公开(公告)号：WO2012113651A2

公开(公告)日：2012-08-30

申请号：PCT/EP2012/052207

申请日：2012-02-09

Applicant: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. ,  KALKOWSKI, Gerhard ,  RISSE, Stefan ,  EBERHARDT, Ramona

Inventor： KALKOWSKI, Gerhard ,  RISSE, Stefan ,  EBERHARDT, Ramona

IPC: G02B7/183 ,  B32B17/06 ,  C03B23/203 ,  G02B5/18

CPC classification number: C03B23/203 ,  B32B3/266 ,  B32B17/06 ,  C03B23/20 ,  C04B37/001 ,  C04B37/04 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/52 ,  C04B2237/62 ,  G02B5/1847 ,  G02B7/183

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Leichtbaustrukturelementen, die als Verbundbauelement mit mindestens einer Deckplatte und einem Trägerelement, die miteinander verbunden sind, hergestellt werden. Es werden ein Trägerelement, an dem mindestens eine Durchbrechung und/oder mindestens eine Aussparung ausgebildet ist, und mindestens ein weiteres Element, das eine Deckplatte ist, miteinander verbunden. Trägerelement und mindestens eine Deckplatte können aus einem Glas, einer Glaskeramik, einer Keramik und/oder Silicium mit einer oxidischen Oberflächenschicht, die zumindest im Fügebereich der miteinander zu verbindenden Elemente ausgebildet ist, gebildet sein. Das Trägerelement soll eine mindestens zweifache Dicke in Bezug zur Dicke einer Deckplatte aufweisen. Die Oberflächen der miteinander zu verbindenden Deckplatte (n) und des Trägerelements sollen in ihren Fügebereichen intensiv gereinigt und so geglättet werden, dass dort eine Rauheit der Oberfläche erreicht wird, dass sie bei einer wirkenden Druckkraft mit mindestens 80 % ihrer Fügefläche in unmittelbarem berührenden Kontakt stehen und dabei eine thermische Behandlung bei einer Temperatur von mindestens 100 °C und einem Halten der Temperatur über einen Zeitraum von mindestens 0,5 h durchgeführt wird, um eine Fügeverbindung der Deckplatte (n) und dem Trägerelement herzustellen. Dabei soll mindestens eine Deckplatte mit einer Oberfläche des Trägerelements verbunden werden, an der mindestens eine Öffnung einer Durchbrechung oder einer Aussparung angeordnet ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于生产具有至少一个顶板并且被彼此连接的支撑元件的复合部件轻质结构元件的制造方法。 它可以是这是一个盖板，其上形成至少一个开口和/或至少一个凹部的支撑构件，和至少另一种元素，而彼此连接。 承载元件和至少一个覆盖板可以由玻璃，玻璃陶瓷，陶瓷和/或硅与可以至少被形成为连接元件形成在所述接合区的氧化物表面层的。 所述支撑构件的厚度应至少两倍相对于盖板的厚度。 表面接合在一起覆盖板（S）和所述载体元件可以在它们的接合区域集中地清洁，因此平滑的，有表面的粗糙度达到，它们是在一定压力下在直接相邻接触作用的它们的接合表面的至少80％的力 而在至少100℃的温度下的热处理和保持温度在一段至少为0.5小时，以产生所述盖板（S）和所述载体元件的关节连接。 在这种情况下，应连接的至少一个覆盖板与所述支撑构件的表面被布置在一开口或凹部中的所述至少一个开口。

公开(公告)号：WO2009106305A2

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：PCT/EP2009/001326

申请日：2009-02-25

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  CHUNG, Hin Yiu Anthony ,  NASER, Jürgen

Inventor： CHUNG, Hin Yiu Anthony ,  NASER, Jürgen

IPC: C04B37/00

CPC classification number: C04B37/005 ,  C04B37/006 ,  C04B37/008 ,  C04B37/04 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/083 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/597 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  G03F7/70958

Abstract: The present invention relates to a method of bonding at least a first and a second component (1, 2) to form a bonded structure (6) by,,fusion bonding", comprising the steps of: a) depositing at least one layer (3, 4) preferably having a porous structure onto a surface (1 a, 2a) of at least the first, preferably of each of the components (1, 2), b) roughening of the at least one deposited layer (3, 4), c) bringing together the surface (1 a) of the first component (1 ) with a surface (2a) of the second component (2), and d) bonding of the components (1, 2) to form the bonded structure (6) by,,fusion bonding". Further the invention concerns a bonded structure (6), an optical element and a holding device for a wafer which is made of a bonded structure of this type, as well as a projection lens and a projection exposure system with an optical element of this kind.

