公开(公告)号：WO2018005154A1

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：PCT/US2017/038188

申请日：2017-06-19

Applicant: TEL NEXX, INC.

Inventor： KEIGLER, Arthur ,  FISHER, Freeman ,  GOODMAN, Daniel L.

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68721 ,  C25D7/12 ,  C25D17/001 ,  C25D17/005 ,  C25D17/08 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742

Abstract: Techniques herein provide a workpiece handling and loading apparatus for loading, unloading, and handling relatively flexible and thin substrates for transport and electrochemical deposition. Such a system assists with workpiece holder exchange between a delivery cartridge or magazine, and a workpiece holder. Embodiments include a workpiece handler configured to provide an air cushion to a given workpiece, and maneuvering to a given workpiece holder that can edge clamp the workpiece.

Abstract translation: 这里的技术提供一种用于装载，卸载和处理用于运输和电化学沉积的相对柔性和薄的基板的工件处理和装载设备。 这种系统有助于在输送盒或刀库与工件夹具之间更换工件夹具。 实施例包括工件处理器，该工件处理器被配置为向给定工件提供气垫，并且操纵到可以边缘夹紧工件的给定工件夹具。

公开(公告)号：WO2017193001A1

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：PCT/US2017/031313

申请日：2017-05-05

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC

Inventor： VELAZQUEZ, Edwin

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67155 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67751

Abstract: Embodiments of the present invention provide systems, apparatus, and methods for an improved substrate handling assembly. Embodiments include a pair of actuated arms; a pair of substrate capture tips, each capture tip formed in a different distal end of each actuated arm; an actuator coupled to a proximate end of the actuated arms and operative to actuate the actuated arms; and a hard stop positioned to prevent the actuator from closing the actuated arms more than a predefined amount so that in a closed position, the actuated arms do not contact a substrate positioned to be picked up by the substrate handing assembly. Numerous additional aspects are disclosed.

Abstract translation: 本发明的实施例提供用于改进的衬底处理组件的系统，设备和方法。 实施例包括一对致动臂; 一对衬底捕获尖端，每个捕获尖端形成在每个致动臂的不同远端中; 致动器，所述致动器联接到所述致动臂的近端并且可操作以致动所述致动臂; 以及定位成防止致动器将致动臂关闭超过预定量的硬止动件，使得在闭合位置中，致动臂不接触定位成将由基板处理组件拾取的基板。 披露了许多其他方面。

公开(公告)号：WO2017154639A1

公开(公告)日：2017-09-14

申请号：PCT/JP2017/007486

申请日：2017-02-27

Applicant: 株式会社SCREENホールディングス

Inventor： 村元　僚

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67184 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68707

Abstract: 第１搬送ロボットは、収容器に対して基板の搬入および搬出を行う。第２搬送ロボットは、第１搬送ロボットとの間で基板の受け渡しを行い、かつ第１出入口を介して第１処理部に対して基板の搬入および搬出を行う。第３搬送ロボットは、第２搬送ロボットとの間で基板の受け渡しを行い、第２出入口を介して第２処理部に対して基板の搬入および搬出を行い、第３出入口を介して第３処理部に対して基板の搬入および搬出を行う。

Abstract translation: 第一个运输机器人携带基板进出容器。 第二搬运机器人将基板交接到第一搬运机器人或从第一搬运机器人搬出，并经由第一闸门搬入搬出第一处理单元。 第三搬运机器人通过第二网关将基板交接到第二搬运机器人或从第二搬运机器人搬出，搬入搬出基板，经由第三网关进行第三处理 并将衬底运入和运出衬底。

公开(公告)号：WO2016207895A1

公开(公告)日：2016-12-29

申请号：PCT/IL2016/050674

申请日：2016-06-23

Applicant: COREFLOW LTD

Inventor： NAOR, Isaac

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68707

Abstract: A wafer transport system includes a substantially horizontal non-contact support platform for supporting a wafer substantially horizontally at a substantially fixed vertical distance from the platform. A wafer gripping device includes wafer grippers to grip a surface of the wafer that is opposite the non-contact support platform. Each of the wafer grippers is mounted on a vertically flexible holder to enable the wafer gripper to adapt to a height of the wafer above the wafer gripping device while maintaining a substantial horizontal rigidity of the vertically flexible holder so as to prevent horizontal motion of the wafer relative to the wafer gripping device.

