公开(公告)号：WO2006127886A2

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：PCT/US2006/020215

申请日：2006-05-25

Applicant: CYMER, INC. ,  CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  DAS, Palash, P. ,  HOFFMANN, Thomas ,  SANDSTROM, Richard, L. ,  BOUCKY, Otto ,  STUMPP, Ernst ,  MATZKOVITS, Berthold ,  HOELL, Michael ,  WALTHER, Joerg ,  BRENNER, Kurt ,  GRUPP, Guenter

Inventor： DAS, Palash, P. ,  HOFFMANN, Thomas ,  SANDSTROM, Richard, L. ,  BOUCKY, Otto ,  STUMPP, Ernst ,  MATZKOVITS, Berthold ,  HOELL, Michael ,  WALTHER, Joerg ,  BRENNER, Kurt ,  GRUPP, Guenter

IPC: G01B11/00

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0066 ,  B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/083 ,  B23K37/0408 ,  B23K37/047 ,  B23K2201/18 ,  B23K2201/38 ,  B23K2203/56 ,  C30B13/22 ,  C30B29/06 ,  G01B21/00 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70583 ,  H01L27/1296

Abstract: Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.

Abstract translation: 公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。 在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。 在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

公开(公告)号：WO2011089222A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：PCT/EP2011/050832

申请日：2011-01-21

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  STUMPP, Ernst

Inventor： STUMPP, Ernst

IPC: B23Q1/38 ,  F16C29/02 ,  F16C32/06

CPC classification number: B23Q1/38

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Maschine (10) mit einem Gestellaufbau (46). An dem Gestellaufbau (46) ist ein Kopf (32) angeordnet, wobei der Gestellaufbau (46) einen Aktuator (96) und ein Luftlager (74) aufweist, um den Kopf (32) zu verfahren. Die Maschine weist weiter eine Druckluftzuführung (48) auf, die mit dem Luftlager (74) verbunden ist und einen Druckluftstrom (50) für das Luftlager (74) bereitstellt. Weiter ist eine Drossel (52) vorgesehen, die den Druckluftstrom (50) definiert. Die Maschine besitzt einen ersten Betriebszustand, in dem ein hoher Druckluftstrom (40') definiert ist und in dem der Aktuator (96) betätigt werden kann. Es ist eine Steuer- und Auswerteeinheit (40) vorgesehen, die dazu ausgebildet ist, den Aktuator (96) zu betätigen. Weiter ist ein zweiter Betriebszustand vorgesehen, in dem ein zum hohen Druckluftstrom (50') niedrigerer Druckluftstrom definiert ist. In dem zweiten Betriebszustand ist der Aktuator (96) vor einem Betätigen gesichert, wobei die Steuer- und Auswerteeinheit (40) weiter dazu ausgebildet ist, die Drossel (52) zu steuern und den Aktuator (96) im zweiten Betriebszustand vor dem Betätigen zu sichern.

Abstract translation: 本发明涉及一种机械（10），包括：框架结构（46）。 一个头（32）被布置在所述框架结构（46），其中，所述框架结构（46）包括以移动所述头部（32）的致动器（96）和一个空气轴承（74）。 该机器还包括被连接到空气轴承（74）和用于空气轴承的压缩的空气流（50）的压力气源（48）（74）提供。 此外，提供一个节流阀（52），其限定所述压缩的空气流（50）。 该机器具有其中高压空气流（40“）被定义，并且其中所述致动器（96）能够被致动的第一操作状态。 有一个控制和评估单元（40）被提供，其被配置成致动所述致动器（96）。 此外，第二操作状态被设置，其中，高压的空气流（50“）的低压空气流被定义。 在致动器（96）的第二操作状态被固定在压榨机，其中所述控制和评估单元（40）被进一步配置成控制所述节流阀（52）和在之前致动所述第二操作状态，以确保所述致动器（96）的前 ，

公开(公告)号：WO2007124828A1

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：PCT/EP2007/002853

申请日：2007-03-30

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  SCHOERG, Friedrich ,  STUMPP, Ernst ,  GRUPP, Guenter ,  RUCK, Otto

Inventor： SCHOERG, Friedrich ,  STUMPP, Ernst ,  GRUPP, Guenter ,  RUCK, Otto

IPC: G05B19/23

CPC classification number: G05B19/23 ,  G05B2219/37175 ,  G05B2219/45165

Abstract: Bei einem Verfahren zum positionsgenauen Triggern eines wahlweise aktivierbaren Maschinenteils (12), das entlang von zumindest einer Bewegungsachse (18) relativ zu einem Werkstück (22) verfahren wird, werden Ortspulse (32) mit Hilfe eines Inkrementalgebers (28) erzeugt, wobei die Anzahl der Ortspulse (32) einer Ortspulsfolge (30) repräsentativ ist für die Verfahrposition des Maschinenteils (12). Das Triggersignal (54) für das Maschinenteil (12) wird erzeugt, wenn die aktuelle Ortspulsanzahl einer definierten Pulsanzahl entspricht. Vorzugsweise findet der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl getrennt von einem übergeordneten Antriebsregelkreis (38, 46) statt. Besonders bevorzugt ist es, wenn der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl in einem Vergleicher stattfindet, der auf einer Schnittstellenkarte (48) einer Recheneinheit (36) angeordnet ist, wobei der Antriebsregelkreis mit einem Regler in Form eines Reglerprogramms (46) realisiert ist, das von dem Prozessor (38) der Recheneinheit (36) zyklisch abgearbeitet wird.

