公开(公告)号：WO2006127886A3

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：PCT/US2006020215

申请日：2006-05-25

Applicant: CYMER INC ,  ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH ,  DAS PALASH P ,  HOFFMANN THOMAS ,  SANDSTROM RICHARD L ,  BOUCKY OTTO ,  STUMPP ERNST ,  MATZKOVITS BERTHOLD ,  HOELL MICHAEL ,  WALTHER JOERG ,  BRENNER KURT ,  GRUPP GUENTER

Inventor： DAS PALASH P ,  HOFFMANN THOMAS ,  SANDSTROM RICHARD L ,  BOUCKY OTTO ,  STUMPP ERNST ,  MATZKOVITS BERTHOLD ,  HOELL MICHAEL ,  WALTHER JOERG ,  BRENNER KURT ,  GRUPP GUENTER

IPC: G01B11/14

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0066 ,  B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/083 ,  B23K37/0408 ,  B23K37/047 ,  B23K2201/18 ,  B23K2201/38 ,  B23K2203/56 ,  C30B13/22 ,  C30B29/06 ,  G01B21/00 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70583 ,  H01L27/1296

Abstract: Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.

Abstract translation: 公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。 在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。 在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

公开(公告)号：WO2008113453A1

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：PCT/EP2008/001370

申请日：2008-02-21

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS, Berthold ,  WALTHER, Joerg ,  BROGHAMMER, Heinz ,  WIEDMANN, Wolfgang

Inventor： MATZKOVITS, Berthold ,  WALTHER, Joerg ,  BROGHAMMER, Heinz ,  WIEDMANN, Wolfgang

IPC: F16C29/00 ,  B23Q1/01 ,  G01B5/008 ,  G01B5/00

CPC classification number: F16C29/005 ,  B23Q1/015 ,  F16C29/004 ,  F16C2322/39 ,  G01B5/0009 ,  G01B5/008

Abstract: Eine Maschine zum Vermessen oder Bearbeiten von Werkstücken, insbesondere ein Koordinatenmessgerät, besitzt ein Maschinengestell mit einem Maschinenkopf, der relativ zu einem Werkstück verfahrbar ist. Das Maschinengestell besitzt zumindest einen Trägerkörper mit einer metallischen Leichtbau-Hohlstruktur (24'). An dem Trägerkörper ist zumindest eine Führungsschiene (64) für einen relativ dazu beweglichen Schlitten angeordnet. Gemäß einem Aspekt der Erfindung weist der Träger körper eine Anlagefläche (51) auf, an der die Führungsschiene (64) befestigt ist, wobei die Anlagefläche (51) aus einem ausgehärteten Vergussmaterial (50) hergestellt ist.

Abstract translation: 一种机器，用于测量或加工工件，特别是坐标测量机，具有带机头，这是相对于工件移动的机架。 机架具有至少一个支承体用金属轻质中空结构（24“）。 导轨（64），用于滑动可与其相对移动设置在至少在支撑体。 根据本发明的一个方面，承载体，其固定于所述导轨（64），其中，所述邻接表面（51）是由固化的灌封材料（50）的一个接触表面（51）。

公开(公告)号：WO2006127886A2

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：PCT/US2006/020215

申请日：2006-05-25

Applicant: CYMER, INC. ,  CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  DAS, Palash, P. ,  HOFFMANN, Thomas ,  SANDSTROM, Richard, L. ,  BOUCKY, Otto ,  STUMPP, Ernst ,  MATZKOVITS, Berthold ,  HOELL, Michael ,  WALTHER, Joerg ,  BRENNER, Kurt ,  GRUPP, Guenter

Inventor： DAS, Palash, P. ,  HOFFMANN, Thomas ,  SANDSTROM, Richard, L. ,  BOUCKY, Otto ,  STUMPP, Ernst ,  MATZKOVITS, Berthold ,  HOELL, Michael ,  WALTHER, Joerg ,  BRENNER, Kurt ,  GRUPP, Guenter

IPC: G01B11/00

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0066 ,  B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/083 ,  B23K37/0408 ,  B23K37/047 ,  B23K2201/18 ,  B23K2201/38 ,  B23K2203/56 ,  C30B13/22 ,  C30B29/06 ,  G01B21/00 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70583 ,  H01L27/1296

Abstract: Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.