Abstract translation: 本发明涉及一种通过熔融粘合将至少第一和第二组分（1,2）结合以形成键合结构（6）的方法，包括以下步骤：a）沉积至少一层（ 3，4）优选在至少第一，优选每个组分（1,2）的表面（1a，2a）上具有多孔结构，b）至少一个沉积层（3,4）的粗糙化 ），c）将第一组分（1）的表面（1a）与第二组分（2）的表面（2a）组合在一起，以及d）组分（1,2）的粘合以形成键合结构 （6）通过“熔接”。 此外，本发明涉及一种接合结构（6），由这种接合结构制成的用于晶片的光学元件和保持装置，以及具有这种类型的光学元件的投影透镜和投影曝光系统 。

公开(公告)号：WO2004063110B1

公开(公告)日：2004-12-09

申请号：PCT/US0341230

申请日：2003-12-23

Applicant: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE ,  KIM DONG-SANG ,  MEINHARDT KERRY D ,  JOHNSON BRADLEY R ,  SCHWEIGER MICHAEL J

Inventor： KIM DONG-SANG ,  MEINHARDT KERRY D ,  JOHNSON BRADLEY R ,  SCHWEIGER MICHAEL J

IPC: C03C8/24 ,  C03C27/00 ,  C04B37/00 ,  C04B37/02 ,  C04B37/04 ,  H01M8/02 ,  H01M8/12

CPC classification number: C04B35/16 ,  C03C8/24 ,  C03C27/00 ,  C04B37/005 ,  C04B37/025 ,  C04B37/04 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/365 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/10 ,  H01M8/0271 ,  H01M8/0282 ,  H01M8/0286 ,  H01M2008/1293 ,  H01M2300/0077 ,  Y02P70/56

Abstract: The present invention is a glass-ceramic material and method of making useful for joining a solid ceramic component and at least one other solid component. The material is a blend of M1-M2-M3-M4, wherein M1 is BaO, SrO, CaO, MgO, or combinations thereof, M2 is Al2O3, present in the blend in an amount from 2 to 15 mol%, M3 is SiO2 with up to 50 mol% B203 and a metal oxide selected from the group of La2O3, Y2O3, Nd2O3 or combinations thereof, or between 0.1 and 7.5 mol% K2O. In the case of a metal oxide from the group La2O3, Y2O3, Nd2O3 or combinations thereof, it is preferred that the composition contain an additional 0.1 to 3 mol %CuO. In all cases, the glass ceramic material in a crystalline phase substantially matches a coefficient of thermal expansion of solid electrolytes having a thermal expansion coefficient of 12 x 10 °C as measured from 25 °C to 1000 °C, and does not degrade with repeated heat cycling. According to the present invention, the series of glass ceramics in the M1-Al2O3-M3-M4 system can be used to join or seal both tubular and planar solid oxide fuel cells, oxygen electrolyzers, and membrane reactors for the production of syngas, commodity chemicals and other products.

