公开(公告)号：WO2019203531A1

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：PCT/KR2019/004568

申请日：2019-04-16

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최병익 ,  황보윤 ,  김재현 ,  윤성욱 ,  김창현 ,  김정엽 ,  김경식 ,  김상민 ,  장봉균 ,  김광섭

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/67 ,  H01L27/15

Abstract: 본 발명의 일실시예는 더 다양한 마이크로 소자에 적용할 수 있고 전사 효율을 높일 수 있는 마이크로 소자 전사방법을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사방법은 제1방향을 따라 제1속도로 타깃기판을 이송시키는 단계와, 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 타깃기판의 상부에 대향되게 배치하고 전사필름을 제1방향을 따라 공급하는 단계와, 전사필름이 타깃기판에 전사되는 마이크로 소자에서 분리된 후 상측으로 굽어져 굽힘원호를 형성하고, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 타깃기판의 상측에서 회전하는 가압롤러에 의해 가압되면서 마이크로 소자가 점착되어 공급되는 하측 전사필름에 압력이 전달되도록 하는 단계와, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 제1방향의 반대방향인 제2방향을 따라 제2속도로 이송되어 회수되는 단계를 포함하고, 제1방향을 기준으로, 굽힘원호의 제1중심은 가압롤러의 제2중심보다 전방에 형성된다.

公开(公告)号：WO2009136707A2

公开(公告)日：2009-11-12

申请号：PCT/KR2009/002309

申请日：2009-04-30

Applicant: 한국기계연구원 ,  김정엽 ,  이학주 ,  김경식

Inventor： 김정엽 ,  이학주 ,  김경식

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/06733

Abstract: 본 발명의 일측면에 따른 미세 접촉 프로브는, 복수개의 단위유닛들이 서로 이어지며 길이방향으로 적층되어 형성된 기둥부, 및 상기 기둥부의 선단에 형성되어 반도체 칩의 전극 패드와 접촉되는 선단부를 포함한다. 상기 단위유닛은, 교번하여 좌우로 굴곡되는 프로브 몸체, 및 상기 프로브 몸체로부터 돌출되면서, 폭방향 중심을 기준으로 좌우로 배치되어, 압축 시 인접한 상기 프로브 몸체에 접촉되어 상기 프로브 몸체를 지지할 수 있는 돌기를 포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的一个方面的垂直细微接触探针包括：多个单元形成的列部分，其连接在一起，在长度方向堆叠; 以及尖端部，其形成在所述柱部的前端并与半导体芯片的电极焊盘接触。 单位包括：左右交替曲线的探针体; 以及从探针体突出并且相对于宽度方向的中心位于左右的突起，并且能够通过与在压缩期间进入相邻邻接的探针体接触而支撑探针体。

公开(公告)号：WO2019125013A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/KR2018/016357

申请日：2018-12-20

Applicant: 한국기계연구원 ,  재단법인 파동에너지 극한제어 연구단

Inventor： 황보윤 ,  윤성욱 ,  김경식 ,  김재현 ,  김광섭 ,  이학주 ,  최병익 ,  박현성 ,  김정엽 ,  이승모 ,  장봉균

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/67

Abstract: 마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사장치가 개시되며, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 소자 전사방법은, 마이크로 소자의 접착부위가 제1접착면적으로 접착된 전사필름을 벤딩하여 상기 마이크로 소자의 일부분이 상기 전사필름에서 떨어지고 상기 접착부위가 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 축소되는 접착면적 축소단계 및 상기 제2접착면적을 가지는 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리되면서 타켓기판에 부착되는 부착단계를 포함한다.