Abstract translation: 公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。 在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。 在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

公开(公告)号：WO2013017171A1

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：PCT/EP2011/063384

申请日：2011-08-03

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS, Berthold

Inventor： MATZKOVITS, Berthold

IPC: G01B5/00 ,  G01B5/008

CPC classification number: G01B5/008 ,  G01B5/0014

Abstract: Es wird ein Koordinatenmessgerät zur Vermessung eines Werkstückes (25) vorgestellt, das folgendes umfasst: a) einen Sensor (8) zur Erfassung der Werkstückoberfläche des Werkstückes (25) b) eine Mechanik (24) zum Verfahren des Sensors (8) relativ zum Werkstück (25) in einer oder mehreren Koordinatenrichtungen (x, y, z), wobei die Mechanik folgendes umfasst: b-a) eines steifen Rahmen (45), der folgendes umfasst: - einen ersten horizontalen Längsträger (1a) mit einer ersten horizontalen Führung - einen zweiten horizontalen Längsträger (1b) mit einer zweiten horizontalen Führung, die parallel und beabstandet zur ersten horizontalen Führung ausgerichtet ist - wenigstens eins erste vertikale Stütze (2a) und eine zweite vertikale Stütze (2c), wobei mit dem oberen Ende der ersten vertikalen Stütze (2a) und mit dem oberen Ende der zweiten vertikalen Stütze (2c) der erste horizontale Längsträger (la) steif verbunden ist - wenigstens eine dritte vertikale Stütze (2b) und eine vierte vertikale Stütze (2d), wobei mit dem oberen Ende der dritten vertikalen Stütze (2b) und mit dem oberen Ende der vierten vertikalen Stütze (2d) der zweite horizontale Längsträger (1b) steif verbunden ist - einen ersten Querträger (3a), der quer zur Längsrichtung des ersten Längsträgers (la) und des zweiten Längsträgers (1b) ausgerichtet ist und mit wird ein Koordinatenmessgerät zur Vermessung eines Werkstückes (25) vorgestellt, das folgendes umfasst: a) einen Sensor (8) zur Erfassung der Werkstückoberfläche des Werkstückes (25) b) eine Mechanik (24) zum Verfahren des Sensors (8) relativ zum Werkstück (25) in einer oder mehreren Koordinatenrichtungen (x, y, z), wobei die Mechanik folgendes umfasst: h~a) eines steifen Rahmen (45), der folgendes umfasst: - einen ersten horizontalen Längsträger (la) mit einer ersten horizontalen Führung - einen zweiten horizontalen Längsträger (1b) mit einer zweiten horizontalen Führung, die parallel und beabstandet zur ersten horizontalen Führung ausgerichtet ist - wenigstens eins erste vertikale Stütze (2a) und eine zweite vertikale Stütze (2c), wobei mit dem oberen Ende der ersten vertikalen Stütze (2a) und mit dem oberen Ende der zweiten vertikalen Stütze (2c) der erste horizontale Längsträger (1a) steif verbunden ist - wenigstens eine dritte vertikale Stütze (2b) und eine vierte vertikale Stütze (2d), wobei mit dem oberen Ende der dritten vertikalen Stütze (2b) und mit dem oberen Ende der vierten vertikalen Stütze (2d) der zweite horizontale Längsträger (1b) steif verbunden ist - einen ersten Querträger (3a), der quer zur Längsrichtung des ersten Längsträgers (la) und des zweiten Längsträgers (1b) ausgerichtet ist und mit dem das untere Ende der ersten Stütze (2a) und das untere Ende der dritten Stütze steif (2b) verbunden ist - einen zweiten Querträger (3b), der quer zur Längsrichtung des ersten Längsträgers (1a) und des zweiten Längsträgers (1b) ausgerichtet ist und mit dem das untere Ende der zweiten Stütze (2c) und das untere Ende der vierten Stütze (2d) steif verbunden ist b-b) eine Lagerung, über die der erste Querträger (3a) des Rahmens und der zweite Querträger (3b) des Rahmens gelagert ist b-c) einen ersten Messschlitten (5) zum Verfahren des Sensors (8) in einer ersten horizontalen Koordinatenrichtung der entlang der ersten horizontalen Führung (26a) und der zweiten horizontalen Führung (26b) geführt ist.

