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    PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE VISUALISATION D'UN RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE INFRAROUGE ÉMIS PAR UNE SOURCE
    1.
    发明申请
    PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE VISUALISATION D'UN RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE INFRAROUGE ÉMIS PAR UNE SOURCE 审中-公开
    用于可视化由源发射的红外线电磁辐射的方法和系统

    公开(公告)号：WO2015114278A1

    公开(公告)日：2015-08-06

    申请号：PCT/FR2015/050233

    申请日：2015-02-02

    Applicant: UNIVERSITE DE BORDEAUX ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

    Inventor： FREYSZ, Eric ,  PHILIPPEAU, Benoit

    IPC: G01J1/50

    CPC classification number: G01J5/58 ,  G01J1/50 ,  G01J5/48

    Abstract: La présente invention concerne un procédé et un système de visualisation d'un rayonnement infrarouge émis par une source. Selon l'invention, le système de visualisation comprend un substrat, au moins une couche solide thermosensible comprenant des pigments thermochromes ayant au moins une température de transition T H associée à un changement de couleur apparente, et au moins une couche intermédiaire disposée entre le substrat et la couche solide comprenant des pigments thermochromes; le substrat, ladite au moins une couche intermédiaire et la couche solide thermosensible comprenant des pigments thermochromes formant un empilement adapté pour absorber un rayonnement électromagnétique infrarouge et pour induire une augmentation locale de température dT; et ladite au moins une couche intermédiaire étant adaptée pour transférer par conduction thermique ladite augmentation locale de température dT vers une région de la couche solide thermosensible, de manière à induire un changement local de la couleur apparente de la couche solide thermosensible de pigments thermochromes.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于可视化由源发射的红外辐射的方法和系统。 根据本发明，可视化系统包括基底，至少一个固体温度敏感层，其含有具有与可见颜色变化相关联的至少一个转变温度TH的热变色颜料，以及置于基材和固体之间的至少一个中间层 含有热变色颜料的层; 所述至少一个中间层和所述固体感温层含有形成适于吸收红外电磁辐射并诱导局部温度升高dT的多层热致变色颜料; 并且所述至少一个中间层适合于通过热传导将所述局部温度增加dT转移到固体温度敏感层的区域，以便引起固体温度敏感层的可见颜色的局部变化 的热变色颜料。

    紫外光透過部材の温度計測方法、紫外光透過部材の温度計測装置、光源装置
    2.
    发明申请
    紫外光透過部材の温度計測方法、紫外光透過部材の温度計測装置、光源装置 审中-公开
    用于超紫外线发射部件的温度测量方法，用于超紫外线发射部件的温度测量装置和光源装置

    公开(公告)号：WO2015099132A1

    公开(公告)日：2015-07-02

    申请号：PCT/JP2014/084538

    申请日：2014-12-26

    Applicant: 株式会社ニコン

    Inventor： 水口　雅史

    IPC: G01K11/12 ,  G01N21/33

    CPC classification number: G01J5/0003 ,  G01J5/10 ,  G01J5/58 ,  G01K11/12

    Abstract: 　簡明な構成で紫外光透過部材の温度を計測可能な温度計測方法、温度計測装置等を提供する。本発明を例示する態様の一つは、紫外光を透過する紫外光透過部材の温度を計測する温度計測装置である。この温度計測装置２は、紫外光透過部材を透過した紫外光ＵＶ１の強度分布を検出する分光計測部２０と、分光計測部２０により検出された紫外光の強度分布から紫外光透過部材の吸収端波長を求め、求められた吸収端波長に基づいて紫外光透過部材の温度を導出する演算処理部２５とを備えて構成される。

    Abstract translation: 提供了能够通过简单的结构测量紫外线透射率部件的温度的温度测量方法，温度测量装置等。 本发明的一个实施方式是用于测量透射紫外线的紫外线透射部件的温度的温度测定装置。 该温度测量装置（2）被配置为配备有用于检测通过紫外线透射部件透射的紫外线（UV1）的强度分布的光谱测量部（20），以及计算处理部 根据由光谱测量单元（20）检测的紫外线的强度分布，获得紫外线透射率部件的吸收边缘波长，并且基于获得的吸收边缘波长导出紫外线透射率部件的温度。

