公开(公告)号：WO2007007544A1

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：PCT/JP2006/312790

申请日：2006-06-27

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  雨宮 貴 ,  保坂 久富

Inventor： 雨宮 貴 ,  保坂 久富

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07342 ,  G01R1/07364

Abstract: 【課題】ウェハとプローブとの接触を安定させる。 【解決手段】プローブカードは、プローブを支持するコンタクタと、コンタクタと電気的に接続されるプリント配線基板を備える。コンタクタとプリント配線基板との間には、弾性シートが介在される。弾性シートは、コンタクタの外周側よりも中央側の弾性が弱くなるように形成される。弾性シートが圧縮されたときに弾性シートからコンタクタに作用する弾性反力は、コンタクタの外周側に比べて中央部側が弱くなる。これにより、固定端から離れ最大に撓むコンタクタの中央部の撓み量が低減され、コンタクタの水平性が維持される。

Abstract translation: [问题]为了稳定探针和晶片之间的接触。 解决问题的手段探针卡包括用于支撑探针的接触器和电连接到接触器的印刷电路板。 弹性片被夹在接触器和印刷电路板之间。 弹性片被形成为使其弹性在接触器的中心比在周边上变小。 当弹性片被压缩时，从弹性片作用在接触器上的弹性反应力在接触器的中心比在周边小。 这减少了接触器中心部分的翘曲量，其中由于其远离固定端而发生最大翘曲，从而可以保持接触器的平坦度。

公开(公告)号：WO2006001476A1

公开(公告)日：2006-01-05

申请号：PCT/JP2005/011937

申请日：2005-06-29

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  雨宮 貴 ,  保坂 久富 ,  米沢 俊裕 ,  塚田 秀一

Inventor： 雨宮 貴 ,  保坂 久富 ,  米沢 俊裕 ,  塚田 秀一

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07342 ,  G01R1/07357 ,  G01R1/07371

Abstract: 　本発明は，プローブカードのコンタクタとプローブ装置内の被検査体との間の平行が崩れた場合であっても，両者を平行状態に調整して信頼性の高い検査を行うことを目的とする。 　本発明は，保持体を介してプローブ装置に装着されるプローブカードであって，コンタクタと，このコンタクタと電気的に接続される回路基板と，この回路基板を補強する補強部材と，上記コンタクタと上記プローブ装置内に配置された被検査体との平行度を調整する平行調整機構と，を有する。

Abstract translation: 即使在探针卡的接触器与检测装置中的待检查物体之间的平行度破裂的探针卡也能够通过调整成并行状态进行高度可靠的检查。 一种通过保持器固定到探针装置的探针卡，包括接触器，与接触器电连接的电路板，用于加强电路板的构件，以及用于调节接触器和待检查物体之间的平行度的机构， 探针装置。

公开(公告)号：WO2006095759A1

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：PCT/JP2006/304441

申请日：2006-03-08

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  保坂 久富

Inventor： 保坂 久富

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/07342 ,  Y10T29/49222

Abstract: 　簡単に成形でき，取付け位置や数が制限されず，なおかつ接触子の可動スペースを十分に確保できるプローブを提供する。 　プローブは，被検査体に接触させるための接触子と，当該接触子を先端部に支持した梁部とを有する。プローブの梁部の後部は，被検査体に対向配置されるコンタクタの被検査体側の面に接合される。プローブの梁部は，先端部の前記接触子が前記被検査体側に傾くように屈曲している。

Abstract translation: 可容易地形成的探针，其安装位置和数量不受限制，并且可以确保足够的接触元件的移动空间。 探针具有与待检查物体接触的接触端子和用于在梁的前端支撑接触元件的梁。 探头的梁的后部与接触器的物体侧的表面接合。 探头的光束被弯曲，使得前端的接触端子倾斜到物体侧。

公开(公告)号：WO2003062836A1

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：PCT/JP2002/012984

申请日：2002-12-11

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  保坂 久富 ,  竹腰 清

Inventor： 保坂 久富 ,  竹腰 清

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/06738 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06744 ,  G01R1/06755 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/0735 ,  G01R3/00 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49204 ,  Y10T29/49208 ,  Y10T29/49213 ,  Y10T29/49218 ,  Y10T29/49222

Abstract: A probe is disclosed, comprising a beam (4B), which has a front end (4b1), an intermediate portion (4b2) and a base end (4b3), the front end being a portion for contacting a test subject through a contactor, the base end being a portion for fixing the probe; and a substantially trapezoidal contactor (4A), which is fixed to the front end (4b1) of the beam.