Abstract translation: 本发明提供一种坐标测量机，用于测量的工件（25）包括：a）一个传感器（8）用于感测所述工件（25）的工件表面，b）中的机构（24），用于所述传感器（8）相对移动到所述工件 （25）在一个或多个坐标方向（X，Y，Z），其中，所述机构包括：BA）的刚性框架（45），包括： - 具有第一水平导向的第一水平纵向构件（1A） - 一 （1B），其具有第二水平导板，它从所述第一水平导向隔开平行地排列和第二水平纵向构件 - 至少一个第一垂直支撑件（2a）和一个第二垂直支撑件（2c）中，其中（与所述第一垂直支撑件的上端 （2a）和与所述第二垂直直立（2c）的第一水平纵梁Ia）的刚性地连接到的上端 - 至少一个第三垂直支撑（2b）和一个 第四垂直支撑（2D），其中所述第三垂直支承件的上端部（2b）和具有第二水平纵向件（1b）中刚性地连接到的第四垂直支承件（2d）的上端 - 第一横向构件（3a）的 横向于所述第一纵向件（Ia）和第二纵向构件的纵向方向（1b）中与坐标测量机对准用于测量工件（25）被呈现，其包括：a）一个传感器（8）用于感测工件的工件表面（ 25）b）中用于在一个所述传感器（8）（相对移动工件25）或更多个坐标方向（X，Y，Z），其中，所述机构包括一机构（24）：H〜A）的刚性框架（45 （1b）中具有第二水平导向和间隔开的平行于所述第一第二水平纵向构件 - 一第一水平纵梁（LA）与第一水平导向 - ：），包括 对准水平引导 - 至少一个第一垂直支撑件（2a）和一个第二垂直支撑件（2c）中，其中，所述第一竖直立柱（2a）的上端部，并与第二垂直直立（2c）中的第一水平纵向梁的上端 （1A）被刚性地连接到： - 至少一第三垂直支撑（2b）和第四竖向梁（2D），其中所述第三垂直支承件的上端部（2b）和与所述第二的第四垂直支承件（2d）的上端 水平纵向梁（1b）的刚性地连接到： - 第一横向构件（3a）的横向于所述第一纵向件（Ia）和第二纵向构件的纵向方向（1b）的与所述第一支撑件的下端（2a）和下侧对准 刚性地（图2b）被连接到所述第三支撑的端部 - 的第二横向构件（3b）的横向于所述第一纵向件（1a）和所述第二纵向构件的纵向方向（1b）的与所述对齐 所述第二支撑部（2c）的下端和第四支撑件（2D）的下端刚性地连接BB）被安装在轴承上的框架（第一横向构件3a）和所述第二横向构件（3b）的所述框架的bc） 的第一测量滑架（5），用于在第一水平移动所述传感器（8）沿着第一水平导轨（26a）的坐标方向和第二水平引导（26B）中被引导。

公开(公告)号：WO2011131479A1

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：PCT/EP2011/055281

申请日：2011-04-05

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Roland ,  GAUS, Martin ,  MEZGER, Christoph

Inventor： MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Roland ,  GAUS, Martin ,  MEZGER, Christoph

