公开(公告)号：WO2015130108A1

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：PCT/KR2015/001886

申请日：2015-02-26

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  한정민

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/45525 ,  C09D1/00 ,  C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/34 ,  C23C16/405 ,  C23C16/50 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/285

Abstract: 특정한 화학식으로 표시되는 지환족 불포화 화합물 또는 특정한 화학식으로 표시되는 방향족 화합물 1몰 내지 3몰; 및 특정 화학식으로 표시되는 사이클로펜타디에닐 지르코늄(IV)계 화합물 1몰 내지 3몰의 비율로 혼합된 것을 특징으로 하는 지르코늄 함유막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 지르코늄 함유막 형성 방법이 개시된다. 상기 조성물에서 상기 2종의 구성 화합물은 서로 반응하지 않고 액체 상태에서 서로 안정하고 균일하게 혼합된 상태로 존재하기 때문에, 상기 조성물은 마치 하나의 화합물처럼 거동하며 높은 증기압을 나타낸다. 상기 본 발명의 조성물을 사용하면 간편하게 경제적으로 고품질의 지르코니아와 같은 지르코늄 함유막을 얻을 수 있다.

Abstract translation: 公开了用于形成含锆膜的前体组合物和使用其的含锆膜的形成方法，其中组合物的特征在于由特定化学式表示的脂环族不饱和化合物或由 特殊化学式; 和由特定化学式表示的环戊二烯基锆（IV）基化合物以1-3：1-3的摩尔比混合。 在组合物中，两种组成化合物彼此稳定并且以液态彼此均匀混合，彼此不反应，因此组合物的作用就像单一化合物，并表现出高的蒸汽压力。 使用本发明的组合物可以方便且经济地获得含锆膜，如高品质氧化锆。