Abstract translation: 在用于位置精确触发选择性地可操作的机器部件的方法（12）沿运动（18）相对于至少一个轴线移动到与增量式编码器（28）的帮助下产生的工件（22），本地脉冲（32），其中，所述数 位置的脉冲（32）的空间的脉冲序列（30）代表的机械部件（12）的运动的位置。 如果位置脉冲的当前数量对应于定义的脉冲数目产生用于在机器零件（12）的触发信号（54）。 优选地，位置脉冲的当前数目的比较和脉冲数发生分别由较高的驱动控制电路（38，46）中所定义。 特别优选的是如果位置脉冲的当前数量和脉冲定义数目的比较发生在一个比较器，其被布置在接口卡（48）的计算单元（36），其中所述驱动控制电路与在控制器程序的形式的调节器来实现（46）上 所述计算单元（36）的处理器（38）的周期性处理。

公开(公告)号：WO2007017068A1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：PCT/EP2006/007130

申请日：2006-07-20

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  GRUPP, Guenter ,  STUMPP, Ernst ,  BOUCKY, Otto ,  WALTHER, Joerg

Inventor： GRUPP, Guenter ,  STUMPP, Ernst ,  BOUCKY, Otto ,  WALTHER, Joerg

IPC: B23Q35/128 ,  B23K26/04

CPC classification number: B23K37/0229 ,  B23K26/04 ,  B23Q35/128 ,  G05B2219/36199 ,  G05B2219/4719

Abstract: Ein Maschinenteil (12) wird entlang einer definierten Bewegungsbahn (28) über einer Werkstückoberfläche (23) geführt. Dabei wird das Maschinenteil (12) in einem definierten Abstand (50) zu der Werkstückoberfläche (23) gehalten. Zu diesem Zweck wird ein Abstandssensor (14) bereitgestellt, der dem Maschinenteil (12) mit einem definierten Vorlauf (18) vorauseilt. Es wird eine Vielzahl von Abstandswerten zwischen dem Abstandssensor (14) und der Werkstückoberfläche (23) bestimmt. In Abhängigkeit von den Abstandswerten wird eine Vielzahl von Stellwerten zum Einstellen des definierten Abstandes (50) bestimmt. Der definierte Abstand (50) wird mit Hilfe der Stellwerte wiederholt eingestellt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung werden die Abstandswerte entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem ersten Rasterabstand (46) bestimmt. Die Stellwerte werden entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem zweiten Rasterabstand (44) bestimmt. Der erste und der zweite Rasterabstand (46, 44) sind unterschiedlich.

Abstract translation: 的机器部件（12）沿着在工件表面（23）限定的移动路径（28）引导。 在这种情况下，在限定的距离（50），以在工件表面（23）的机械部件（12）被保持。 为了这个目的，一个距离传感器（14）前方的机器部件（12）具有限定流（18）的提供。 确定的多个距离传感器（14）和所述工件表面（23）之间的距离的值。 取决于多个操纵变量用于调整所定义的距离的距离值（50）被确定。 定义的距离（50）被重复地由控制值的装置调节。 根据本发明的一个方面，沿运动（28）的路径的距离值具有第一间距（46）被确定。 操纵值沿着移动路径（28）具有第二间距（44）来确定。 所述第一和第二间距（46，44）是不同的。

公开(公告)号：WO2006127886A3

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：PCT/US2006020215

申请日：2006-05-25

Applicant: CYMER INC ,  ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH ,  DAS PALASH P ,  HOFFMANN THOMAS ,  SANDSTROM RICHARD L ,  BOUCKY OTTO ,  STUMPP ERNST ,  MATZKOVITS BERTHOLD ,  HOELL MICHAEL ,  WALTHER JOERG ,  BRENNER KURT ,  GRUPP GUENTER

Inventor： DAS PALASH P ,  HOFFMANN THOMAS ,  SANDSTROM RICHARD L ,  BOUCKY OTTO ,  STUMPP ERNST ,  MATZKOVITS BERTHOLD ,  HOELL MICHAEL ,  WALTHER JOERG ,  BRENNER KURT ,  GRUPP GUENTER

IPC: G01B11/14

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0066 ,  B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/083 ,  B23K37/0408 ,  B23K37/047 ,  B23K2201/18 ,  B23K2201/38 ,  B23K2203/56 ,  C30B13/22 ,  C30B29/06 ,  G01B21/00 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70583 ,  H01L27/1296

Abstract: Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.

