Abstract:
Gegenstand der Erfindung ist ein Positionssensor (1), vorzugsweise ein Winkelsensor zur Erfassung des Drehwinkels einer Welle, bestehend aus einem Leadframe (4) auf dem die elektronischen Bauteile des Positionssensors (1) angeordnet und mit diesem elektrisch verbunden sind, einer Umspritzung (5) aus einem Kunststoff, wobei die Umspritzung (5) zumindest die elektronischen Bauteile umschließt und so mit dem Leadframe (4) ein Sensormodul (2) bildet, mehreren elektrischen Anschlüssen (12-15) des Sensormoduls (2), welche durch das Leadframe (4) gebildet sind und einem Trägermodul (3), welches das Sensormodul (2) aufnimmt, wobei das Trägermodul (3) elektrische Anschlüsse (17-20) besitzt, die mit den elektrischen Anschlüssen (12-15) des Sensormoduls (2) elektrisch leitend verbunden sind. Das Trägermodul (3) besitzt mindestens zwei Dome (22, 22',) zwischen denen das Sensormodul (2) angeordnet ist, und dass das jeweils freie Ende der Dome (22, 22') derart verformt ist, dass das Sensormodul (2) in seiner Position geklemmt ist.
Abstract:
Ein Signalaufbereiter (100) zum Verarbeiten eines Empfangssignals (112) mit einem ersten Nutzfrequenzband (162) und einem zweiten Nutzfrequenzband (164) umfasst einen ersten Mischer (110) zum Mischen des Empfangssignals mit einem ersten Lokaloszillatorsignal (114), wobei eine Frequenz des ersten Lokaloszillatorsignals unsymmetrisch zwischen dem ersten Nutzfrequenzband und dem zweiten Nutzfrequenzband liegt. Der erste Mischer ist ausgelegt, um ein Inphase-Signal (120) und ein Quadratur-Signal (122) zu erhalten, die einen ersten Signalanteil (172) aufweisen, der ein gemischtes Abbild des ersten Nutzfrequenzbands darstellt, und die einen zweiten Signalanteil (174) aufweisen, der ein gemischtes Abbild des zweiten Nutzfrequenzbands darstellt. Der Signalaufbereiter umfasst einen zweiten Mischer (130) zum Mischen des Inphase-Signals und des Quadratur-Signals unter Verwendung des zweiten Lokaloszillatorsignals (132). Eine Frequenz des zweiten Lokaloszillatorsignals ist so gewählt, dass das gemischte Abbild (173) des ersten Nutzfrequenzbands und das gemischte Abbild (174) des zweiten Nutzfrequenzbands bezüglich des zweiten Lokaloszillatorsignals zumindest teilweise Spiegelbänder zueinander sind. Der zweite Mischer ist ausgelegt, um an seinem Ausgang Informationsinhalte des ersten Nutzfrequenzbands und des zweiten Nutzfrequenzbands getrennt bereitzustellen, um ein erstes Ausgangssignal (140) zu erhalten, das im Wesentlichen einen Informationsinhalt des ersten Nutzfrequenzbands umfasst, und um ein zweites Ausgangssignal (142) zu erhalten, das im Wesentlichen einen Informationsinhalt des zweiten Nutzfrequenzbands umfasst.
Abstract:
Eine Drosselklappen-Verstellvorrichtung besitzt ein Gehäuse (12) mit einer Lagerung für eine Drosselklappenwelle (20) und einem Drosselklappenstutzen (26), in welchem eine Drosselklappe (24) verschwenkbar ist , die auf der in einem Wellendurchtritt (44) in den Stutzen (26) mündende Drosselklappenwelle (26) sitzt. Um die Leckluft zu vermindern, wird vorgeschlagen, dass der Umfang (34) der Drosselklappe (24) mit Abstand zu einem Durchtritt (44) der Drosselklappenwelle (20) in dem Drosselklappenstutzen (26) liegt.
Abstract:
Die Teileinheit besteht aus einer Drosselklappenwelle (1) aus Metall und einer Drosselklappe (2) aus Kunststoff, wobei die Drosselklappenwelle (1) mittig durch die Drosselklappe (2) hindurchführend angeordnet ist und wobei der maximale spitze Winkel α zwischen der Längsachse der Drosselklappenwelle (1) und einer weiteren Längsachse der Drosselklappe (2) zwischen 5° und 25° beträgt.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für ein Laufrad einer Turbomaschine mit - einem Strömungskanal, welcher von einer Gehäusewand umgeben ist, - einer Ventilklappe, durch welche eine Strömungsöffnung in der Gehäusewand wahlweise verschließbar oder freigebbar ist, - einer Welle, welche mit der Ventilklappe verbunden ist, wobei - die Welle durch eine Öffnung in der Gehäusewand nach außerhalb des Strömungskanals geführt ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung eine Öffnungsweite aufweist, welche größer als der größte Durchmesser der kleinsten Projektionsfläche der Ventilklappe und des im montierten Zustand in den Strömungskanal ragenden Teils der Welle ist, und dass die Öffnung im montiertem Zustand mit einem Deckel, durch welchen die Welle verläuft, verschlossen ist.