Abstract translation: 本发明是一种玻璃陶瓷材料和制造方法，用于连接固体陶瓷部件和至少一个其他固体部件。 该材料是M1-M2-M3-M4的混合物，其中M1是BaO，SrO，CaO，MgO或其组合，M2是Al2O3，以2-15mol％的量存在于该混合物中，M3是SiO2 具有至多50摩尔％的B 2 O 3和选自La 2 O 3，Y 2 O 3，Nd 2 O 3或其组合，或者在0.1和7.5摩尔％之间的K 2 O的金属氧化物。 在来自La 2 O 3，Y 2 O 3，Nd 2 O 3或其组合的金属氧化物的情况下，优选组合物含有另外的0.1-3mol％CuO。 在所有情况下，结晶相中的玻璃陶瓷材料与从25℃至1000℃测量的热膨胀系数为12×10 -6℃-1的固体电解质的热膨胀系数基本匹配 C，并且不会因重复热循环而降解。 根据本发明，M1-Al2O3-M3-M4系统中的一系列玻璃陶瓷可用于接合或密封用于生产合成气，商品的管状和平面固体氧化物燃料电池，氧电解器和膜反应器 化学品和其他产品。

公开(公告)号：WO2004063110A3

公开(公告)日：2004-10-21

申请号：PCT/US0341230

申请日：2003-12-23

Applicant: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE ,  KIM DONG-SANG ,  MEINHARDT KERRY D ,  JOHNSON BRADLEY R ,  SCHWEIGER MICHAEL J

Inventor： KIM DONG-SANG ,  MEINHARDT KERRY D ,  JOHNSON BRADLEY R ,  SCHWEIGER MICHAEL J

IPC: C03C8/24 ,  C03C27/00 ,  C04B37/00 ,  C04B37/02 ,  C04B37/04 ,  H01M8/02 ,  H01M8/12

CPC classification number: C04B35/16 ,  C03C8/24 ,  C03C27/00 ,  C04B37/005 ,  C04B37/025 ,  C04B37/04 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/365 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/10 ,  H01M8/0271 ,  H01M8/0282 ,  H01M8/0286 ,  H01M2008/1293 ,  H01M2300/0077 ,  Y02P70/56

Abstract: The present invention is a glass-ceramic material and method of making useful for joining a solid ceramic component and at least one other solid component. The material is a blend of M1-M2-M3-M4, wherein M1 is BaO, SrO, CaO, MgO, or combinations thereof, M2 is Al2O3, present in the blend in an amount from 2 to 15 mol%, M3 is SiO2 with up to 50 mol% B203 and a metal oxide selected from the group of La2O3, Y2O3, Nd2O3 or combinations thereof, or between 0.1 and 7.5 mol% K2O. In the case of a metal oxide from the group La2O3, Y2O3, Nd2O3 or combinations thereof, it is preferred that the composition contain an additional 0.1 to 3 mol %CuO. In all cases, the glass ceramic material in a crystalline phase substantially matches a coefficient of thermal expansion of solid electrolytes having a thermal expansion coefficient of 12 x 10 °C as measured from 25 °C to 1000 °C, and does not degrade with repeated heat cycling. According to the present invention, the series of glass ceramics in the M1-Al2O3-M3-M4 system can be used to join or seal both tubular and planar solid oxide fuel cells, oxygen electrolyzers, and membrane reactors for the production of syngas, commodity chemicals and other products.

Abstract translation: 本发明是玻璃陶瓷材料及其制造方法，可用于连接固体陶瓷组分和至少一种其它固体成分。 该材料是M1-M2-M3-M4的混合物，其中M1为BaO，SrO，CaO，MgO或其组合，M2为Al2O3，共混物中存在量为2至15摩尔％，M3为SiO2 具有高达50mol％的B 2 O 3和选自La 2 O 3，Y 2 O 3，Nd 2 O 3或其组合的金属氧化物，或0.1至7.5mol％的K 2 O. 在来自La 2 O 3，Y 2 O 3，Nd 2 O 3或其组合的金属氧化物的情况下，组合物优选含有另外的0.1至3mol％的CuO。 在所有情况下，结晶相中的玻璃陶瓷材料基本上匹配从25℃至1000℃测量的热膨胀系数为12×10 -6℃-1的固体电解质的热膨胀系数 并且不会随着重复的热循环而降解。 根据本发明，M1-Al2O3-M3-M4系统中的一系列玻璃陶瓷可以用于连接或密封管状和平面固体氧化物燃料电池，氧气电解器和用于生产合成气的商品的膜反应器 化学品等产品。