Abstract translation: 公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。 在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。 在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

公开(公告)号：WO2008113511A1

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：PCT/EP2008/002024

申请日：2008-03-11

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH ,  STUMPP, Ernst ,  RUCK, Otto ,  HITZLER, Stefan ,  ENDERLE, Eckhard ,  SCHÄFFAUER, Kai

Inventor： STUMPP, Ernst ,  RUCK, Otto ,  HITZLER, Stefan ,  ENDERLE, Eckhard ,  SCHÄFFAUER, Kai

IPC: B23Q3/155 ,  G01B21/04

CPC classification number: B23Q3/155 ,  G01B21/047

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Identifizierung eines Messobjekts (17) für eine Vermessung durch ein Koordinatenmessgerät (1 ) oder zur Identifizierung eines Halters (15) zum Halten zumindest eines Mess-Sensors (7) für ein Koordinatenmessgerät (1 ), insbesondere eines Tasters für ein tastendes Koordinatenmessgerät, wobei das Koordinatenmessgerät (1 ) einen Identifizierungskörper (19), der zusätzlich zu dem Messobjekt (17) vorhanden ist, oder einen Teil (19) des Halters (15) abtastet und aufgrund der Abtastung Abtastsignale erzeugt, die a) einer Form, b) einer Orientierung in Bezug auf andere Teile des Identifizierungskörpers oder des Halters und/oder c) einer Position in Bezug auf andere Teile des Identifizierungskörpers oder des Halters entsprechen. Die Abtastsignale und/oder daraus gewonnene Informationen einerseits sowie vorgegebene Informationen andererseits werden dazu verwendet, das Messobjekt (17) oder den Halter (15) zu identifizieren.

Abstract translation: 本发明涉及一种由一坐标测量机（1）识别测量对象（17），用于测量的或用于识别保持器（15），用于保持至少一个测量传感器的方法（7），用于坐标测量机（1），特别是用于一个按钮 暂定坐标测量机，该坐标测量机（1）的标识体（19）中，除了测量对象（17）存在时，或该保持器（15）感测的一个部分（19），并产生由于采样选通脉冲信号，其a）一个 形式，b））的对应的取向相对于所述标识主体或夹持器和/或相对于该识别体或支架的其它元件C的位置的其他部分。 的扫描信号和/或从其上一方面获得的，并且预定的其它信息的信息被用于识别测试对象（17）或所述保持器（15）。

公开(公告)号：WO2003002938A1

公开(公告)日：2003-01-09

申请号：PCT/EP2002/007011

申请日：2002-06-24

Applicant: CARL ZEISS ,  CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS ,  STUMPP, Ernst

Inventor： STUMPP, Ernst

IPC: G01B21/04

CPC classification number: B25J9/1692 ,  G01B21/042 ,  G01B21/045 ,  G05B2219/37193 ,  G05B2219/39019 ,  G05B2219/39032 ,  G05B2219/39058

Abstract: Zunächst wird eine Winkelstellung eines Taststifts kalibriert. Daraus werden die Abmessungen und Positionen des Taststifts bestimmt und gespeichert. Anschliessend werden alle für die Vermessung eines Werkstücks mit dem Taststift in einem CNC-Ablauf benötigten Positionen und Winkelstellungen durch Anfahren des Werkstücks mittels Joystick-Steuerung bestimmt und in einer Liste gespeichert. Danach werden alle Winkelstellungen aus der Liste automatisch kalibriert. Dies erfolgt unter Ausnutzung der Daten der kalibrierten einen Winkelstellung zusammen mit einem geometrischen Modell des Dreh-Schwenk-Gelenks. Die erhaltenen Kalibrierdaten werden gespeichert. Daraufhin kann der für die Vermessung des Werkstücks benötigte CNC-Ablauf mit Hilfe der Liste und der ermittelten Kalibrierdaten durchgeführt werden. Dadurch werden Messungen mit Koordinatenmessgeräten mit Dreh-Schwenk-Gelenken hochgradig automatisiert.

Abstract translation: 首先，手写笔的角度位置被校准。 由此看来，尺寸和触针的位置可以被确定并存储。 随后，将所有的位置和用于测量与在一个CNC序列触笔工件所需的角度位置是通过使用操纵杆控制移动工件确定并存储在一个列表中。 在此之后，从列表中的所有角位置自动校准。 这是通过利用校准后一个角位置的数据与所述铰接接头的几何模型来完成。 所得的校正数据进行存储。 然后，对工件CNC序列的测量所需要的空间可以用列表的助剂和所确定的校准数据来进行。 这个测量结果与坐标测量机具有活动接头是高度自动化的。