公开(公告)号：WO2013000745A3

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/EP2012/061514

申请日：2012-06-15

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH ,  REIMANN, Sven ,  VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

Inventor： REIMANN, Sven ,  VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

IPC: F04C2/10 ,  F04C2/08 ,  F04C15/00 ,  F04C15/06

Abstract: Die Offenbarung betrifft eine Mikropumpe, mit einem auf einer Welle angeordneten Innenrotor und einen Außenrotor, die eine Rotoreinheit mit einer Förderkammer für Fluid ausbilden, wobei die Pumpe ein multifunktionales Lagerelement für die Welle mit verbesserter Schmierung aufweist.

公开(公告)号：WO2012066483A2

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：PCT/IB2011/055108

申请日：2011-11-15

Applicant: HNP Mikrosysteme GmbH ,  MATZ, Astrid ,  REIMANN, Sven ,  STOJKE, Martin ,  VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

Inventor： MATZ, Astrid ,  REIMANN, Sven ,  STOJKE, Martin ,  VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

CPC classification number: F04B19/006 ,  F01C21/02 ,  F04C2/086 ,  F04C2/102 ,  F04C11/008 ,  F04C15/0069 ,  F04C15/0092 ,  F04C15/0096

Abstract: Es isteinetechnische Problemstellung (Aufgabe)der Erfindung, einen kostengünstigen Aufbau einer Pumpenanordnung mit der Mikropumpe zu erreichenund mit einer minimalen Anzahl von Komponenten auszukommen, die fertigungstechnisch möglichst einfach ausgeführt sind und montagetechnisch präzise zusammengefügt werden können. In einem besonderen Aspekt der Aufgabenstellung soll Fertigungsaufwand durch Montageaufwand zumindest teilweise substituiert werden, wodurch notwendige enge Toleranzen auch erreicht werden. Diese sind für Mikrosysteme und Mikropumpen ein sine-qua-non. In einem weiteren Aspekt dieser Aufgabenstellung ist die Mikropumpe im Lagerbereich auch zu spülen oder zu schmieren, was bei Drehzahlen oberhalb von 5.000U/min ein durchaus beachtenswertes Problem darstellt. Vorgeschlagen wird dazu eine Pumpenanordnung mit einer magnetisch antreibbaren Mikropumpe (P) zur Förderung eines liquiden Fördermediums und mit einem Lagerträger (22) als Basisteil, wobei ein Außenmagnet (44) und ein Innenmagnet (40) vorgesehen sind, die eine Drehbewegung auf die Mikropumpe (P) über eine axiale Welle (10) übertragen. Im Lagerträger (22) sind drei Radiallagerstücke(1,2,3) zur Drehlagerung (Führung) der Welle (10) und der Mikropumpe (P) positioniert und festgelegt, wobei eines der Lager (3) den Außenrotor (80) der Mikropumpe drehfähig aufnimmt und exzentrisch zur Welle (10) angeordnet ist. Die Mikropumpe (P) wird von einem stirnseitig angeordneten Deckel (26) im exzentrischen Lager (3) gehalten. Eine Kanalstruktur(23) für eine Zwangsströmungist vorgesehen, welche druckseitig zumindest einen radialen Kanalabschnitt (23b) im Deckel (26) und einen axialen Kanalabschnitt (23c,23e) im Lagerträger (22) aufweist, um die Lager (1,2,3) aktiv mit dem Fördermedium zu spülen und/oder zu schmieren. Eines der Lager (2) ist näher dem Innenmagneten (40) angeordnet und/oder ein anderes der Lager ist näher der Mikropumpe (P) angeordnet.

