公开(公告)号：WO2013091714A1

公开(公告)日：2013-06-27

申请号：PCT/EP2011/073851

申请日：2011-12-22

Applicant: EV GROUP E. THALLNER GMBH ,  WIMPLINGER, Markus ,  BURGSTALLER, Daniel ,  BURGGRAF, Jürgen ,  MITTENDORFER, Gerald

Inventor： WIMPLINGER, Markus ,  BURGSTALLER, Daniel ,  BURGGRAF, Jürgen ,  MITTENDORFER, Gerald

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L24/799 ,  B32B38/10 ,  B32B43/006 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68785 ,  H01L22/10 ,  H01L24/98 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T156/11 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978 ,  H01L2924/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine biegsame Substrathalterung (1) zur Halterung eines ersten Substrats (13) beim Lösen des ersten Substrats (13) von einem zweiten Substrat (11), wobei Lösemittel (1, 28) zum Ablösen des zweiten Substrats (11) unter Biegung des ersten Substrats (13) vorgesehen sind. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Lösen eines ersten Substrats (13) von einem zweiten Substrat (11) in einer Löserichtung (L) mit folgenden Merkmalen: - einer in Löserichtung (L) biegsamen Substrathalterung (1) zur Halterung des ersten Substrats (13), - einer Substrathalterung (18) zur Halterung des zweiten Substrats (11) und - Lösemitteln (1, 15, 15 ',16, 28) zum Ablösen des ersten Substrats (13) vom zweiten Substrat (11) unter Biegung des ersten Substrats (13). Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Lösen eines ersten Substrats von einem zweiten Substrat in einer Löserichtung (L) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: - Halterung des zweiten Substrats mit einer Substrathalterung und Halterung des ersten Substrats mit einer in Löserichtung (L) biegsamen Substrathalterung und - Ablösen des ersten Substrats vom zweiten Substrat unter Biegung des zweiten Substrats.

Abstract translation: 本发明涉及一种柔性衬底保持器（1），用于在一个第二衬底（11），其特征在于，溶剂（1，28）下面剥离所述第二衬底的第一衬底（13）的释放支撑的第一基片（13）（11） 设置在第一衬底（13）的弯曲。 此外，本发明涉及一种装置，用于释放在释放方向（L）的第二基板（11）的一个第一基片（13），其具有以下特征： - 一个在用于保持所述第一基板的释放方向（L）的柔性衬底保持器（1）（ 13）， - 一个衬底保持器（18），用于保持所述第二衬底（11），以及 - 释放装置（1，15，15”，16，28），用于根据所述第一弯曲分离第一衬底（13）（第二基板11） 基板（13）。 此外，本发明涉及与以下步骤的释放方向（L）释放从第二基板的第一基板，特别是下列序列的方法，包括： - 安装在第二衬底的衬底保持器和保持具有与第一衬底上的（在释放方向L ）柔性基片保持器和 - 通过弯曲第二基板剥离从第二衬底的第一衬底。