    VERFAHREN ZUR NICHTINVASIVEN, OPTISCHEN BESTIMMUNG DER TEMPERATUR EINER MEDIUMS
    4.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR NICHTINVASIVEN, OPTISCHEN BESTIMMUNG DER TEMPERATUR EINER MEDIUMS 审中-公开
    方式，一种介质的温度的非侵入性的，光学测定

    公开(公告)号：WO2009092603A2

    公开(公告)日：2009-07-30

    申请号：PCT/EP2009/000440

    申请日：2009-01-23

    Applicant: NIRLUS ENGINEERING AG ,  HERMANN, Vera

    Inventor： HERMANN, Vera

    IPC: G01J5/60

    CPC classification number: G01J5/602 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/01 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/4806 ,  G01J5/58

    Abstract: Es handelt sich um ein Verfahren zur nichtinvasiven, optischen Bestimmung der Temperatur eines Mediums, vorzugsweise wasserhaltigen Mediums, wobei das zu untersuchende Medium mit infrarotem und/oder sichtbarem Licht im Bereich einer Absorptionslinie beleuchtet wird, deren Lage von der Temperatur des Mediums abhängt und wobei die Absorption des Lichtes im Bereich der Absorptionslinie gemessen und aus dieser Messung durch Vergleich mit Kalibrierungsdaten die Temperatur ermittelt wird. Dieses Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass das Medium mit zumindest zwei diskreten Lichtwellenlängen beleuchtet wird, welche im Bereich der Absorptionslinie auf unterschiedlichen Seiten des Absorptionsmaximums liegen, dass aus dem Verhältnis dieser beiden ermittelten Absorptionswerte zueinander zumindest ein von der Temperatur abhängiger Messwert bestimmt wird, und dass aus diesem Messwert durch Vergleich mit den zuvor aufgenommenen Kalibrierungsdaten die Temperatur bestimmt wird.

    Abstract translation: 它为介质的温度的非侵入性，光学测定方法，优选介质含有水的，所述要被检查介质在一个吸收线的范围内具有红外和/或可见光照射，取决于它们的位置上的介质和温度 在吸收线的区域，并从该测量来测量光的吸收，温度通过与校准数据比较来确定。 此方法的特征在于，该介质具有至少两个分立光波长，这是在上，所述吸收最大值的至少一个依赖于温度测量值根据这两个测量的吸光度值以彼此的比率来确定的不同侧上的吸收线的范围照明，并且该 用于这种测量中，温度通过与先前记录的校准数据进行比较来确定。

    A THERMAL DETECTOR
    6.
    发明申请
    A THERMAL DETECTOR 审中-公开
    一个热探测器

    公开(公告)号：WO2007137995A3

    公开(公告)日：2008-01-31

    申请号：PCT/EP2007055068

    申请日：2007-05-24

    Applicant: UNIV LIEGE ,  FLEURY-FRENETTE KARL ,  HABRAKEN SERGE ,  RENOTTE YVON ,  HASTANIN JURIY

    Inventor： FLEURY-FRENETTE KARL ,  HABRAKEN SERGE ,  RENOTTE YVON ,  HASTANIN JURIY

    IPC: G01J5/58 ,  G01J5/40

    CPC classification number: G01J5/58 ,  G01J5/40

    Abstract: A first object of the invention is a radiation detector comprising an energy absorber (203), for absorbing incident radiation (RAD) and thus undergoing a temperature increase; and optical readout means, for detecting said temperature increase; wherein said optical readout means comprises input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to said energy absorber (203) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the energy absorber (203) temperature, and wherein said energy absorber (203) is separated from said input coupling means (202) by a dielectric layer (2032). A second object of the invention is a micromechanical sensor comprising: a micromechanical oscillator and optical readout means (202) for detecting a displacement of said micromechanical oscillator; wherein said optical readout means comprise input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to a conductive surface (2031) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the displacement of said micromechanical oscillator.