Abstract translation: 它isteinetechnische本发明的问题（对象），用微型泵的泵组件的一个低成本的结构，以沿着erreichenund获得具有最小数量的部件，简单地进行尽可能和可以精确地装配的装配技术的生产工艺。 在特定方面中，生产的努力的目的是通过装配工作至少部分，由此需要紧密公差实现取代。 这些是微系统和微型泵，正弦QUA-非。 在此任务的另一个方面，在存储区域中的微型泵也冲洗或润滑什么以上5.000U表示在速度/分钟相当显着的问题。 提出了一个泵装置有磁力驱动微型泵（P），用于将液体传送输送介质并与轴承座（22）作为基础构件，其中，外磁体（44）和内磁体（40）被提供，其中（a旋转运动到微型泵 P）经由轴向轴（10）传送。 在该轴承座（22）有三个径向轴承件（1,2,3）的轴（10）和微型泵（P）的可旋转支撑件（导件）进行定位和固定，其中一个所述能够旋转的轴承（3）微型泵的外转子（80） 被安排成接收和偏心轴（10）。 微型泵（P）是由偏心轴承（3）正面设置盖（26）保持。 提供了一种用于Zwangsströmungist具有压力侧的通道结构（23）的至少一个径向通道部分（23B）在所述盖子（26）和在该轴承座（22）到所述轴承的轴向通道部分（23C，23E）（1,2,3） 积极平齐与介质和/或润滑。 一个轴承（2）的布置更接近内磁体（40）和/或另一轴承设置得更靠近微型泵（P）。

公开(公告)号：WO2006047998A1

公开(公告)日：2006-05-11

申请号：PCT/DE2005/001960

申请日：2005-11-02

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH ,  VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

Inventor： VOEGELE, Gerald ,  WEISENER, Thomas

IPC: C23C16/27 ,  C23C14/06 ,  F04C2/10 ,  F04C13/00

CPC classification number: F04C2/10 ,  C23C16/27 ,  F04C2/084 ,  F04C13/00 ,  F04C2230/91 ,  F05C2203/0882 ,  F05C2251/10 ,  Y10T74/1987 ,  Y10T74/19972

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer mit einer Diamantlage oder solchen Schicht beschichteten Verdränger-Komponente und eine solche Baukomponente (als tribologisch belastetes Bauteil). Zum Fördern oder Dosieren eines chemisch aggressiven Fluids wird vorgeschlagen, eine Grundbaukomponente (2,3) aus einem chemisch nicht ausreichend resistenten, aber mechanisch genügend stabilen ersten Werkstoff (A) werkstoff-abtragend und dabei auf ein erstes Maß (m1) genau zu fertigen. Die erst-maßgenaue Grundbaukomponente (2,3) wird hernach zumindest auf - für das Verdrängen aktiven - Flächenabschnitten mit einer zumindest 1 µm starken Schicht (10) aus synthetischem Diamant mit einem Beschichtungsverfahren beschichtet, Erhalten wird ein zweites Maß (m2) der Bauteilkomponente, passend für die Verdrängereinheit (1). Es entsteht eine chemisch beständige, reibungs-reduzierte Bauteilkomponente zum Verdrängen des chemisch aggressiven Fluids.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造涂覆有金刚石层或这样的层位移分量和结构部件的表面的方法，例如（作为摩擦学强调成分）。 用于传送或计量化学腐蚀性流体提出了使用化学不足够耐但机械足够稳定的第一材料（A）材料去除的基本结构部件（2,3），而在一个第一度量（M1）来制造准确。 第一尺寸调整基本结构部件（2,3）是其后至少为 - 与合成金刚石的通过涂布法的至少1微米厚的层（10）涂覆的表面部分，从而获得结构部件的第二测量（M2）， - 用于置换活性 适合的位移单元（1）。 其结果是耐化学性的，而不用于移动化学侵蚀性的流体摩擦降低结构部件。

公开(公告)号：WO2020104996A8

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：PCT/IB2019/060042

申请日：2019-11-21

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH

Inventor： POLLEY, Tim ,  WEISENER, Thomas ,  VOEGELE, Gerald ,  REIMANN, Sven

IPC: H01L41/06 ,  F04B43/04 ,  H01L41/47

Abstract: Eine Transportvorrichtung (100) umfasst ein Gehäuse (110), einen Aktor (130) und einen Antrieb (150). Das Gehäuse weist einen Fluideinlass (111, 113) und einen Fluidauslass (113, 111) auf. Der Aktor (130) umfasst eine magnetische Formgedächtnislegierung und der Aktor (130) ist zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (110) angeordnet. Der Aktor (130) ist von dem Antrieb (150) so verformbar, dass in dem Aktor (130) zumindest eine von dem Antrieb (150) bewegbare Kavität (135, 135') für das Fluid gebildet wird, um das Fluid in der Kavität (135, 135') von dem Fluideinlass (111, 113) zu dem Fluidauslass (113, 111) zu transportieren. Zumindest ein Abschnitt des Aktors (130) weist eine Trennschicht (1380) auf, durch die in dem Abschnitt des Aktors (130) ein direkter Kontakt zwischen dem Fluid und dem Aktor (130) verhindert ist.

