Abstract:
Es wird ein Plasma-Abscheideprozess zur Herstellung einer optischen Vorform angegeben, die sich durch eine Mantelglasschicht mit nicht-rundem Innenquerschnitt bei hoher Fluordotierung und axial und radial vorgegebener, im einfachsten Fall möglichst gleichmäßiger Dotierstoffverteilung auszeichnet. Hierzu wird ein zweistufiges Verfahren vorgeschlagen, bei dem ein Substratkörper mit nichtrundem Querschnitt zunächst zu einem beschichteten Substratkörper mit kreisrundem Querschnitt umgestaltet wird, indem auf eine vorhandene Auffüllfläche eine POD-Füllschicht aus Quarzglas mit der Fluor-Nominalkonzentration abgeschieden und rundgeschliffen wird, und darauf in der zweiten Verfahrensstufe eine im Querschnitt kreisringförmige POD-Hüllglasschicht aus fluordotiertem Quarzglas abgeschieden wird.
Abstract:
Bekannt ist ein Quarzglasrohr als Halbzeug für ein optisches Bauteil, das eine sich entlang einer Rohr-Mittelachse erstreckende Innenbohrung zur Aufnahme eines Kernstabs und eine von einer Innenmantelfläche und einer Außenmantelfläche begrenzte Rohrwandung aufweist, in der ein innerer Bereich aus einem ersten Quarzglas und ein den inneren Bereich umgebender äußerer Bereich aus einem zweiten Quarzglas an einer Kontaktfläche aneinander liegen, die um die Mittelachse verläuft, wobei sich die Brechungsindizes von ersten und zweitem Quarzglas unterscheiden. Um hiervon ausgehend ein Quarzglasrohr bereitzustellen, das die Herstellung optischer Bauteile für Spezialanwendungen, wie laseraktive optische Bauteile in Stab- oder Faserform erleichtert, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Kontaktfläche im radialen Querschnitt einen nicht-runden Verlaufund die Innenmantelfläche einen kreisrunden Verlauf zeigen.
Abstract:
Bei Plasma-Abscheideprozessen zur Herstellung einer optischen Vorform nach dem POD-Verfahren wird eine Mantelglasschicht aus fluordotiertem Quarzglas mittels eines Plasmabrenners auf einem um seine Längsachse rotierenden, zylinderförmigen Substratkörpers aus Quarzglas erzeugt.. Dabei vollzieht der Plasmabrenner eine reversierende Relativbewegung zwischen zwei Wendepunkten (A; B) entlang des Substratkörpers. Um hiervon ausgehend eine hohe Fluordotierung bei axial möglichst gleichmäßiger Dotierstoffverteilung zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass auf den Bereich des einen Wendepunktes (A; B) ein Wärmeelement wärmend einwirkt, wenn sich der Plasmabrenner im Bereich des anderen Wendepunktes (B; A) befindet.