公开(公告)号：WO2004068538A2

公开(公告)日：2004-08-12

申请号：PCT/JP2004000963

申请日：2004-01-30

申请人： CANON KK ,  AIBA TOSHIAKI

发明人： AIBA TOSHIAKI

IPC分类号： B25J7/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01L20060101 ,  H01L

CPC分类号： H01J37/3056 ,  B81C99/002 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/3114 ,  H01J2237/31744

摘要： A method of moving an object comprises a step of fixing the object to an object-moving means, a step of moving the object to a prescribed position by the object-moving means, and a step of releasing the object from the object-moving means; wherein the fixing step comprises forming a deposit, for fixation of the object to the object-moving means by applying a first corpuscular beam in a first gas to form a deposit; and the releasing step comprises etching the deposit by applying a second corpuscular beam in contact with a second gas.

摘要翻译： 移动物体的方法包括将物体固定到物体移动装置的步骤，通过物体移动装置将物体移动到规定位置的步骤，以及从物体移动装置释放物体的步骤 ; 其中所述固定步骤包括形成沉积物，用于通过在第一气体中施加第一粒子束以形成沉积物来将所述物体固定到所述物体移动装置; 并且释放步骤包括通过施加与第二气体接触的第二粒子束来蚀刻沉积物。

公开(公告)号：WO2013147295A3

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：PCT/JP2013059801

申请日：2013-03-26

申请人： CANON KK

发明人： SHIMADA MIKIO ,  AIBA TOSHIAKI ,  IFUKU TOSHIHIRO ,  MATSUDA TAKANORI ,  KUBOTA MAKOTO ,  FURUTA TATSUO ,  HAYASHI JUMPEI

IPC分类号： H01L41/187

CPC分类号： C04B35/49 ,  B08B7/028 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62645 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3263 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  G02B7/021 ,  G02B7/022 ,  G02B7/023 ,  G02B27/0006 ,  G03B3/10 ,  G03B2205/0061 ,  G03B2205/0084 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/001 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

摘要： Provided is a lead-free piezoelectric ceramics having enhanced mechanical quality factor (Qm) and mechanical strength. The piezoelectric ceramics, includes at least a first crystal grain and a second crystal grain. The first crystal grain has an average equivalent circle diameter of 2 μm or more and 30 μm or less. The first crystal grain includes a perovskite-type metal oxide represented by the following general formula (1) as a main component, and the second crystal grain includes a perovskite-type metal oxide represented by the following general formula (2) as a main component: (1) xBaTiO3-yCaTiO3-zCaZrO3; and (2) x'BaTiO3-y'CaTiO3-z'CaZrO3, provided that x, y, z, x', y', and z' satisfy x+y+z=1, x'+y'+z'=1, 0≤x'≤0.15, 0.85≤y'≤1, 0≤z'≤0.05, x>x', 0 0.

摘要翻译： 提供了具有增强的机械品质因数（Qm）和机械强度的无铅压电陶瓷。 压电陶瓷至少包括第一晶粒和第二晶粒。 第一晶粒的平均当量圆直径为2μm以上且30μm以下。 第一晶粒包括由以下通式（1）表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分，第二晶粒包括由以下通式（2）表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分 ：（1）xBaTiO3-yCaTiO3-zCaZrO3; 和（2）x'BaTiO3-y'CaTiO3-z'CaZrO3，条件是x，y，z，x'，y'和z'满足x + y + z = 1，x'+ y'+ z' =1,0≤x'≤0.15,0.85≤y'≤1,0≤z'≤0.05，x> x'，0 0。

公开(公告)号：WO2013147295A4

公开(公告)日：2014-07-31

申请号：PCT/JP2013059801

申请日：2013-03-26

申请人： CANON KK

发明人： SHIMADA MIKIO ,  AIBA TOSHIAKI ,  IFUKU TOSHIHIRO ,  MATSUDA TAKANORI ,  KUBOTA MAKOTO ,  FURUTA TATSUO ,  HAYASHI JUMPEI

IPC分类号： H01L41/187

CPC分类号： C04B35/49 ,  B08B7/028 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62645 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3263 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  G02B7/021 ,  G02B7/022 ,  G02B7/023 ,  G02B27/0006 ,  G03B3/10 ,  G03B2205/0061 ,  G03B2205/0084 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/001 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

摘要： Provided is a lead-free piezoelectric ceramics having enhanced mechanical quality factor (Qm) and mechanical strength. The piezoelectric ceramics, includes at least a first crystal grain and a second crystal grain. The first crystal grain has an average equivalent circle diameter of 2 μm or more and 30 μm or less. The first crystal grain includes a perovskite-type metal oxide represented by the following general formula (1) as a main component, and the second crystal grain includes a perovskite-type metal oxide represented by the following general formula (2) as a main component: (1) xBaTiO3-yCaTiO3-zCaZrO3; and (2) x'BaTiO3-y'CaTiO3-z'CaZrO3, provided that x, y, z, x', y', and z' satisfy x+y+z=1, x'+y'+z'=1, 0≤x'≤0.15, 0.85≤y'≤1, 0≤z'≤0.05, x>x', 0 0.

摘要翻译： 提供了具有增强的机械品质因数（Qm）和机械强度的无铅压电陶瓷。 压电陶瓷至少包括第一晶粒和第二晶粒。 第一晶粒的平均当量圆直径为2μm以上且30μm以下。 第一晶粒含有下述通式（1）所示的钙钛矿型金属氧化物作为主成分，第二晶粒含有下述通式（2）所示的钙钛矿型金属氧化物作为主成分 ：（1）xBaTiO3-yCaTiO3-zCaZrO3; 和（2）x'BaTiO3-y'CaTiO3-z'CaZrO3，条件是x，y，z，x'，y'和z'满足x + y + z = 1，x'+ y'+ z' =1,0≤x'≤0.15,0.85≤y'≤1,0≤z'≤0.05，x> x'，0 0。