IPC: G01B5/008 ,  G01B21/04

CPC classification number: G01B11/03 ,  G01B5/0009 ,  G01B5/008

Abstract: Es wird ein Koordinatenmessgerät vorgestellt, das einen langgestreckten Schlitten (4) umfasst, der relativ zu einem Lagerbauteil (3) beweglich geführt ist und mit einem Antrieb in seiner Bewegungsrichtung verfahren werden kann, wobei der Antrieb ein gespanntes Band (5) umfasst, das mit seinem einen Ende in einem ersten Endbereich des langgestreckten Schlittens befestigt ist und mit seinem anderen Ende im zweiten, gegenüberliegenden Endbereich des langgestreckten Schlittens befestigt ist, wobei am Lagerbauteil (3) ein Antriebsmotor (6) befestigt ist, der das Band (5) bewegt. Um zu Vermeiden, dass durch die Zugkraft des gespannten Bandes ein Drehmoment in den langgestreckten Schlitten eingeleitet wird, das zu Verbiegungen des langgestreckten Schlittens (4) führt, wird vorgeschlagen im ersten oder im zweiten Endbereich des langgestreckten Schlittens einen drehbeweglich am langgestreckten Schlitten gelagerten, wippenartigen Quersteg (10) vorzusehen, an dessen einen Wippenarm (22) das Band (5) befestigt ist und an dessen anderen Wippenarm (23) eine Gegenspannvorrichtung (13) befestigt ist, die wiederum mit ihrem anderen Ende am jeweils gegenüberliegenden Endbereich des langgestreckten Schlittens (4) befestigt ist und die ein zum durch das Band verursachten Drehmoment auf den langgestreckten Schlitten auf der dem Band abgewandten Seite des langgestreckten Schlittens ein Gegendrehmoment verursacht.

Abstract translation: 它是一个坐标测量机呈现其伸长的滑动件（4），其相对于轴承部件（3）可移动，并且可以与在其运动方向上的驱动器，其中所述驱动器包括应变带移动（5）设置有引导 其一端固定在所述细长滑动件的第一端部和被紧固在细长滑动件的第二，相对的端部区域的另一端，其中，所述轴承构件（3），驱动马达（6）被安装，其移动所述带（5）。 为了避免该转矩被引入到由所述拉紧带的拉力，这导致所述细长滑动件（4）的弯曲的细长的滑动，它在所述第一或所述细长的所述第二端部区域，提出滑动的可旋转地安装在所述细长滑动，摇臂状 横向腹板，以提供（10），所述一个摇臂（22）的皮带（5）安装，而在另一摇臂（23）的反向夹紧装置（13）是固定的，这反过来（其另一端插入细长滑动的相对的端部区域 4）是固定的，在细长滑动的铰链侧相对的一侧使得引起在细长滑动一反转矩的转矩的胶带。

公开(公告)号：WO2012041685A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：PCT/EP2011/065727

申请日：2011-09-12

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Roland ,  VÖHRINGER, Hartwig

Inventor： MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Roland ,  VÖHRINGER, Hartwig

IPC: G01B21/04 ,  E04D11/00

CPC classification number: G01B21/047 ,  G01B5/008

Abstract: Es wird eine begehbare Abdeckung (8) für ein Koordinatenmessgerät (1) vorgestellt, die folgendes umfasst: a) ein langgestrecktes Blechprofil (18), das eine Oberseite und eine Unterseite aufweist b) auf der Unterseite des Blechprofils (18) ist zumindest in jeder der vier Ecken ein höhenverstellbarer Fuß (19a, 19b, 19c, 19d) befestigt, über den das Blechprofil (18) auf dem darunter liegenden Boden (12) gelagert werden kann c) wenigstens ein Spannelement (20), über das das Blechprofil (18) gegen den darunter liegenden Boden (12) spannbar ist d) eine begehbare Abdeckplatte (9), die auf der Oberseite des Blechprofils über eine lösbare Befestigung (29) befestigt ist.