公开(公告)号：WO2020104995A1

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：PCT/IB2019/060041

申请日：2019-11-21

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH

Inventor： POLLEY, Tim ,  WEISENER, Thomas ,  VOEGELE, Gerald ,  REIMANN, Sven

IPC: F04B19/00 ,  F04B17/03 ,  F04B43/14 ,  F04B43/04

Abstract: Eine Transportvorrichtung (400) umfasst ein Gehäuse (410), einen Aktor (430), einen Antrieb (450) und ein Dichtelement (470). Das Gehäuse weist einen Fluideinlass (411, 413) und einen Fluidauslass (413, 411) auf. Der Aktor (430) umfasst eine magnetische Formgedächtnislegierung und der Aktor (430) ist zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (410) angeordnet. Der Aktor (430) ist von dem Antrieb (450) so verformbar, dass in dem Aktor (430) zwei von dem Antrieb (450) bewegbare Kavitäten (635, 635') für das Fluid gebildet werden, um das Fluid in den Kavitäten (635, 635') von dem Fluideinlass (411, 113) zu dem Fluidauslass (413, 411) zu transportieren. Das Dichtelement (470) weist zumindest eine Ausnehmung (471,...) auf und das Dichtelement (470) ist so in dem Gehäuse (410) angeordnet, dass die Kavitäten (635, 635') zumindest zeitweise während des Transports des Fluids von dem Fluideinlass (411, 413) zu dem Fluidauslass (413, 411) über die Ausnehmung (471,... ) fluidkommunizierend verbunden sind.

公开(公告)号：WO2020104996A1

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：PCT/IB2019/060042

申请日：2019-11-21

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH

Inventor： POLLEY, Tim ,  WEISENER, Thomas ,  VOEGELE, Gerald ,  REIMANN, Sven

IPC: H01L41/06 ,  F04B43/04 ,  H01L41/47

Abstract: Eine Transportvorrichtung (100) umfasst ein Gehäuse (110), einen Aktor (130) und einen Antrieb (150). Das Gehäuse weist einen Fluideinlass (111, 113) und einen Fluidauslass (113, 111) auf. Der Aktor (130) umfasst eine magnetische Formgedächtnislegierung und der Aktor (130) ist zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (110) angeordnet. Der Aktor (130) ist von dem Antrieb (150) so verformbar, dass in dem Aktor (130) zumindest eine von dem Antrieb (150) bewegbare Kavität (135, 135') für das Fluid gebildet wird, um das Fluid in der Kavität (135, 135') von dem Fluideinlass (111, 113) zu dem Fluidauslass (113, 111) zu transportieren. Zumindest ein Abschnitt des Aktors (130) weist eine Trennschicht (1380) auf, durch die in dem Abschnitt des Aktors (130) ein direkter Kontakt zwischen dem Fluid und dem Aktor (130) verhindert ist.

公开(公告)号：WO2020104994A1

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：PCT/IB2019/060040

申请日：2019-11-21

Applicant: HNP MIKROSYSTEME GMBH

Inventor： POLLEY, Tim ,  WEISENER, Thomas ,  VOEGELE, Gerald ,  REIMANN, Sven

IPC: F04B43/04 ,  F04B43/14 ,  H02N11/00

Abstract: Eine Transportvorrichtung (100) umfasst ein Gehäuse (110), einen Aktor (130), einen Antrieb (150) und ein Dichtelement (170). Das Gehäuse weist einen Fluideinlass (111, 113) und einen Fluidauslass (113, 111) auf. Der Aktor (130) umfasst eine magnetische Formgedächtnislegierung und der Aktor (130) ist zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (110) angeordnet. Der Aktor (130) ist von dem Antrieb (150) so verformbar, dass in dem Aktor (130) zumindest eine von dem Antrieb (150) bewegbare Kavität (135) für das Fluid gebildet wird, um das Fluid in der Kavität (135) von dem Fluideinlass (111, 113) zu dem Fluidauslass (113, 111) zu transportieren. Das Dichtelement (170) ist so ausgestaltet und zwischen dem Aktor (130) und dem Gehäuse (110) so angeordnet, dass die Kavität (135) während des Transports des Fluids von dem Fluideinlass (111, 113) zu dem Fluidauslass (113, 111) randseitig oder endseitig abgedichtet ist.