公开(公告)号：WO2011030461A1

公开(公告)日：2011-03-17

申请号：PCT/JP2009/066025

申请日：2009-09-14

Applicant: イビデン株式会社 ,  佐藤寛樹 ,  田村誠児 ,  榊原一彰

Inventor： 佐藤寛樹 ,  田村誠児 ,  榊原一彰

IPC: C04B35/64 ,  B01D39/20 ,  B01D46/00 ,  B01J35/04 ,  C04B37/00

CPC classification number: C04B37/005 ,  B28B1/002 ,  B28B11/006 ,  B28B17/0018 ,  C04B37/001 ,  C04B37/02 ,  C04B37/04 ,  C04B38/0016 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/083 ,  C04B2237/361 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/368 ,  F01N3/0222 ,  F01N2330/06 ,  F01N2450/28 ,  Y02T10/20 ,  Y10T156/11 ,  Y10T156/1153 ,  Y10T156/1163 ,  C04B28/24 ,  C04B35/565

Abstract: 本発明のハニカム構造体の製造方法は、効率良い製造方法を提供することを目的とし、セラミック原料を成形することにより、複数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を作製する工程と、上記セルのいずれか一方の端部が封止されるように封止材ペーストを充填する封止工程と、上記ハニカム成形体を焼成することにより、ハニカム焼成体を作製する工程と、接合材を介して少なくとも２つのハニカム焼成体の端面同士を接合することにより、１つのハニカム焼成体の長さよりも長いハニカム接合体を作製する接合工程と、接着材ペーストを介して複数個のハニカム接合体の側面同士を接着することにより、ハニカム接合体の集合体を作製する接着工程と、上記接着材ペーストを乾燥固化させることにより、ハニカム接合体の集合体からなるハニカムブロックを作製する乾燥固化工程と、上記ハニカム接合体の集合体からなるハニカムブロックを上記接合材の位置で分離することにより、複数個のハニカム焼成体の側面同士が接着された少なくとも２つのハニカムブロックとする分離工程とを含む、複数個のハニカム焼成体からなるハニカムブロックを作製する工程と、を含むハニカム構造体の製造方法である。

Abstract translation: 提供了一种制造蜂窝结构体的有效方法。 蜂窝结构体的制造方法包括：制造柱状蜂窝成形体的工序，通过模制陶瓷原料，多个单元并列配置有沿长度方向的细胞壁，填充密封材料的密封工序 将每个电池的一端密封，通过烧制蜂窝成型体来制造蜂窝烧制体的步骤和由多个蜂窝烧制体构成的蜂窝块的制造步骤， 制造蜂窝块包括通过接合材料接合至少两个蜂窝烧制体的端面的接合步骤，从而制造比一个蜂窝烧制体的长度更长的蜂窝接合体，接合侧的接合步骤 多个蜂窝接合体的表面通过粘合材料浆料，从而制造蜂窝体的聚集体 干燥固化步骤，用于干燥和固化粘合材料糊料，从而制造由蜂窝结合体的聚集体构成的蜂窝块;以及分离步骤，用于将由蜂窝结合体的聚集体构成的蜂窝块在该位置 从而在多个蜂窝烧制体的各个侧表面中形成至少两个蜂窝块。

公开(公告)号：WO2005024280A1

公开(公告)日：2005-03-17

申请号：PCT/US2004/029062

申请日：2004-09-03

Applicant: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE ,  CHOU, Yeong-Shyung ,  STEVENSON, Jeffry, W.

Inventor： CHOU, Yeong-Shyung ,  STEVENSON, Jeffry, W.

