公开(公告)号：WO2010124909A1

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：PCT/EP2010/053718

申请日：2010-03-22

Applicant: EPCOS AG ,  FEIERTAG, Gregor ,  LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WINTER, Matthias ,  SIEGEL, Christian

Inventor： FEIERTAG, Gregor ,  LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WINTER, Matthias ,  SIEGEL, Christian

IPC: H04R1/28 ,  H04R19/00

CPC classification number: H04R19/005 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1461 ,  H04R1/2884 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/0401

Abstract: Es wird ein Mikrofonpackage vorgeschlagen, bei dem ein MEMS Mikrofonchip (MIC) auf einem Substrat (SUB) montiert und mit einer Abdeckung (ABD) gegen das Substrat abgedichtet ist. Die Membran (MMB) des Mikrofonchips ist mit einer Schalleintrittsöffnung (SEO) im Substrat über einen akustischen Kanal verbunden. Durch definierte Dimensionierung von insbesondere Querschnitt und Länge von Schalleintrittsöffnung und Kanal ist ein akustischer Tiefpass ausgebildet, dessen -3 dB Dämpfungspunkt deutlich unterhalb der Eigenresonanz von Mikrofonmembran und -package liegt.

Abstract translation: 它提出了一种麦克风封装，其中，MEMS传声器芯片安装在基板（SUB）（MIC）和一个盖（ABD）的靠基板密封。 传声器芯片的膜（MMB）设置有通过连接声音信道在所述衬底中的声音入口（SEO）。 通过的，尤其是横截面，并且所述声音入口开口和通道的长度，被形成的声学低通限定尺寸，-3 dB的衰减点是远低于麦克风膜片和-package的自谐振。

公开(公告)号：WO2015176745A1

公开(公告)日：2015-11-26

申请号：PCT/EP2014/060335

申请日：2014-05-20

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RAVNKILDE, Jan Tue ,  SIEGEL, Christian ,  JUNGKUNZ, Matthias ,  ROCCA, Gino ,  NIELSEN, Ivan Riis ,  LEIDL, Anton ,  ROMBACH, Pirmin Hermann Otto

IPC: H04R3/00

CPC classification number: H04R3/002 ,  H03G3/301 ,  H04R3/007 ,  H04R3/04 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003

Abstract: A microphone (1) comprises a transducer (2) and a mode controller (11). The microphone has a normal operating mode (M 0 ) and a collapse mode (M 1 ). The mode controller (11) switches to the collapse mode (M 1 ) when an output signal of the transducer (2) reaches or exceeds a predefined threshold value (S 0 ) and switches to the normal operating mode (M 0 ) when the output signal reaches or falls below a predefined further threshold value (S 1 ). Furthermore, a method of operating the microphone (1) is provided.

Abstract translation: 麦克风（1）包括换能器（2）和模式控制器（11）。 麦克风具有正常操作模式（M0）和折叠模式（M1）。 当传感器（2）的输出信号达到或超过预定阈值（S0）时，模式控制器（11）切换到折叠模式（M1），并且当输出信号到达或 低于预定义的另外的阈值（S1）。 此外，提供操作麦克风（1）的方法。

公开(公告)号：WO2013124170A3

公开(公告)日：2013-08-29

申请号：PCT/EP2013/052553

申请日：2013-02-08

Applicant: EPCOS AG

Inventor： PAHL, Wolfgang ,  LEIDL, Anton ,  PORTMANN, Jürgen ,  EICHINGER, Robert ,  SIEGEL, Christian ,  NICOLAUS, Karl ,  WASSNER, Thomas ,  SEDLMEIER, Thomas

IPC: B81C99/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors (SEN), das die Schritte Anordnen eines Sensorelements (SE) auf einem Träger (TR), Anordnen einer Abdeckung (AF) auf dem Sensorelement (SE), wobei das Sensorelement (SE) zwischen der Abdeckung (AF) und dem Träger (TR) eingeschlossen wird, Aufkleben einer Trägerfolie (TF) auf die Abdeckung (AF), und Erzeugen einer Öffnung (SO) in der Trägerfolie (TF) und der Abdeckung (AF), wobei die Öffnungen (SO) in der Trägerfolie (TF) und der Abdeckung (AF) zumindest teilweise überlappen, aufweist.