Abstract translation: 公开了一种探针，其包括具有前端（4b1），中间部分（4b2）和基端（4b3）的梁（4B），前端是用于通过接触器接触测试对象的部分， 所述基端是用于固定探针的部分; 以及固定在梁的前端（4b1）上的大致梯形的接触器（4A）。

公开(公告)号：WO2005114228A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：PCT/JP2005/009439

申请日：2005-05-24

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  望月 純 ,  保坂 久富

Inventor： 望月 純 ,  保坂 久富

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07342 ,  G01R1/0458 ,  G01R1/07307 ,  G01R1/07357 ,  H05K1/0271 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/4688 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/09036

Abstract: 　積層基板やプローブカードにおいて，特殊な材料を使用することなく，熱変形を格段に抑制することを目的とする。 　本発明によれば，被検査体と電気的に接触するプローブと電気的に導通自在に接続された回路基板を少なくとも一つ有するプローブカードにおいて，回路基板は，基材層と，この基材層の少なくとも被検査体側の面に積層された表面層とを備えている。表面層は基材層より大きい熱膨張率を有し，かつ表面層を複数に分割する溝が表面層に設けられている。

Abstract translation: 在层压板和探针卡中，在不使用特殊材料的情况下，显着地抑制热变形。 探针卡设置有至少一个与探针导电连接的电路板，该探针与被检查物体电接触。 电路板设置有基材层和至少层叠在待检查对象侧的基材层表面上的表层。 表层具有比基材层更高的热膨胀系数，并且在表面层上设置有将表面层分割为多个部分的凹槽。

公开(公告)号：WO2003046976A1

公开(公告)日：2003-06-05

申请号：PCT/JP2002/012348

申请日：2002-11-27

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社 東芝 ,  イビデン株式会社 ,  竹腰 清 ,  保坂 久富 ,  萩原 順一 ,  初鹿 国彦 ,  臼井 孝公 ,  金子 尚史 ,  早坂 伸夫 ,  井戸 義幸

Inventor： 竹腰 清 ,  保坂 久富 ,  萩原 順一 ,  初鹿 国彦 ,  臼井 孝公 ,  金子 尚史 ,  早坂 伸夫 ,  井戸 義幸

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2862 ,  G01R1/0433 ,  G01R1/0491 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/286 ,  G01R31/2865 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/287 ,  G01R31/2886

Abstract: A reliability tester (10) comprises a wafer containing section (12) containing a wafer (W) in the state that electrode pads of many devices formed on the wafer are all in electrical contact with bumps of a contactor (11). This wafer containing section (12) transmits/receives test signals with a measuring section (15) and has a hermetic and heat-insulating structure. The wafer containing section (12) has a pressing mechanism (13) for pressing the contactor (11) and a heating mechanism (14) for directly heating the wafer (W) in all contact with the contactor (11) to a predetermined high temperature. Thus, this tester evaluates the reliability of a wiring film and that of an insulation film formed on the semiconductor wafer under an acceleration condition.

Abstract translation: 可靠性测试器（10）包括在晶片上形成的许多器件的电极焊盘与触头（11）的凸块电接触的状态下，包含晶片（W）的晶片容纳部分（12）。 该晶片容纳部分（12）用测量部分（15）发送/接收测试信号，并具有密封和隔热结构。 晶片容纳部分（12）具有用于按压接触器（11）的加压机构（13）和用于将与接触器（11）完全接触的晶片（W）直接加热至预定高温的加热机构（14） 。 因此，该测试器评估在加速条件下布线膜和在半导体晶片上形成的绝缘膜的可靠性。

公开(公告)号：WO2005069019A1

公开(公告)日：2005-07-28

申请号：PCT/JP2005/000657

申请日：2005-01-20

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  保坂 久富

Inventor： 保坂 久富

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07342

Abstract: 　本発明は，熱の影響を受けることなく確実にコンタクタと被検査体とを電気的に接続し，予熱時間を短縮することができ、さらにスループットを高めることを目的としている。 　本発明のプローブカードは、コンタクタと、プリント配線基板と、上記コンタクタと上記プリント配線基板の間に、これら両者を弾力的且つ電気的に接触させるインターポーザと、これらを一体化する連結部材と、この連結部材を介して一体化したプリント配線基板を補強する補強部材とを備えている。

Abstract translation: 接触器和待测对象以可靠的方式电连接而不受热影响，从而减少预热时间并增加产量。 探头防护罩有接触器; 印刷电路板; 设置在接触器和印刷电路板之间以使它们彼此弹性和电接触的插入器; 用于将连接器，板和插入件整合的连接构件; 以及加强构件，用于加强通过连接构件组合的印刷电路板。