IPC: F16J15/10

CPC classification number: H01M8/0282 ,  B32B2311/00 ,  C04B37/025 ,  C04B37/04 ,  C04B2235/3427 ,  C04B2235/3445 ,  C04B2235/3472 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/40 ,  C04B2237/408 ,  F16J15/102 ,  F16J15/122 ,  H01M2/08 ,  H01M8/0276 ,  H01M8/0286 ,  H01M8/2425 ,  H01M8/248 ,  H01M2008/1293 ,  Y02P70/56 ,  Y10S277/943

Abstract: A mica based compressive seal has been developed exhibiting superior thermal cycle stability when compared to other compressive seals known in the art. The seal is composed of compliant glass or metal interlayers and a sealing (gasket) member layer composed of mica that is infiltrated with a glass forming material, which effectively reduces leaks within the seal. The compressive seal shows approximately a 100-fold reduction in leak rates compared with previously developed hybrid seals after from 10 to about 40 thermal cycles under a compressive stress of from 50 psi to 100 psi at temperatures in the range from 600 °C to about 850 °C.

Abstract translation: 与本领域已知的其它压缩密封件相比，已经开发出具有优异热循环稳定性的云母基压缩密封。 密封由柔性玻璃或金属中间层和由玻璃形成材料渗透的云母组成的密封（垫圈）构件层组成，这有效地减少了密封件内的泄漏。 与之前开发的混合密封件相比，压缩密封件在从600℃至大约850℃的温度范围内的压缩应力为50psi至100psi的10至约40个热循环之后显示出大约100倍的泄漏率。 C。

公开(公告)号：WO2004063110A2

公开(公告)日：2004-07-29

申请号：PCT/US2003/041230

申请日：2003-12-23

Applicant: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE ,  KIM, Dong-Sang ,  MEINHARDT, Kerry, D. ,  JOHNSON, Bradley, R. ,  SCHWEIGER, Michael, J.

Inventor： KIM, Dong-Sang ,  MEINHARDT, Kerry, D. ,  JOHNSON, Bradley, R. ,  SCHWEIGER, Michael, J.

IPC: C03C10/00

CPC classification number: C04B35/16 ,  C03C8/24 ,  C03C27/00 ,  C04B37/005 ,  C04B37/025 ,  C04B37/04 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/365 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/10 ,  H01M8/0271 ,  H01M8/0282 ,  H01M8/0286 ,  H01M2008/1293 ,  H01M2300/0077 ,  Y02P70/56

Abstract: The present invention is a glass-ceramic material and method of making useful for joining a solid ceramic component and at least one other solid component. The material is a blend of M1-M2-M3-M4, wherein M1 is BaO, SrO, CaO, MgO, or combinations thereof, M2 is Al 2 O 3 , present in the blend in an amount from 2 to 15 mol%, M3 is SiO 2 with up to 50 mol% B 2 0 3 and a metal oxide selected from the group of La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Nd 2 O 3 or combinations thereof, or between 0.1 and 7.5 mol% K 2 O. In the case of a metal oxide from the group La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Nd 2 O 3 or combinations thereof, it is preferred that the composition contain an additional 0.1 to 3 mol %CuO. In all cases, the glass ceramic material in a crystalline phase substantially matches a coefficient of thermal expansion of solid electrolytes having a thermal expansion coefficient of 12 x 10 -6 °C -1 as measured from 25 °C to 1000 °C, and does not degrade with repeated heat cycling. According to the present invention, the series of glass ceramics in the M1-Al 2 O 3 -M3-M4 system can be used to join or seal both tubular and planar solid oxide fuel cells, oxygen electrolyzers, and membrane reactors for the production of syngas, commodity chemicals and other products.

Abstract translation: 本发明是一种玻璃陶瓷材料和制造方法，用于连接固体陶瓷组分和至少一种其他固体组分。 该材料是M1-M2-M3-M4的混合物，其中M1是BaO，SrO，CaO，MgO或其组合，M2是Al 2 O 3 3， 以2至15摩尔％的量存在于共混物中，M3是具有至多50摩尔％B 2 O 3和SiO 2的SiO 2和 选自以下的金属氧化物：La 2 O 3，Y 2 O 3 O 3，Nd 2 O 3， 2 O 3或其组合，或0.1至7.5摩尔％K 2 O. 在来自基团La 2 O 3，Y 2 O 3，Nd 2 O 3， 2 O 3或它们的组合，优选组合物含有另外的0.1至3摩尔％的CuO。 在所有情况下，结晶相中的玻璃陶瓷材料与热膨胀系数为12×10 -6℃-1℃的固体电解质的热膨胀系数基本匹配， 如从25℃至1000℃所测量的，并且在重复热循环下不会降解。 根据本发明，M1-Al 2 O 3 -M 3 -M 4系统中的一系列玻璃陶瓷可用于连接或密封管状和平面状固体 氧化物燃料电池，氧气电解器和用于生产合成气，商品化学品和其他产品的膜反应器。