Abstract translation: 本发明提供一种步行式盖（8），用于坐标测量机（1），包括：a）一个细长的金属片结构（18），它是在片材金属型材（18）的下侧上的顶部和具有b。底部）至少在每个 的高度可调脚的四个角连接（19A，19B，19C，19D），通过该于底层地板（12）的金属板型材（18）可以被存储c）至少一个夹持元件（20），经由该金属板型材（18 ）针对基础地面（12）可以通过可释放的附接被拉紧D）步入式的金属板型材的顶盖板（9）（29）附连。

公开(公告)号：WO2008011970A3

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：PCT/EP2007/005992

申请日：2007-07-06

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Kurt

Inventor： MATZKOVITS, Berthold ,  BRENNER, Kurt

IPC: B23Q1/36 ,  F16C11/12 ,  G01B5/00 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Werkstückauflage (27) für eine Maschine mit: einen Werkstücktisch (4) mit einer Auflagefläche (28) zur Lagerung eines Werkstückes, wenigstens drei auf einer Basis (5) aufliegende Lagerelemente (7a, 7b, 7c) zur Lagerung des Werkstücktisches (4) auf der Basis (5), wobei wenigstens eines dieser Lagerelemente längenverstellbar ausgebildet ist, um den Werkstücktisch um wenigstens eine parallel zur Auflagefläche ausgerichtete Achse kippen zu können und/oder die Lage des Werkstücktisches senkrecht zur Auflagefläche verändern zu können, Um Hystereseeffekte bei der Verstellung des Werkstücktisches zu vermeiden wird zusätzlich eine Führung vorgesehen, beispielsweise eine Blattfeder (8), die Querkräfte parallel zur Auflagefläche aufnimmt und damit eine Bewegung des Werkstücktisches in Richtungen parallel zur Auflagefläche verhindert aber eine Kippung um die wenigstens eine parallel zur Auflagefläche ausgerichtete Achse und/oder eine Bewegung des gesamten Werkstücktisches senkrecht zur Auflagefläche zulässt.

公开(公告)号：WO2008011970A2

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：PCT/EP2007005992

申请日：2007-07-06

Applicant: ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH ,  MATZKOVITS BERTHOLD ,  BRENNER KURT

Inventor： MATZKOVITS BERTHOLD ,  BRENNER KURT

IPC: B23Q1/36 ,  F16C11/12 ,  G01B5/00 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: B23Q1/36 ,  F16C29/046 ,  F16C2322/39 ,  F16M7/00

Abstract: The invention relates to a workpiece support (27) for a machine, comprising a work table (4) with a support area (28) for mounting a workpiece, and at least three bearing elements (7a, 7b, 7c) which rest upon a base (5) and are used for mounting the work table (4) on the base (5). At least one of said bearing elements is embodied in a longitudinally adjustable manner in order to be able to tilt the work table about at least one axis that extends parallel to the support area and/or modify the position of the work table perpendicular to the support area. In order to prevent hysteresis effects when the work table is adjusted, a guide, e.g. a leaf spring (8), is additionally provided which absorbs transversal forces parallel to the support area, thus preventing the work table from moving in directions that run parallel to the support area while allowing tilting about the at least one axis which extends parallel to the support area and/or allowing the entire work table to be moved perpendicular to the support area.

Abstract translation: 本发明涉及一种工件支撑件（27），用于具有机 - 具有轴承表面（28），用于底座（5）位于支承元件上支撑一个工件的至少三个工件台（4）（图7A，7B，7C）（用于安装工件台 4）的基部（5），其特征在于，这些轴承元件中的至少一个是在长度与工作表可调上至少要能对准平行倾斜于支撑面轴和/或改变所述工件台的位置垂直于支承表面，以在所述滞后效应 以避免工件台的位移，一个导向件也提供，例如板簧（8），吸收平行于接触面的横向力，因此平行于所述轴承表面，但倾斜工作台的在方向上的移动，以防止所述至少一个对准平行于支撑表面轴线和/ 或g的运动 esamten工件表允许垂直于所述支撑表面上。