Abstract translation: 晶片输送系统包括基本上水平的非接触支撑平台，用于基本水平地以与基座固定的垂直距离平台的方式支撑晶片。 晶片夹持装置包括用于夹紧与非接触支撑平台相对的晶片表面的晶片夹持器。 每个晶片夹持器安装在垂直柔性保持器上，以使得晶片夹持器能够适应晶片夹持装置上方的晶片的高度，同时保持垂直柔性保持器的基本水平刚度，从而防止晶片的水平运动 相对于晶片夹持装置。

公开(公告)号：WO2016194219A1

公开(公告)日：2016-12-08

申请号：PCT/JP2015/066317

申请日：2015-06-05

Applicant: 株式会社安川電機

Inventor： 勝田　信一 ,  南　孝

IPC: H01L21/677 ,  B25J19/02

CPC classification number: H01L21/67736 ,  B25J11/0095 ,  B25J15/0014 ,  B25J19/02 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: ロボットシステム１は、複数のワークＷを多段に収容したカセット３０に対してワークＷを出し入れするためのハンド２１と、ワークＷを検出するセンサ２２と、複数のワークＷが並ぶＺ軸方向及びＺ軸方向と交差するＸ軸方向において、センサ２２とカセット３０との相対的な位置を変更する移動機構１５と、第一位置にセンサ２２を配置し、Ｚ軸方向においてセンサ２２を走査させるように移動機構１５を制御し、Ｚ軸方向におけるワークＷの配置を示す第一マッピングデータを取得する第一走査制御部５１と、Ｘ軸方向において第一位置と異なる第二位置にセンサ２２を配置し、Ｚ軸方向においてセンサ２２を走査させるように移動機構１５を制御し、Ｚ軸方向におけるワークＷの配置を示す第二マッピングデータを取得する第二走査制御部５２と、第一マッピングデータ及び第二マッピングデータに基づいてワークＷの傾斜を検出する傾斜検出部５５と、を備える。

Abstract translation: 机器人系统1具有：手21，用于将工件W从其中多个工件W容纳在多个级中的盒30插入/取出工件W; 用于检测工件W的传感器22; 移动机构15，用于改变传感器22和盒30在工件W布置的Z轴方向上与Z轴方向相交的X轴方向上的相对位置; 第一扫描控制单元51，用于控制移动机构15，以便将传感器22设置在第一位置，并且在Z轴方向上扫描传感器22，并且获取指示工件W在Z中的位置的第一映射数据 方向; 第二扫描控制单元52，用于控制移动机构15，以将传感器22设置在与X轴方向上的第一位置不同的第二位置，并且在Z轴方向上扫描传感器22，并且获取 指示工件W在Z轴方向上的放置的第二映射数据; 以及用于基于第一映射数据和第二映射数据检测工件W的倾斜的倾斜检测单元55。

公开(公告)号：WO2016187075A1

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：PCT/US2016/032571

申请日：2016-05-14

Applicant: VERSELUS, LLC

Inventor： MARTIN, Christopher ,  KREGER, Troy ,  BRUMBERGER, Neil ,  HOBDEN, Philip

IPC: B25J15/00

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67766

Abstract: A paddle assembly is disclosed for holding an object during manufacture i.e., in a manufacturing environment. The paddle assembly comprises a first plate and a second plate, together forming a paddle having a longitudinal axis and defining a groove configured to engage the object on a peripheral edge thereof and seat the object along the longitudinal axis and a first pin between the first and second plates adjacent the groove, the first pin configured to align the object within the groove along the longitudinal axis.

Abstract translation: 公开了用于在制造期间保持物体的桨式组件，即在制造环境中。 桨叶组件包括第一板和第二板，一起形成具有纵向轴线的桨叶，并且限定了构造成在物体的周边边缘处接合物体的槽，并且沿着纵向轴线对准物体，并且在第一和第 邻近所述凹槽的第二板，所述第一销被配置成沿着所述纵向轴线将所述物体对准所述凹槽内。

公开(公告)号：WO2016166952A1

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：PCT/JP2016/001920

申请日：2016-04-06

Applicant: 川崎重工業株式会社

Inventor： 後藤　博彦 ,  杉山　健二

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B25J15/06 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

CPC classification number: B25J15/0061 ,  B25J15/0014 ,  B25J15/0033 ,  B25J15/0052 ,  B25J15/0616 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 　基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、複数のブレードと、ブレードどうしの基板垂線方向の間隔が可変となるように、ブレードを支持するブレード支持部と、複数のブレード支持部のうち少なくとも１つを他のブレードに対して基板垂線方向へ相対的に移動させるブレード駆動装置とを備える。ブレードの各々が、基板垂線方向の一方を向いた第１の主面と、その反対面である第２の主面と、第１の主面に基板を保持させる第１の基板保持機構と、第２の主面に基板を保持させる第２の基板保持機構とを有する。

Abstract translation: 衬底输送机器人的端部执行器设置有多个刀片，用于支撑刀片的刀片支撑部件，使得沿着衬底垂直方向的刀片间间隔变化;刀片驱动装置，用于使至少一个刀片 的叶片支撑部件相对于另一个叶片沿着基板垂直方向相对移动。 每个叶片具有沿基板垂直方向朝向一端的第一主表面，与第一主表面相反的一侧的第二主表面，用于使第一主表面保持 基板和用于使第二主表面保持基板的第二基板保持机构。

公开(公告)号：WO2016103297A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：PCT/JP2014/006475

申请日：2014-12-25

Applicant: 川崎重工業株式会社

Inventor： 中矢　敦史 ,  吉田　雅也 ,  間瀬　祥平 ,  ▲高▼橋　大樹

IPC: B25J19/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/1666 ,  B25J9/06 ,  B25J9/1664 ,  H01L21/68707