公开(公告)号：WO2003089172A1

公开(公告)日：2003-10-30

申请号：PCT/JP2003/002362

申请日：2003-02-28

Applicant: 三菱マテリアル株式会社 ,  田嶋 逸郎 ,  関 直方 ,  山本 和男

Inventor： 田嶋 逸郎 ,  関 直方 ,  山本 和男

IPC: B23B27/14

CPC classification number: C22C26/00 ,  B32B2315/02 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/5831 ,  C04B35/64 ,  C04B35/645 ,  C04B37/02 ,  C04B37/021 ,  C04B37/026 ,  C04B37/04 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5068 ,  C04B41/87 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3847 ,  C04B2235/3856 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/402 ,  C04B2235/404 ,  C04B2235/405 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/80 ,  C04B2237/12 ,  C04B2237/361 ,  C04B2237/401 ,  C04B41/4529

Abstract: 耐チッピング性のすぐれた立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削チップである。この立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削チップは、走査型電子顕微鏡による組織観察で、実質的に連続結合相、硬質分散相、および前記連続結合相と硬質分散相の間に介在する中間密着相の3相組織を示し、かつ質量%で、上記連続結合相形成成分として、窒化チタン、炭窒化チタン、および炭化チタンのうちの2種以上、または炭窒化チタン:15～56質量%、上記中間密着相形成成分として、TiとAlの複合窒化物:2～10質量%、炭化タングステン:2～10質量%、上記硬質分散相形成成分として、立方晶窒化ほう素:残り(ただし、35～65質量%含有)、からなる配合組成を有する立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料で構成される。

Abstract translation: 一种立方氮化硼基超高压烧结材料切割尖端，其包括立方氮化硼基极超高压烧结材料，该立方氮化硼基极超高压烧结材料具有包括基本上连续的结合相，硬分散相和中间紧密接触相的三相结构， 存在于通过扫描电子显微镜观察到的连续粘合相和硬分散相之间，其中连续粘合相包含至少两个氮化钛，碳氮化钛和碳化钛，或15至56质量％的钛碳 氮化物，其中中间紧密接触相包含2至10质量％的Ti和Al的复合氮化物和2至10质量％的碳化钨，并且其中所述硬分散相包含平衡量的立方氮化硼（条件是 在35〜65质量％的范围内）。 尖端具有优异的耐碎屑性。

公开(公告)号：WO2017005492A1

公开(公告)日：2017-01-12

申请号：PCT/EP2016/064454

申请日：2016-06-22

Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH

Inventor： WENDT, Mathias

IPC: C04B37/00 ,  C04B37/02 ,  C04B37/04 ,  H01L33/00 ,  H01L25/075

CPC classification number: H01L24/29 ,  C03C27/08 ,  C04B37/003 ,  C04B37/005 ,  C04B37/006 ,  C04B37/025 ,  C04B37/026 ,  C04B37/04 ,  C04B2237/06 ,  C04B2237/12 ,  C04B2237/30 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  C04B2237/368 ,  C04B2237/40 ,  C04B2237/54 ,  C04B2237/60 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  C23C14/086 ,  H01L24/83 ,  H01L33/0079 ,  H01L33/06 ,  H01L33/08 ,  H01L33/30 ,  H01L33/32 ,  H01L33/62 ,  H01L2224/29187 ,  H01L2224/83896 ,  H01L2933/0066