    Abstract translation: 本发明的第一个目的是一种辐射检测器，其包括用于吸收入射辐射（RAD）并因此经历升温的能量吸收器（203）; 以及用于检测所述温度升高的光学读出装置; 其中所述光学读出装置包括通过激发表面等离子体共振，依赖于能量吸收器（203）温度的表面等离子体共振条件将光束（2011）耦合到所述能量吸收器（203）的输入耦合装置（202） 其中所述能量吸收器（203）通过电介质层（2032）与所述输入耦合装置（202）分离。 本发明的第二个目的是一种微机械传感器，包括：微机械振荡器和用于检测所述微机械振荡器位移的光学读出装置（202）; 其中所述光读出装置包括用于通过激发表面等离子体共振将光束（2011）耦合到导电表面（2031）的输入耦合装置（202），表面等离子体共振条件取决于所述微机械振荡器的位移。

    LASER NOISE ELIMINATION IN TRANSMISSION THERMOMETRY
    8.
    发明申请
    LASER NOISE ELIMINATION IN TRANSMISSION THERMOMETRY 审中-公开
    传输温度计中的激光消除

    公开(公告)号：WO2013148066A1

    公开(公告)日：2013-10-03

    申请号：PCT/US2013/028654

    申请日：2013-03-01

    Applicant: APPLIED MATERIALS, INC. ,  LI, Jiping ,  HUNTER, Aaron, Muir ,  HAW, Thomas

    Inventor： LI, Jiping ,  HUNTER, Aaron, Muir ,  HAW, Thomas

    IPC: H01L21/66

    CPC classification number: B23K26/00 ,  G01J1/0459 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/02 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0896 ,  G01J5/58 ,  G01N21/59

    Abstract: Apparatus and methods for measuring the temperature of a substrate are disclosed. The apparatus includes a source of temperature-indicating radiation, a detector for the temperature-indicating radiation, and a decorrelator disposed in an optical path between the source of temperature-indicating radiation and the detector for the temperature-indicating radiation. The decorrelator may be a broadband amplifier and/or a mode scrambler. A broadband amplifier may be a broadband laser, Bragg grating, a fiber Bragg grating, a Raman amplifier, a Brillouin amplifier, or combinations thereof. The decorrelator is selected to emit radiation that is transmitted, at least in part, by the substrate being monitored. The source is matched to the decorrelator such that the emission spectrum of the source is within the gain bandwidth of the decorrelator, if the decorrelator is a gain-driven device.

    Abstract translation: 公开了用于测量基板的温度的设备和方法。 该设备包括温度指示辐射源，用于温度指示辐射的检测器以及设置在温度指示辐射源和用于温度指示辐射的检测器之间的光路中的解相关器。 解相关器可以是宽带放大器和/或模式扰码器。 宽带放大器可以是宽带激光器，布拉格光栅，光纤布拉格光栅，拉曼放大器，布里渊放大器或其组合。 选择解相关器以发射至少部分由被监测的衬底传输的辐射。 如果解相关器是增益驱动装置，则该源与解相关器匹配，使得源的发射频谱在解相关器的增益带宽内。

    シリカガラスルツボの評価方法、シリコン単結晶の製造方法
    9.
    发明申请
    シリカガラスルツボの評価方法、シリコン単結晶の製造方法 审中-公开
    评估二氧化硅玻璃可溶性的方法，生产硅单晶的方法

    公开(公告)号：WO2013094318A1

    公开(公告)日：2013-06-27

    申请号：PCT/JP2012/078260

    申请日：2012-10-31

    Applicant: ジャパンスーパークォーツ株式会社

    Inventor： 須藤　俊明 ,  佐藤　忠広 ,  北原　賢 ,  北原　江梨子 ,  小玉　真喜子

    IPC: C30B29/06 ,  C03B20/00 ,  G01B11/24

    CPC classification number: C30B15/26 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  G01B11/005 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  G01J3/42 ,  G01J5/58

    Abstract: 　非破壊的にルツボの内表面の三次元形状を測定することができるシリカガラスルツボの評価方法を提供する。　本発明によれば、シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部から前記ルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、前記内表面からの内表面反射光を検出することによって、内部測距部と前記内表面の間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、前記内表面距離を関連付けることによって、前記ルツボの内表面三次元形状を求める工程を備える、シリカガラスルツボの評価方法が提供される。

    Abstract translation: 提供了一种用于评估石英玻璃坩埚的方法，由此可以以非破坏性的方式测量坩埚内表面的三维形状。 提供了一种用于评估石英玻璃坩埚的方法，该方法包括以下步骤：沿着移动路径沿着多个测量点从内部距离测量单元从倾斜角度照射二氧化硅玻璃坩埚的内表面的激光束， 以不接触的方式沿内坩埚的内表面移动内距离测量单元，通过检测从内表面反射的内表面反射光来测量内距离测量单元和内表面之间的内表面距离，以及 通过将每个测量点的三维坐标与内表面距离相关联来获得坩埚的内表面三维形状。

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