公开(公告)号：WO2019045254A1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：PCT/KR2018/007712

申请日：2018-07-06

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장성환 ,  김정엽 ,  김재구 ,  유영은

IPC: B29C39/02 ,  A61M37/00 ,  A61B5/15 ,  B29C39/26 ,  B29C39/00 ,  B29L31/00

Abstract: 마이크로니들 구조체, 그 제조방법 및 그 제조장치가 소개되며, 본 발명에 일 실시예에 따른 마이크로니들 구조체의 제조방법은 a) 마이크로니들 음각을 포함하는 하부 몰드에 생체적합성 고분자를 포함하는 고분자 용액을 주입하는 단계 및 b) 돌출부를 포함하는 형상제어몰드의 상기 돌출부 일단이 상기 마이크로니들 음각에 주입된 생체적합성 고분자 용액에 함침되도록 상기 형상제어몰드를 상기 하부 몰드에 결합하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：WO2011129514A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：PCT/KR2010/009132

申请日：2010-12-21

Applicant: 한국기계연구원 ,  김정엽 ,  현승민 ,  박현성 ,  장봉균 ,  한승우

Inventor： 김정엽 ,  현승민 ,  박현성 ,  장봉균 ,  한승우

IPC: H01L33/64 ,  F21V29/00

CPC classification number: H01L33/645

Abstract: 열전냉각소자가 내장된 엘이디 패키지가 제공된다. 회로기판의 상면에는 엘이디(LED) 소자가 실장되며, 열전냉각소자는 엘이디 소자에 인접하여 회로기판의 상면에 수평되게 설치되며, 봉지재는 엘이디 소자 및 열전냉각소자의 상부에 형성될 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种其中嵌有热电冷却装置的LED封装。 LED装置安装在电路板的顶面上。 热电冷却装置安装在LED装置附近并平行于电路板的顶面。 在LED装置和热电冷却装置上形成密封剂。

公开(公告)号：WO2012033338A2

公开(公告)日：2012-03-15

申请号：PCT/KR2011/006615

申请日：2011-09-07

Applicant: 한국기계연구원 ,  이학주 ,  김정엽 ,  박준협

Inventor： 이학주 ,  김정엽 ,  박준협

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07378 ,  G01R3/00 ,  Y10T29/49126

Abstract: 프로브 카드는 패드 영역과 접촉 프로브 영역을 포함하는 복수의 단위 플레이트와, 패드 영역에 형성된 복수의 전극 패드와, 접촉 프로브 영역에 형성된 복수의 접촉 프로브와, 전극 패드와 접촉 프로브를 전기적으로 연결하는 복수의 배선층을 포함한다. 복수의 단위 플레이트는 서로 다른 크기로 형성되고, 각 단위 플레이트의 패드 영역을 모두 노출시키도록 정렬 및 적층된다.

Abstract translation: 探针卡包括多个单元板，多个单元板包括焊盘区域和接触探针区域，形成在焊盘区域中的多个电极焊盘，形成在接触探针区域中的多个接触探针， 以及多个电连接接触探针的布线层。 多个单元板形成为不同的尺寸并且被对齐和层压以暴露每个单元板的所有焊盘区域。

公开(公告)号：WO2010032905A1

公开(公告)日：2010-03-25

申请号：PCT/KR2009/000796

申请日：2009-02-19

Applicant: 한국기계연구원 ,  김정엽 ,  이학주 ,  한창수

Inventor： 김정엽 ,  이학주 ,  한창수

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06744 ,  Y10S977/742 ,  Y10T29/49155

Abstract: 본 발명은 프로브 카드(probe card)에 사용되는 미세 접촉 프로브에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 표면에 탄소 나노 튜브와 같은 나노 구조물의 코팅층을 포함하여 반도체 칩과의 접촉시 접촉저항을 감소시킨 미세 접촉 프로브가 제공된다. 표면에 나노 구조물이 코팅된 미세 접촉 프로브에 의하면, 프로브와 반도체 칩 사이의 접촉저항이 낮아지고 고주파 특성이 향상되어 더욱 정확한 측정이 가능하게 된다.