Abstract: ロボット(100)を幾何モデル(M)として表現する幾何モデル表現ステップ(S40)と、初期軌道上の所定の点に対応するロボットの仮想姿勢(Pp)を算出する仮想姿勢算出ステップ(S30)と、仮想姿勢における幾何モデルが進入禁止領域と干渉するか否かを判定する干渉判定ステップ(S50)と、干渉すると判定した場合、仮想反発力によって幾何モデルの干渉部分が進入禁止領域から動作領域に押し出された状態の姿勢を算出し、算出した姿勢を経由姿勢として決定する経由姿勢決定ステップ(S70)と、現在姿勢から経由姿勢を経由して最終姿勢に変化する場合におけるハンドの軌道を更新軌道(Tb)として決定する更新軌道決定ステップ(S80)と、最新の経由姿勢決定ステップにおいて決定された経由姿勢を初期軌道決定ステップにおける現在姿勢と仮定して初期軌道決定ステップから更新軌道決定ステップまでのステップを繰り返して実行するステップと、を含む、ロボットの障害物自動回避方法。

Abstract translation: 提供了一种用于机器人的自动阻碍避免方法，该方法包括以下：用于将机器人（100）表示为几何模型（M）的几何模型表示步骤（S40） 虚拟位置计算步骤（S30），用于计算对应于初始轨迹上的规定点的机器人的虚拟位置（Pp）; 干扰确定步骤（S50），用于确定虚拟位置中的几何模型是否妨碍了入侵禁止区域; 通过位置确定步骤（S70），用于在确定几何模型将干扰的情况下，计算其状态使得几何模型的干涉部分被从侵入禁止中推出的位置 区域通过虚拟排斥到操作区域，并且将所计算的位置确定为通过位置; 更新的轨迹确定步骤（S80），用于在通过所述通过位置之后，当所述手从当前位置改变到最终位置时，确定作为更新轨迹（Tb）的手的轨迹; 以及用于从初始轨迹确定步骤到更新轨迹确定步骤重复执行步骤的步骤，假定在最初的通过位置确定步骤中确定的直通位置是初始轨迹确定步骤中的当前位置。

公开(公告)号：WO2016043083A1

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：PCT/JP2015/075344

申请日：2015-09-07

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 近藤　圭祐

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/68707

Abstract: 　第１のピック及び第２のピックを有する搬送機構を用いて、熱処理室と該熱処理室と異なる他の室との間において基板を順次搬送する基板搬送方法であって、未処理の基板を前記第１のピックに保持し、前記熱処理室まで搬送する第１の工程と、前記熱処理室にて熱処理された処理済の基板を前記第２のピックに保持し、前記第１のピックが保持した未処理の基板を前記熱処理室に搬入する第２の工程と、前記第２のピックに保持した前記処理済の基板を前記他の室まで搬送する第３の工程と、前記他の室内の未処理の基板を前記第１のピックに保持し、前記第２のピックが保持した処理済の基板を前記他の室に搬入した後、前記第１のピック及び前記第２のピックのいずれも基板を保持していない状態にする第４の工程とを有する基板搬送方法が提供される。

Abstract translation: 提供了一种基板输送方法，其使用具有第一拾取和第二拾取的输送机构在热处理室与不同于热处理室的另一室之间顺序地输送基板，其中所述基板输送方法具有：第一保持 第一拾取器中的未处理衬底，并将衬底传送到热处理室; 第二步骤，用于保持在所述第二拾取器中在所述热处理室中进行了热处理的处理过的基板，并且将由所述第一拾取器保持的未处理基板装载到所述热处理室中; 将由第二拾取器保持的处理过的基板输送到另一个室的第三步骤; 以及第四步骤，用于将未处理的基板保持在第一拾取器中的另一个室中，将由第二拾取器保持的处理过的基板装载到另一个室中，然后将第一拾取和第二拾取都放入不保持的状态 基质。

公开(公告)号：WO2016042685A1

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：PCT/JP2015/001995

申请日：2015-04-09

Applicant: 株式会社SCREENホールディングス

Inventor： ▲桑▼原　丈二

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68764

Abstract: 　位置ずれ検出動作時に、搬送機構のハンドが基板支持部の真目標位置に移動する。基板支持部により予め設定された基準位置で支持された基板が搬送機構のハンドにより受け取られる。ハンドにより受け取られた基板とハンドとの位置関係が位置検出部により検出される。検出された位置関係に基づいて基板支持部の基準位置と真目標位置とのずれ量が取得される。取得されたずれ量が予め定められたしきい値よりも大きい場合に警報が出力される。

Abstract translation: 在本发明中，在位置偏移检测操作期间，输送机构的手移动到基板支撑部的真实目标位置。 由传送机构的手接收由基板支撑部预先设置在基准位置的基板。 通过位置检测单元检测由手接收的手与基板之间的位置关系。 基于检测到的位置关系来获取基准位置与基板支撑部的真实目标位置之间的偏移量。 如果获得的偏移量大于预先设定的阈值，则输出警告。