZMANN OLIVER A

发明人： LURCOTT STEVEN M ,  TOM GLENN M ,  DUBOIS RAY ,  DIETZ JAMES A ,  ZITZMANN OLIVER A

IPC分类号： G05B23/02 ,  G06F19/00 ,  G06F11/30

CPC分类号： G05B21/02 ,  G05B2219/13 ,  G05B2219/25204 ,  G05B2219/31457 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/86

摘要： A method and apparatus (400) are provided for remotely configuring, operating and monitoring equipment (320, 330) in a manufacturing facility. An interface (230) is provided that allows a remote user to establish a connection with desired equipment (320, 330) in order to configure, operate or monitor the equipment (320,330). The disclosed interface (230) performs any required translation between the diverse equipment (320, 330) and protocols of different equipment manufacturers. A web-based connection to remote equipment allows a variety of diverse equipment systems to be accessed and controlled in a uniform manner. Historical data can be analyzed following a failure using pattern recognition techniques to identify data patterns that suggest an imminent failure.

摘要翻译： 提供了一种方法和装置（400），用于在制造设施中远程配置，操作和监视设备（320,330）。 提供了一种接口（230），其允许远程用户与所需设备（320,330）建立连接，以便配置，操作或监视设备（320,330）。 公开的接口（230）执行不同设备（320,330）和不同设备制造商的协议之间的任何所需的转换。 与远程设备的基于Web的连接允许以统一的方式访问和控制各种各样的设备系统。 历史数据可以在故障之后使用模式识别技术进行分析，以识别提示即将发生故障的数据模式。

公开(公告)号：WO2003040882A2

公开(公告)日：2003-05-15

申请号：PCT/US2002/035415

申请日：2002-11-05

申请人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. ,  LURCOTT, Steven, M. ,  TOM, Glenn, M. ,  DUBOIS, Ray ,  DIETZ, James, A. ,  ZITZMANN, Oliver, A.

发明人： LURCOTT, Steven, M. ,  TOM, Glenn, M. ,  DUBOIS, Ray ,  DIETZ, James, A. ,  ZITZMANN, Oliver, A.

IPC分类号： G06F

CPC分类号： G05B21/02 ,  G05B2219/13 ,  G05B2219/25204 ,  G05B2219/31457 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/86

摘要： A method and apparatus are provided for remotely configuring, operating and monitoring equipment in a manufacturing facility. An interface is provided that allows a remote user to establish a connection with desired equipment in order to configure, operate or monitor the equipment. The disclosed interface performs any required translation between the diverse equipment and protocols of different equipment manufacturers. A web-based connection to remote equipment allows a variety of diverse equipment systems to be accessed and controlled in a uniform manner. Historical data can be analyzed following a failure using pattern recognition techniques to identify data patterns that suggest an imminent failure. The remote monitoring of ancillary equipment from a number of vendors in a semiconductor factory allows a multipoint failure to be analyzed and a root cause to be identified.

摘要翻译： 提供了用于在制造设施中远程配置，操作和监视设备的方法和装置。 提供了一个接口，允许远程用户建立与所需设备的连接，以配置，操作或监视设备。 所公开的接口在不同设备制造商的不同设备和协议之间执行任何所需的转换。 与远程设备的基于Web的连接允许以统一的方式访问和控制各种各样的设备系统。 历史数据可以在故障之后使用模式识别技术进行分析，以识别提示即将发生故障的数据模式。 半导体工厂的多家供应商对辅助设备的远程监控允许对多点故障进行分析，并确定根本原因。