Abstract translation: 本发明涉及用于探针卡的微接触探针。 本发明的实施例提供了包括纳米结构的涂层在其表面上的诸如碳纳米管的涂层的微接触探针，以在与半导体芯片接触时降低接触电阻。 纳米结构在其表面上涂覆的微接触探针降低了探针和半导体芯片之间的接触电阻，并提高了高频波的优点。 因此，微接触探针能够进行更精确的测量。

公开(公告)号：WO2019190031A1

公开(公告)日：2019-10-03

申请号：PCT/KR2018/016991

申请日：2018-12-31

Applicant: 한국기계연구원 ,  재단법인 파동에너지 극한제어 연구단

Inventor： 황보윤 ,  김재현 ,  윤성욱 ,  김경식 ,  김창현 ,  최병익 ,  김정엽 ,  장봉균 ,  김광섭 ,  이학주

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/52 ,  H01L21/66 ,  H01L25/075

Abstract: 마이크로 소자 전사장치 및 마이크로 소자 전사방법이 개시되며, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 소자 전사장치는 마이크로 소자가 점착된 전사필름이 흡착되는 제1흡착부, 타겟기판이 안착되고 상기 제1흡착부로부터 제공되는 상기 전사필름이 흡착되는 제2흡착부, 상기 제2흡착부를 제1수평방향으로 이송시키는 이송부, 이송되는 상기 제2흡착부의 상기 전사필름을 가압하여 상기 마이크로 소자를 상기 타겟기판에 전사시키는 가압부 및 상기 제1수평방향으로의 이송경로에서 상기 가압부의 전단에 구비되고, 상기 가압부를 지나는 상기 전사필름을 상기 타겟기판으로부터 멀어지도록 안내하여 상기 전사필름을 상기 마이크로 소자로부터 분리시키는 안내부를 포함한다.

公开(公告)号：WO2017171426A1

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：PCT/KR2017/003480

申请日：2017-03-30

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장성환 ,  김정엽 ,  박현향 ,  유영은

IPC: B01L3/00

Abstract: 본 기재는 표적세포 포획용 필터장치 및 이를 이용한 표적세포 회수방법에 관한 것으로, 표적세포가 포획되는 필터 모재를 탄성 재질로 형성하고, 혈액 통과시에는 표적세포가 포획되는 필터 모재의 격자홀의 크기가 작아지게 하고, 혈액 통과 완료시에는 표적세포가 포획되는 필터 모재의 격자홀의 크기가 복원되게 함으로써, 표적세포의 파괴율을 감소시면서 회수율을 증가시킬 수 있는 표적세포 포획용 필터장치 및 이를 이용한 표적세포 회수방법인 것을 특징으로 한다.

Abstract translation:

基底材料是使用捕获过滤器装置对靶细胞针对靶细胞的回收方法，而这一点，以形成过滤器基材，其为弹性材料制成的靶细胞捕获，并且血液通行证时，有一个目标小区捕获 所述过滤器基材的网格孔尺寸变小要和血液穿过完成后，将靶细胞通过使还原的过滤器基材的格栅孔的尺寸将被捕获，这simyeonseo降低靶细胞的断裂比靶细胞，以增加捕获的回收率 一种过滤装置和使用该过滤装置的目标细胞回收方法。

公开(公告)号：WO2015005592A1

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：PCT/KR2014/005141

申请日：2014-06-12

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 유영은 ,  장성환 ,  김정엽 ,  이경호

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00

CPC classification number: B29C59/022 ,  B01L3/502707 ,  B29D35/0054

Abstract: 본 발명은 마이크로 채널의 제조장치에 관한 것으로서, 요부와 철부가 형성된 제1구조체와, 상기 요부를 마감하여 채널을 형성하는 제2구조체를 구비하는 구조체; 상기 구조체의 외면에 일정한 압력이 가해지는 공간을 형성하도록 상기 구조체를 내부에 수용하는 수용부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조체 외면의 전면적에 균일한 압력을 인가함으로써, 마이크로 채널을 제작할 수 있는 마이크로채널의 제조장치가 제공된다.

Abstract translation: 微通道的制造装置本发明涉及一种微通道的制造装置，其特征在于，包括：具有凹部和凸部的第一结构的结构以及封闭所述凹部以形成通道的第二结构。 以及容纳部，其中容纳该结构，使得在结构的外表面上形成施加恒定压力的空间。 因此，提供了一种用于制造能够通过对结构的外表面的整个区域施加均匀压力来制造微通道的微通道的装置。