Abstract:
An optical assembly serves the purpose of being mounted in a projection exposure apparatus (101) for EUV microlithography and comprises at least one vacuum chamber (70, 71, 68a), at least one optical element (6, 7; 65, 66; 63) arranged in the vacuum chamber (70, 71, 68a), the optical element (6, 7; 65, 66; 63) having an optical surface (18) which may be impinged upon by a useful beam bundle (3) of the projection exposure apparatus (101), and a cleaning device (72) for cleaning the optical surface (18). The cleaning device (72) is configured to perform particle cleaning of the optical surface (18) at a gas pressure within the vacuum chamber (70,71, 68a) which is higher than a vacuum pressure (p0) for performing an exposure operation with the projection exposure apparatus (101). The result is an optical assembly capable of providing optical elements having an optical surface which may be impinged upon by a useful beam bundle which can be cleaned reliably from foreign particles.
Abstract:
Ein Empfänger zum Empfangen eines ersten Nutzfrequenzbandes und eines zweiten Nutzfrequenzbandes, umfasst eine Bandpassfiltereinrichtung zur Filterung eines oder mehrerer Empfangssignale, wobei die Bandpassf iltereinrichtung ausgebildet ist, um ein Kombinationssignal, oder um ein erstes Bandpassfiltersignal, das das erste Nutzfrequenz aufweist, und ein zweites Bandpassfiltersignal, das das zweite Nutzfrequenzband aufweist, zu liefern. Der Empfänger umfasst ferner eine Mischereinrichtung zum Umsetzen des Kombinationssignals oder des ersten Bandpassfiltersignals und des zweiten Bandpassfiltersignals mit einem Lokaloszillatorsignal, dessen Frequenz so gewählt ist, das das erste Nutzfrequenzband und das zweite Nutzfrequenzband bezüglich der Frequenz des Lokaloszillatorsignals zumindest teilweise Spiegelbänder zueinander sind, um ein erstes Zwischenfrequenzsignal und ein zweites Zwischenfrequenzsignal zu erhalten. Weiterhin weist der Empfänger eine Zwischenfrequenzfiltereinrichtung zum Filtern des ersten Zwischenfrequenzsignals und des zweiten Zwischenfrequenzsignals auf. Der Empfänger umfasst ferner eine Analog/Digital-Wandlereinrichtung zum Analog/Digital-Wandeln des ersten gefilterten Zwischenfrequenzsignals und des zweiten gefilterten Zwischenfrequenzsignals unter Verwendung einer einzigen Abtastfrequenz.
Abstract:
Eine elektronische Einrichtung (10) besitzt eine Abschirmung (12) gegen hochfrequente elektromagnetische Felder, wobei die Abschirmung durch eine wenigstens teilweise leitfähige Kappe (12) gebildet ist. Um die Ausbildung einer definierten leitfähigen Verbindung zwischen der Kappe (12) und einem Bezugspotential zu vermeiden, wird vorgeschlagen, leitfähige flächige Bereiche (30) der Kappe (12) elektrisch isoliert in geringem Abstand parallel zu wenigstens einem flächigen Bereich (42) eines Leiters (22) eines Bezugspotentials anzuordnen. Die flächigen Bereiche wirken als Kondensator und es entsteht eine kapazitive Kopplung (12) an das Bezugspotential, die hochfrequente elektromagnetische Störfelder beseitigt oder dämpft, die in die elektronische Einrichtung einstrahlen oder von dieser abgestrahlt werden.
Abstract:
Die Erfindung ermöglicht die kostengünstige Herstellung von korrosionsgeschützten Stahlblechen mit für bestimmte Anwendungszwecke guten Gebrauchseigenschaften. Zu diesem Zweck wird bei einem Verfahren zum Herstellen von korrosionsgeschützten Stahlflachprodukten, - auf ein Stahlflachprodukt eine zinkhaltige Überzugsschicht durch elektrolytische Abscheidung aufgebracht, das Stahlflachprodukt erforderlichenfalls mechanisch und/oder chemisch fertiggereinigt, - unmittelbar auf die fertiggereinigte zinkhaltige Überzugsschicht mittels Dampfphasenabscheidung eine zweite magnesiumbasierte Überzugsschicht aufgebracht und - unter Normalatmosphäre nach dem Aufbringen der zweiten Überzugsschicht eine thermische Nachbehandlung des beschichteten Stahlflachprodukts zur Ausbildung einer Diffusions- oder Konvektionsschicht zwischen der zinkhaltigen und der magnesiumbasierten Überzugsschicht bei einer Behandlungstemperatur durchgeführt, die 320 °C bis 335 °C beträgt.
Abstract:
Um eine schonendere Reinigung von optischen Komponenten (35) innerhalb einer EUV- Lithographievorrichtung zu erlauben, wird ein Reinigungsmodul für eine EUV- Lithographievorrichtung mit einer Zuleitung für molekularen Wasserstoff und einem Heizdraht zur Herstellung von atomarem Wasserstoff und Wasserstoffionen zu Reinigungszwecken vorgeschlagen, bei dem in Strömungsrichtung des Wasserstoffs (31, 32) hinter dem Heizdraht (29) Mittel (33) zum Anlegen eines elektrischen und/oder magnetischen Feldes angeordnet sind. Die Mittel können als Umlenkeinheit sowie als Filtereinheit und/oder Beschleunigungseinheit für den Ionenstrahl (32) ausgebildet sein.