公开(公告)号：WO2021122810A1

公开(公告)日：2021-06-24

申请号：PCT/EP2020/086512

申请日：2020-12-16

Applicant: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON

Inventor： MUELLER, Dieter ,  SIEBERT, Max ,  HOEWELING, Christoph

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/458 ,  H01J37/32 ,  B23Q17/22 ,  B25J15/06 ,  B25B23/12 ,  B23Q3/15 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4581 ,  H01J37/32715

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung (2) zum Halten eines magnetisierbaren Substrats (8) während einer Bearbeitung von mindestens einer Substratoberfläche, insbesondere eines zu bearbeitenden magnetisierbaren Werkzeugs, umfassend eine endseitig angeordnete magnetische Halteeinheit (4) zur endseitigen Fixierung des Substrats (8) über die Ausbildung eines magnetischen Feldes, eine an der Halteeinheit (4) angeordnete Aufnahmeeinheit (6) zur Aufnahme des Substrats (8), eine innerhalb der Aufnahmeeinheit (6) angeordnete austauschbare Adaptereinheit (10) zur Führung und Abschirmung des Substrats (8), wobei die Adaptereinheit (10) zumindest eine Ausnehmung (12) zur Durchführung des Substrats (8) aufweist, wobei das Substrat (8) mittels der Ausnehmung (12) seitlich abgestützt innerhalb der Haltevorrichtung (2) fixierbar ist.

公开(公告)号：WO2018149548A1

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：PCT/EP2018/000063

申请日：2018-02-16

Applicant: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON

Inventor： VOGEL, Remo ,  SIEBERT, Max ,  ROMBACH, Mario ,  BARTHOLET, Philipp ,  DEMIRI, Masar ,  MUELLER, Dieter ,  FRANKE, Sven ,  BENEDIKT, Sebastian ,  WALT, Roger

IPC: C23C14/50

Abstract: The present invention discloses a tool holding device for shank type tools, comprising at least one tool holder, a base part and a top part, whereby at least the top part comprises uptake holes for the at least one tool holder characterized in that, the tool holding device can be used for more than one process step among transfer, cleaning, pretreatment, coating, posttreatment, and each of the at least one tool holders can optionally take up a sleeve holding the shank type tool in a distinct, preferably upright position and comprises one or more openings, which allow fluid and/or solid treatment agents to exit the tool holder and/or sleeve and the at least one tool holder and/or sleeve enables three-fold rotation of the shank type tool. Further a method using the inventive tool holding device is disclosed.

公开(公告)号：WO2021122805A1

公开(公告)日：2021-06-24

申请号：PCT/EP2020/086504

申请日：2020-12-16

Applicant: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON

Inventor： SIEBERT, Max ,  EGGEMANN, Jens ,  BECKER, Christian ,  MUELLER, Dieter

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C16/04 ,  C23C16/458 ,  B25B11/00 ,  B25J11/00 ,  B05B13/02 ,  B05C13/00 ,  B05B13/0207 ,  B05B13/0228 ,  B05B13/0242 ,  B05B13/0285 ,  C23C14/042 ,  C23C16/042 ,  C23C16/4587

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Haltesystem (1) zum Halten von Substraten (12) zur Verwendung in einer Oberflächenbearbeitungsanlage mit einem Abdeckbereich (20), umfassend eine Mehrzahl an Fixierelementen (2), einen innerhalb des Abdeckbereichs (20) angeordneten Körper (24) zur Aufnahme der Fixierelemente (2) und ein Positionierungselement (26) zur Einstellung des Abdeck- und eines Bearbeitungsbereiches (20, 22), wobei eine Mehrzahl von Substraten (12) durch die Fixierelemente (2) fixierbar und innerhalb des Bearbeitungsbereiches (22) bearbeitbar sind.