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von zumindest zwei Komponenten (1, 2) mit den Schritten: A) Bereitstellen zumindest einer ersten Komponente (1) und einer zweiten Komponente (2), B) Aufbringen zumindest einer Spenderschicht (3) auf die erste und/oder die zweite Komponente (1, 2), wobei die Spenderschicht (3) mit Sauerstoff (31) angereichert ist, C) Aufbringen einer Metallschicht (4) auf die Spenderschicht (3), die erste oder die zweite Komponente (1, 2), D) Aufheizen zumindest der Metallschicht (4) auf eine erste Temperatur (T1), so dass die Metallschicht (4) aufgeschmolzen wird und die erste Komponente (1) und die zweite Komponente (2) miteinander verbunden werden, und E) Aufheizen der Anordnung auf eine zweite Temperatur (T2), so dass der Sauerstoff (31) aus der Spenderschicht (3) in die Metallschicht (4) übergeht und die Metallschicht (4) sich zu einer stabilen Metalloxidschicht (5) umwandelt, wobei die Metalloxidschicht (5) eine höhere Schmelztemperatur als die Metallschicht (4) aufweist, wobei zumindest die Spenderschicht (3) und die Metalloxidschicht (5) die erste Komponente (1) mit der zweiten Komponente (2) miteinander verbindet.

Abstract translation: 本发明涉及一种接合至少两个部件的方法（1,2），包括以下步骤：（1）和第二部件（2），B）施加至少一个供体层（3），以第一A）提供至少一个第一部件 和/或所述第二部件（1,2），所述施体层（3）富含氧（31），C）供体层（3）上施加金属层（4），所述第一或第二部件（1， 2）中，d）加热至少所述金属层（4）（到第一温度T1），使得金属层（4）被熔化，并且将第一构件（1）和所述第二部件（2）连接在一起，以及e） 将组件加热到一个第二温度（T2），使得从在所述金属层（4）的施体层（3）中的氧（31）通过与所述金属层（4）被转换成一个稳定的金属氧化物层（5），其中所述金属氧化物层 （5）较高的熔融温度比 金属层（4），其中，至少所述施体层（3）和金属氧化物层（5），第一部件（1）与第二构件（2）连接在一起。

公开(公告)号：WO2009106305A3

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：PCT/EP2009001326

申请日：2009-02-25

Applicant: ZEISS CARL SMT AG ,  CHUNG HIN YIU ANTHONY ,  NASER JUERGEN

Inventor： CHUNG HIN YIU ANTHONY ,  NASER JUERGEN

IPC: C04B37/00 ,  C04B37/04

CPC classification number: C04B37/005 ,  C04B37/006 ,  C04B37/008 ,  C04B37/04 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/083 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/597 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  G03F7/70958

Abstract: The present invention relates to a method of bonding at least a first and a second component (1, 2) to form a bonded structure (6) by,,fusion bonding", comprising the steps of: a) depositing at least one layer (3, 4) preferably having a porous structure onto a surface (1 a, 2a) of at least the first, preferably of each of the components (1, 2), b) roughening of the at least one deposited layer (3, 4), c) bringing together the surface (1 a) of the first component (1 ) with a surface (2a) of the second component (2), and d) bonding of the components (1, 2) to form the bonded structure (6) by,,fusion bonding". Further the invention concerns a bonded structure (6), an optical element and a holding device for a wafer which is made of a bonded structure of this type, as well as a projection lens and a projection exposure system with an optical element of this kind.

Abstract translation: 本发明涉及一种通过“熔融结合”结合至少第一和第二组分（1,2）以形成结合结构（6）的方法，该方法包括以下步骤：a）沉积至少一个层 （1,2,3），优选地具有多孔结构到至少第一，优选每个部件（1,2）的表面（1a，2a）上，b）使至少一个沉积层（3,4） ），c）将第一组分（1）的表面（1a）与第二组分（2）的表面（2a）放在一起，以及d）将组分（1,2）键合以形成连接结构 （6）通过“熔接”来实现。 此外，本发明还涉及由这种粘合结构制成的粘合结构（6），光学元件和用于晶片的保持装置，以及具有这种光学元件的投影透镜和投影曝光系统 。