公开(公告)号：WO2009106305A2

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：PCT/EP2009/001326

申请日：2009-02-25

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  CHUNG, Hin Yiu Anthony ,  NASER, Jürgen

Inventor： CHUNG, Hin Yiu Anthony ,  NASER, Jürgen

IPC: C04B37/00

CPC classification number: C04B37/005 ,  C04B37/006 ,  C04B37/008 ,  C04B37/04 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/083 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/597 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  G03F7/70958

Abstract: The present invention relates to a method of bonding at least a first and a second component (1, 2) to form a bonded structure (6) by,,fusion bonding", comprising the steps of: a) depositing at least one layer (3, 4) preferably having a porous structure onto a surface (1 a, 2a) of at least the first, preferably of each of the components (1, 2), b) roughening of the at least one deposited layer (3, 4), c) bringing together the surface (1 a) of the first component (1 ) with a surface (2a) of the second component (2), and d) bonding of the components (1, 2) to form the bonded structure (6) by,,fusion bonding". Further the invention concerns a bonded structure (6), an optical element and a holding device for a wafer which is made of a bonded structure of this type, as well as a projection lens and a projection exposure system with an optical element of this kind.

Abstract translation: 本发明涉及一种通过熔融粘合将至少第一和第二组分（1,2）结合以形成键合结构（6）的方法，包括以下步骤：a）沉积至少一层（ 3，4）优选在至少第一，优选每个组分（1,2）的表面（1a，2a）上具有多孔结构，b）至少一个沉积层（3,4）的粗糙化 ），c）将第一组分（1）的表面（1a）与第二组分（2）的表面（2a）组合在一起，以及d）组分（1,2）的粘合以形成键合结构 （6）通过“熔接”。 此外，本发明涉及一种接合结构（6），由这种接合结构制成的用于晶片的光学元件和保持装置，以及具有这种类型的光学元件的投影透镜和投影曝光系统 。